【技术实现步骤摘要】
一种真空沉积系统样品加热台
本技术涉及一种真空沉积系统样品加热台。
技术介绍
真空沉积系统中的样品台对样品的加热能使有利于实现对有机半导体分子的控温生长，获得具备更优异性能的有机半导体层，从而提高器件性能。但是，传统加热丝一般与样品台空间分离，由加热丝先对样品台加热，然后样品台加热置于样品台上的衬底，导致加热效率低，加热丝温度过高的，能耗大的缺点。另外，传统加热丝由于空间约束少，容易出现变形，与周围其他部位短路现象。
技术实现思路
为解决现有技术中的问题，本技术提供以下技术方案：一种真空沉积系统样品加热台，其特征在于，包括样品台、加热装置、温度监测装置和绝缘保护层，所述样品台设有支架并通过所述支架与真空腔内壁连接固定；所述加热装置包括加热电极和加热导线，所述加热电极和加热导线铺设于所述样品台；所述温度监测装置包括温度传感器和温度控制显示器，所述温度监测装置的所述温度传感器设于所述样品台。进一步地，所述温度监测装置与所述加热装置连接，所述温度监测装置控制所述加热装置使所述样品台的温度控制在600摄氏度以下。进一步地，所述加热装置的所述加热电极连接所述加热导线，所述加热电极设于所述样品台一侧，所述加热导线铺设于所述样品台上。进一步地，所述所述绝缘保护层覆盖于所述样品台上方将所述加热装置和温度监测装置与待加工样品电隔离。进一步地，所述加热装置通过所述加热电极连接导线并通过真空腔上的真空法兰连接到外部控制电源与温控装置。进一步地，所述样品台和所述绝缘保护层为内置于真空腔...
【技术保护点】
1.一种真空沉积系统样品加热台，其特征在于，包括样品台（1）、加热装置、温度监测装置和绝缘保护层（2），所述样品台（1）设有支架（3）并通过所述支架（3）与真空腔内壁连接固定；所述加热装置包括加热电极（4）和加热导线（5），所述加热电极（4）和加热导线（5）铺设于所述样品台（1）；所述温度监测装置包括温度传感器（6）和温度控制显示器（7），所述温度监测装置的所述温度传感器（6）设于所述样品台（1）。/n
【技术特征摘要】
1.一种真空沉积系统样品加热台，其特征在于，包括样品台（1）、加热装置、温度监测装置和绝缘保护层（2），所述样品台（1）设有支架（3）并通过所述支架（3）与真空腔内壁连接固定；所述加热装置包括加热电极（4）和加热导线（5），所述加热电极（4）和加热导线（5）铺设于所述样品台（1）；所述温度监测装置包括温度传感器（6）和温度控制显示器（7），所述温度监测装置的所述温度传感器（6）设于所述样品台（1）。
2.根据权利要求1所述的一种真空沉积系统样品加热台，其特征在于，所述温度监测装置与所述加热装置连接，所述温度监测装置控制所述加热装置使所述样品台（1）的温度控制在600摄氏度以下。
3.根据权利要求1所述的一种真空沉积系统样品...
【专利技术属性】
技术研发人员：迟力峰，王文冲，王燕东，
申请(专利权)人：苏州驰鸣纳米技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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