一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，包括样品台腔体、样品台上底面及样品台下底面，所述样品台下底面贴合设置加热装置，所述样品台腔体内部在位于加热装置上方设有冷却装置，所述样品台上底面顶部设有样品台固定装置，并通过样品台固定装置与真空镀膜机相固定，所述样品台下底面底部设有样品紧固装置，并通过样品紧固装置对样品基材进行固定；本发明专利技术的有益效果是：该装置设计巧妙，结构合理，使用方便，运用本装置为样品进行温度调节，方便满足了不同基材对镀膜时温度的需求，扩大了真空镀膜机所能加工的的样品种类范围，对真空镀膜的研究领域具有重要的意义。

A portable heating sample table device based on electric heating

【技术实现步骤摘要】
一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置
本专利技术涉及真空镀膜
，具体涉及一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置。技术背景真空镀膜技术（vacuumdeposition）是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程
的重要组成部分，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。真空镀膜相对于湿式镀膜方法而言，提高了薄膜的结合能力，能更好地控制好薄膜的均匀程度和薄膜的厚度，并且减少了对环境的污染。随着真空镀膜技术的不断发展，不同材料对镀膜加工时候的温度需求也在不断变化，但是目前一直没有一种便携式升温样品台来解决该类问题。为此该专利技术提供了一种解决方案思路，基于电热片加热的便携式样品台。
技术实现思路
为了改进当前的真空镀膜机在进行真空镀膜工作时候，不同的材料的基材对工作温度调节范围的不足，本专利技术提出了一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置。本专利技术技术方案如下:一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，其特征在于，包括样品台腔体、样品台上底面及样品台下底面，所述样品台下底面贴合设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，其特征在于，包括样品台腔体（4）、样品台上底面（13）及样品台下底面（8），所述样品台下底面（8）贴合设置加热装置，所述样品台腔体（4）内部在位于加热装置上方设有冷却装置，所述样品台上底面（13）顶部设有样品台固定装置，并通过样品台固定装置与真空镀膜机相固定，所述样品台下底面（8）底部设有样品紧固装置，并通过样品紧固装置对样品基材进行固定。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，其特征在于，包括样品台腔体（4）、样品台上底面（13）及样品台下底面（8），所述样品台下底面（8）贴合设置加热装置，所述样品台腔体（4）内部在位于加热装置上方设有冷却装置，所述样品台上底面（13）顶部设有样品台固定装置，并通过样品台固定装置与真空镀膜机相固定，所述样品台下底面（8）底部设有样品紧固装置，并通过样品紧固装置对样品基材进行固定。


2.根据权利要求1所述的一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，其特征在于，所述加热装置包括硅胶电热片（10）及导热硅胶（9），所述硅胶电热片（10）通过导热硅胶（9）与样品台下底面（8）固定。


3.根据权利要求1所述的一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，其特征在于，所述冷却装置包括水冷管（12）及水冷管固定支架（14），所述水冷管（12）通过水冷管固定支架（14）固定设置在样品台腔体（4）内。


4.根据权利要求1所述的一种基于...

【专利技术属性】
技术研发人员：马毅，吴伊帆，谢续友，黄先伟，俞越翎，张泰华，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33