【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用于扫描电镜分析时固定试样的无图像漂移试样座。
技术介绍
在电子背散射衍射实验,简称EBSD实验时,常常要将试样倾斜70°。一般是将试样用导电胶粘贴在样品台上,再将样品台和试样一起倾斜70°。这种方式,对薄试样效果尚可,但对于镶嵌后的试样,则会发生图像漂移。因为镶嵌后的试样体积较大,比较重,用导电胶固定后倾斜70°,试样会由于重力作用发生缓慢的滑移,最终会导致最先采集的二次电子像与EBSD分析数据不能很好地对应,测试精度也会大受影响。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术缺陷,提供一种EBSD用无图像漂移试样座。本技术的技术方案是这样实现的:一种EBSD用无图像漂移试样座,由底座、立柱和第一定位销组成,第一定位销固定在底座底部中心,工作时第一定位销插入扫描电镜样品台上的小孔将底座定位,立柱固定在底座上表面,立柱的立面有一个倾斜角为α的支承斜面。进一步的,所述倾斜角α为70°。进一步的,还有一个杯状试样座,杯状试样座底部固定有第二定位销,支承斜面上开有定位孔,工作时第二定位销插入支承斜面上的定位孔,使杯状试样座底面与支承斜面贴合固定。进一步的,杯状试样座侧壁穿有可将试样固定的锁紧螺栓。本技术可以将试样固定在预设的支承斜面上,不必在实验时将试样粘贴在样品台上后一起倾斜观察,因而试样不会发生滑移,保证了图像的测试精度。附图说明图1是底座结构示意图。图2是杯状试样座结构示意图。图中,1-底座;2-支承斜面;3-定位孔;4-第一定位销;5-杯状试样座;6-锁紧螺栓;7-第二定位销;8-立柱。具体实施方式下面结合附图作进一步描述:实施例1:如图1所示,一 ...
【技术保护点】
一种EBSD用无图像漂移试样座,其特征在于:它由底座、立柱和第一定位销组成,第一定位销固定在底座底部中心,工作时第一定位销插入扫描电镜样品台上的小孔将底座定位,立柱固定在底座上表面,立柱的立面有一个倾斜角为α的支承斜面。
【技术特征摘要】
1.一种EBSD用无图像漂移试样座,其特征在于:它由底座、立柱和第一定位销组成,第一定位销固定在底座底部中心,工作时第一定位销插入扫描电镜样品台上的小孔将底座定位,立柱固定在底座上表面,立柱的立面有一个倾斜角为α的支承斜面。2.根据权利要求1所述的一种EBSD用无图像漂移试样座,其特征在于:所述倾斜角α为70°。3.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员:张彦文,王志奋,吴立新,孔君华,徐国涛,陈宇,
申请(专利权)人:武汉钢铁股份有限公司,
类型:新型
国别省市:湖北;42
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