一种基板架以及一种镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术提供的一种基板架，其包括：固定框，包括设于其中部的开口；固定机构，固定连接于所述固定框，包括用于将所述基板固定于所述开口内的基板固定单元，以及用于将热辐射件与所述基板有间隙地固定于所述开口内的热辐射件固定单元；以及传动机构，与所述固定框连接，并传动连接于外部动力机构。通过设置有热辐射件，并将热辐射件与基板间隔地固定，使得热辐射件的温度能均匀的辐射到基板表面，对其提供均匀的温度环境，从而提高基板表面镀膜膜厚的均匀性；同时热辐射件与基板间隔设置，避免热辐射件与基板表面接触，避免其对基板表面造成损伤。

A substrate frame and a coating device

【技术实现步骤摘要】
一种基板架以及一种镀膜设备
本技术涉及磁控溅射镀膜
，具体涉及一种基板架以及一种镀膜设备。
技术介绍
磁控溅射技术是物理气相沉积技术的一种，具有成膜速率高，膜基粘附性好，可实现大面积镀膜等优点。磁控溅射技术发展出多种类型，广泛应用于半导体微电子、光学薄膜和材料表面处理等领域。立式磁控溅射镀膜设备常用于在真空环境下利用磁控溅射靶给基板镀上一层或多层膜，悬挂基板的基板架利用传动装置在真空室内移动，而基板架通常是中空设置的，基板固定于中空位置处，基板边缘处由于与基板架固定连接，其会收到基板架的热辐射，而基板的中间位置离基板架较远，受到基板架的热辐射会小于玻璃基板四周，从而导致玻璃基板上的温度不均匀，受温度的影响最终导致基板镀膜的膜厚不均匀。
技术实现思路
因此，本技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的基板受热不均匀的缺陷，从而提供一种基板架以及一种镀膜设备。为此，本技术的技术方案如下：一种基板架，其包括：固定框，包括设于其中部的开口；固定机构，固定连接于所述固定框，包括用于将所述基板固定于所述开口内的基板固定单元，以及用于将热辐射件与所述基板有间隙地固定于所述开口内的热辐射件固定单元；以及传动机构，与所述固定框连接，并传动连接于外部动力机构。进一步地，所述基板固定单元和所述热辐射件固定单元被构建为使得基板和热辐射件平行设置。进一步地，所述基板固定单元、所述热辐射件固定单元中的至少一个为固定设置于所述固定框开口处的固定块，所述固定块上设有允许所述基板或所述热辐射件卡入的凹槽。进一步地，所述固定机构为固定夹具，所述固定夹具的一端包括与所述固定框连接的夹具固定单元，所述固定夹具的另一端包括所述基板固定单元和所述热辐射件固定单元。进一步地，所述夹具固定单元为设于所述固定夹具一端面的夹具卡槽，所述基板固定单元和所述热辐射件固定单元分别为设于所述固定夹具另一端面上的基板卡槽和热辐射件卡槽，所述基板卡槽与所述热辐射件卡槽间隔平行设置。进一步地，所述固定框的内侧设有向所述开口中部延伸的若干凸台，所述凸台包括与所述基板边缘抵接的第一限位面以及与所述热辐射件边缘抵接的第二限位面，所述第一限位面和所述第二限位面位于所述凸台的相对设置的两侧；所述固定框上分别设有将所述基板卡设固定于所述第一限位面上的第一卡扣，以及将所述热辐射件卡设固定于所述第二限位面上的第二卡扣；所述第一卡扣与所述第一限位面构成所述基板固定单元，所述第二卡扣与所述第二限位面构成所述热辐射固定单元。进一步地，还包括导向机构，所述导向机构与所述传动机构相对地设置于所述固定框的另一侧，并连接于外部防倾机构。进一步地，还包括连接所述固定框与所述导向机构以及连接所述固定框与所述传动机构的绝缘单元。一种镀膜设备，其包括：若干镀膜腔室，所述腔室内设有所述动力机构；以及基板架，所述基板架的传动机构与所述动力机构传动连接，其中所述基板架为如上述任意一项所述的基板架。进一步地，基板架中固定的热辐射件为碳板。本技术技术方案，具有如下优点：1.本技术提供的一种基板架，其包括：固定框，包括设于其中部的开口；固定机构，固定连接于所述固定框，包括用于将所述基板固定于所述开口内的基板固定单元，以及用于将热辐射件与所述基板有间隙地固定于所述开口内的热辐射件固定单元；以及传动机构，与所述固定框连接，并传动连接于外部动力机构。通过设置有热辐射件，并将热辐射件与基板间隔地固定，使得热辐射件的温度能均匀的辐射到基板表面，对其提供均匀的温度环境，从而提高基板表面镀膜膜厚的均匀性；同时热辐射件与基板间隔设置，避免热辐射件与基板表面接触，避免其对基板表面造成损伤。2.本技术提供的一种基板架，所述基板固定单元、所述热辐射件固定单元中的至少一个为固定设置于所述固定框开口处的固定块，所述固定块上设有允许所述基板或所述热辐射件卡入的凹槽；通过设置带有凹槽的与固定框固定的固定块，将基板和碳板分别固定于固定块的凹槽中，以实现对基板和热辐射件的固定。3.本技术提供的一种基板架，所述固定机构为固定夹具，所述固定夹具的一端包括与所述固定框连接的夹具固定单元，所述固定夹具的另一端包括所述基板固定单元和所述热辐射件固定单元。通过设置固定夹具，夹具的一端固定于固定框，另一端集成有基板固定单元和热辐射件固定单元，通过一个夹具即可实现对基板和热辐射件的同时固定，同时确保二者间隔设置避免了碳板对基板表面造成损伤。4.本技术提供的一种基板架，所述固定框的内侧设有向所述开口中部延伸的若干凸台，所述凸台包括与所述基板边缘抵接的第一限位面以及与所述热辐射件边缘抵接的第二限位面，所述第一限位面和所述第二限位面位于所述凸台的相对设置的两侧；所述固定框上分别设有将所述基板卡设固定于所述第一限位面上的第一卡扣，以及将所述热辐射件卡设固定于所述第二限位面上的第二卡扣；所述第一卡扣与所述第一限位面构成所述基板固定单元，所述第二卡扣与所述第二限位面构成所述热辐射固定单元。通过在固定框内侧中部形成若干凸台，由此可实现对凸台内外两侧的基板和热辐射件的定位，外部通过卡扣对基板和热辐射件进行锁紧，凸台的两端面既能够分别对基板和热辐射件限位，同时通过将第一限位面和第二限位面位于凸台的相对设置的两侧实现了二者的分隔设置，避免热辐射件与基板表面接触，避免其对基板表面造成损伤。5.本技术提供的一种基板架，导向机构，所述导向机构与所述传动机构相对地设置于所述固定框的另一侧，并连接于外部防倾机构；进一步地，还包括连接所述固定框与所述导向机构以及连接所述固定框与所述传动机构的绝缘单元。通过设置有外部防倾机构配合的导向机构，可实现对基板架的移动导向作用，也实现了对基板架顶部的限位防止其在传输过程中倾倒。6.本技术提供的一种镀膜设备，由于包含上述基板架，因此也就包含上述基板架所带来的一切优点。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的第一种实施方式中提供的基板架的主视图；图2为图1所示的基板架的后视图；图3为本技术第二种实施方式中提供的基板架的主视图；图4为图2所示的基板架的后视图；图5为图2中所示的固定夹具沿前后方向的剖视图；图6为本技术第三种实施方式中提供的基板架的主视图；图7为图6中的基板架沿前后方向的剖视图；图8为本技术的镀膜腔室的示意图。附图标记说明：1－基板架；2－基板；3－导向机构；4－传动轴；5－固定框；6－开口；7－碳板；81－基板固定块；82－碳板固定块；9－弹簧扣；10－固定夹具；11－夹具卡槽本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板架，其特征在于，包括：/n固定框，包括设于其中部的开口；/n固定机构，固定连接于所述固定框，包括用于将所述基板固定于所述开口内的基板固定单元，以及用于将热辐射件与所述基板有间隙地固定于所述开口内的热辐射件固定单元；/n以及传动机构，与所述固定框连接，并传动连接于外部动力机构。/n

【技术特征摘要】
1.一种基板架，其特征在于，包括：
固定框，包括设于其中部的开口；
固定机构，固定连接于所述固定框，包括用于将所述基板固定于所述开口内的基板固定单元，以及用于将热辐射件与所述基板有间隙地固定于所述开口内的热辐射件固定单元；
以及传动机构，与所述固定框连接，并传动连接于外部动力机构。


2.根据权利要求1所述的一种基板架，其特征在于：所述基板固定单元和所述热辐射件固定单元被构建为使得基板和热辐射件平行设置。


3.根据权利要求1所述的一种基板架，其特征在于：所述基板固定单元、所述热辐射件固定单元中的至少一个为固定设置于所述固定框开口处的固定块，所述固定块上设有允许所述基板或所述热辐射件卡入的凹槽。


4.根据权利要求1所述的一种基板架，其特征在于：所述固定机构为固定夹具，所述固定夹具的一端包括与所述固定框连接的夹具固定单元，所述固定夹具的另一端包括所述基板固定单元和所述热辐射件固定单元。


5.根据权利要求4所述的一种基板架，其特征在于：所述夹具固定单元为设于所述固定夹具一端面的夹具卡槽，所述基板固定单元和所述热辐射件固定单元分别为设于所述固定夹具另一端面上的基板卡槽和热辐射件卡槽，所述基板卡槽与所述热辐射件卡槽间隔平行设置。...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱松山，高裕弟，孙剑，洪耀，李晓波，张民井，
申请(专利权)人：枣庄维信诺电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37