带有可互换探针插头的探针卡组件制造技术

一种探针卡组件可包括被配置成保持探针插头的插头固定器，探针插头可包括以特定结构设置的探针，用于探测将被测试的器件。探针卡组件可将电接口提供给测试器，该测试器可以控制该器件的测试，并且在连接至探针卡组件的同时，插头固定器可保持探针插头，以使探针插头电连接至探针卡组件内的电路径，所述电路径对测试器而言是接口中的一部分。通过拆卸插头固定器、用新的探针插头更换该探针插头，然后将该插头固定器重新连接至探针卡组件，从而更换探针卡组件的探针插头。探针插头和固定器可以被整体形成，并且包括可以从探针卡组件拆卸且由不同探针插头和固定器更换的单一结构。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带有可互换探针插头的探针卡组件
技术介绍
图1A示出被用于测试测试中设备("DUT") 112的示例性现有技术探测系统， 例如，其可以是在最新制造的半导体晶片上的一或多个模片(未图示)或者其它电 子设备(例如先前制造的模片)。图1A中的探测系统可以包括测试头104和探针 102 (其图示成带有剖面126以提供探针102内侧的局部视图)。为了测试DUT 112， DUT被放置在如图1A中所示的可移动台阶106上，并且使台阶106移动以使DUT112 的输入和/或输出端与探针卡组件108的探针124相接触，所示的所述探针卡组件 108被连接至测试头板121。例如，探针卡组件108可以被螺栓连接或夹持至测试 头板121，探针基板122和探针124通过开口 132伸入探针102 (参见图1B)。典型地，电缆110或其它通信装置连接测试器(未图示)与测试头104。测试 器(未图示)产生将被写至DUT 112的测试数据，并且测试器接收和估算由DUT 112 响应测试数据而产生的响应数据。电缆IIO可以给或从测试器(未图示)提供多个 通信信道(未图示)，用于这种测试和响应数据。典型地，可以为用于DUT 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针卡装置，包括：　　　　第一结构；　　　　第二结构，包括电触点；　　　　至电触点的多个顺应电连接；　　　　被配置成相对于第一结构改变第二结构的方位的机构；以及　　　　第三结构，包括被设置成接触将被测试的电子器件的多个探针，该第三结构被配置成连接到第二结构并从第二结构拆卸，其中在连接到第二结构的同时，所述探针中的探针被电连接至所述电触点中的电触点。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：BN埃尔德瑞格，CV雷诺兹，川又信寻，佐伯多加夫，
申请(专利权)人：佛姆法克特股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]