【技术实现步骤摘要】
一种基于半导体制冷的便携式升降温样品台装置
本专利技术涉及真空镀膜
,具体涉及一种基于半导体制冷的便携式升降温样品台装置。技术背景真空镀膜技术(vacuumdeposition)是一种新颖的材料合成与加工的新技术,是表面工程
的重要组成部分,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。真空镀膜相对于湿式镀膜方法而言,提高了薄膜的结合能力,能更好地控制好薄膜的均匀程度和薄膜的厚度,并且减少了对环境的污染。随着真空镀膜技术的不断发展,不同材料对镀膜加工时候的温度需求也在不断变化,但是目前一直没有一种便携式低温样品台来解决该类问题。为此该专利技术提供了一种解决方案思路,基于半导体制冷的便携式样品台。
技术实现思路
为了改进当前的真空镀膜机在进行真空镀膜工作时候,不同的材料的基材对工作温度调节范围的不足,本专利技术提出了一种基于半导体制冷的便携式升降温样品台装置。本专利技术技术方案如下:一种基于半导体制冷的便携式升降温样品台装置,其特征在于,包括样品台腔体、设置在样品台腔体顶部样品台上底面及设置在样品台腔体底部的样品台下底面,所述样品台上底面上设有固定圆盘;所述样品台腔体内部在位于样品台下底面内侧贴合设置导体制冷片,所述样品台下底面外侧设有样品紧固装置,所述样品紧固装置包括螺杆、限位板及螺母,所述螺杆固定在样品台下底面上,所述限位板套设在螺杆上,所述螺母配合设置在螺杆上,且通过螺母能够对限位板与样品台下底面之间进行调节。所述的一种基于半导体制冷的便携式升降温样品台 ...
【技术保护点】
1.一种基于半导体制冷的便携式升降温样品台装置,其特征在于,包括样品台腔体(4)、设置在样品台腔体(4)顶部样品台上底面(12)及设置在样品台腔体(4)底部的样品台下底面(8),所述样品台上底面(12)上设有固定圆盘(6);所述样品台腔体(4)内部在位于样品台下底面(8)内侧贴合设置导体制冷片(10),所述样品台下底面(8)外侧设有样品紧固装置,所述样品紧固装置包括螺杆(1)、限位板(2)及螺母(3),所述螺杆(1)固定在样品台下底面(8)上,所述限位板(2)套设在螺杆(1)上,所述螺母(3)配合设置在螺杆(1)上,且通过螺母(3)能够对限位板(2)与样品台下底面(8)之间进行调节。/n
【技术特征摘要】
1.一种基于半导体制冷的便携式升降温样品台装置,其特征在于,包括样品台腔体(4)、设置在样品台腔体(4)顶部样品台上底面(12)及设置在样品台腔体(4)底部的样品台下底面(8),所述样品台上底面(12)上设有固定圆盘(6);所述样品台腔体(4)内部在位于样品台下底面(8)内侧贴合设置导体制冷片(10),所述样品台下底面(8)外侧设有样品紧固装置,所述样品紧固装置包括螺杆(1)、限位板(2)及螺母(3),所述螺杆(1)固定在样品台下底面(8)上,所述限位板(2)套设在螺杆(1)上,所述螺母(3)配合设置在螺杆(1)上,且通过螺母(3)能够对限位板(2)与样品台下底面(8)之间进行调节。
2.根据权利要求1所述的一种基于半导体制冷的便携式升降温样品台装置,其特征在于,所述样品台腔体(4)内部固定设置水冷管(11),所述样品台腔体(4)上开设有导线导管孔(5)...
【专利技术属性】
技术研发人员:马毅,吴伊帆,谢续友,黄先伟,俞越翎,张泰华,
申请(专利权)人:浙江工业大学,
类型:发明
国别省市:浙江;33
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