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一种衬底基板沉积面朝上放置的有机真空沉积系统技术方案
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下载一种衬底基板沉积面朝上放置的有机真空沉积系统的技术资料
文档序号:26508220
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本实用新型公开了一种衬底基板沉积面朝上放置的有机真空沉积系统,包括真空腔体,所述真空腔体的底部贯穿有样品架,所述样品架的表面与真空腔体固定连接,所述样品架的顶部固定连接有衬底基板,所述衬底基板的顶部活动连接有薄膜沉积衬底,所述薄膜沉积衬底的...
该专利属于苏州驰鸣纳米技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州驰鸣纳米技术有限公司授权不得商用。
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