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一种真空沉积系统样品加热台，包括样品台、加热装置、温度监测装置和绝缘保护层，所述样品台设有支架并通过所述支架与真空腔内壁连接固定；所述加热装置包括加热电极和加热导线，所述加热电极和加热导线铺设于所述样品台；所述温度监测装置包括温度传感器和温...
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