一种蒸发源挡板制造技术

本实用新型专利技术涉及高真空设备技术领域，特别涉及一种蒸发源挡板。所述一种蒸发源挡板，包括：载台、挡板、压力传感器、磁感应开关和金属片；第一挡板部与载台相向设置，第三挡板部与载台相向设置；金属片分别设置于第一挡板部与载台相对应的下端、及第三挡板部与载台相对应的下端；磁感应开关设置于载台上；金属片与磁感应开关相向设置；压力传感器设置于载台上，压力传感器设置于磁感应开关两侧。通过该装置当挡板发生形变或没有摆放到正确的位置时，压力传感器就会感应到压力，侦测到异常，随后发出警报，告知操作人员发生错误，节省人力，提高效率。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸发源挡板
本技术涉及高真空设备
，特别涉及一种蒸发源挡板。
技术介绍
在OLED蒸镀工艺中采用的小挡板(sourceshutter或smallshutter)，它是蒸发源上部存在的一块不可或缺的挡板，经过加热源对装有有机材料的坩埚进行加热升温，当达到一定温度后，只有当小挡板打开，才会让有机材料蒸汽蒸发出来，被Crystal(石英晶振片)传感器检测到后显示为蒸发源的蒸发速率。而小挡板都是直接采用金属挡板经过加工后便投入使用，在真空镀膜作业过程中，蒸发源小挡板需要不断地进行开合运动或是受到蒸发源高温对其的影响，容易造成弯曲或偏移形变等问题，致使无法完成真空镀膜，而这种异常不能被设备所识别，就不会发出警报，需要操作人员逐一排查引起设备停止运行的原因，造成不必要时间的消耗和人力浪费。
技术实现思路
为此，需要提供一种蒸发源挡板，用以解决现有蒸发源挡板出现弯曲或形变，却无法被设备识别，需要人工逐一排查，造成时间和人力浪费的问题。具体技术方案如下：一种蒸发源挡板，包括：载台、挡板、压力传感器、磁感应开关和金属片；所述挡板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸发源挡板，其特征在于，包括：载台、挡板、压力传感器、磁感应开关和金属片；/n所述挡板包括：第一挡板部、第二挡板部和第三挡板部；/n所述第二挡板部分别连接所述第一挡板部和所述第三挡板部，所述第二挡板部内凹用于遮盖蒸发源开口；/n所述第一挡板部与所述载台相向设置，所述第三挡板部与所述载台相向设置；/n所述金属片分别设置于所述第一挡板部与所述载台相对应的下端、及所述第三挡板部与所述载台相对应的下端；/n所述磁感应开关设置于所述载台上；/n所述金属片与所述磁感应开关相向设置；/n所述压力传感器设置于所述载台上，所述压力传感器设置于所述磁感应开关两侧。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源挡板，其特征在于，包括：载台、挡板、压力传感器、磁感应开关和金属片；
所述挡板包括：第一挡板部、第二挡板部和第三挡板部；
所述第二挡板部分别连接所述第一挡板部和所述第三挡板部，所述第二挡板部内凹用于遮盖蒸发源开口；
所述第一挡板部与所述载台相向设置，所述第三挡板部与所述载台相向设置；
所述金属片分别设置于所述第一挡板部与所述载台相对应的下端、及所述第三挡板部与所述载台相对应的下端；
所述磁感应开关设置于...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄逸臻，孙玉俊，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35