带有可互换探针插头的探针卡组件制造技术

一种探针卡组件可包括被配置成保持探针插头的插头固定器，探针插头可包括以特定结构设置的探针，用于探测将被测试的器件。探针卡组件可将电接口提供给测试器，该测试器可以控制该器件的测试，并且在连接至探针卡组件的同时，插头固定器可保持探针插头，以使探针插头电连接至探针卡组件内的电路径，所述电路径对测试器而言是接口中的一部分。通过拆卸插头固定器、用新的探针插头更换该探针插头，然后将该插头固定器重新连接至探针卡组件，从而更换探针卡组件的探针插头。探针插头和固定器可以被整体形成，并且包括可以从探针卡组件拆卸且由不同探针插头和固定器更换的单一结构。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带有可互换探针插头的探针卡组件
技术介绍
图1A示出被用于测试测试中设备("DUT") 112的示例性现有技术探测系统， 例如，其可以是在最新制造的半导体晶片上的一或多个模片(未图示)或者其它电 子设备(例如先前制造的模片)。图1A中的探测系统可以包括测试头104和探针 102 (其图示成带有剖面126以提供探针102内侧的局部视图)。为了测试DUT 112， DUT被放置在如图1A中所示的可移动台阶106上，并且使台阶106移动以使DUT112 的输入和/或输出端与探针卡组件108的探针124相接触，所示的所述探针卡组件 108被连接至测试头板121。例如，探针卡组件108可以被螺栓连接或夹持至测试 头板121，探针基板122和探针124通过开口 132伸入探针102 (参见图1B)。典型地，电缆110或其它通信装置连接测试器(未图示)与测试头104。测试 器(未图示)产生将被写至DUT 112的测试数据，并且测试器接收和估算由DUT 112 响应测试数据而产生的响应数据。电缆IIO可以给或从测试器(未图示)提供多个 通信信道(未图示)，用于这种测试和响应数据。典型地，可以为用于DUT 112的 各个输入和/或输出端的通信信道，以及进一步可以为用于对DUT 112提供电力和 接地的通信信道。测试头104和测试头连接器114提供将测试器信道(未图示)连接至探针卡 组件108的电连接。图1A中所示的探针卡组件108可以包括接线板120和探针基 板122。接线板120提供从连接器114至探针基板122的电连接(未图示)，并且 探针基板提供至探针124的电连接。从而，探针卡组件108提供连接测试器通信信 道(未图示)至DUT 112的各个输入和/或输出端(未图示)的接口。然而，DUT112的端子(未图示)被压靠在探针124上(从而形成端子和探针 之间的电连接)，测试器(未图示)在DUT 112上进行测试。例如，测试器(未图 示)可以在DUT 112上进行功能测试，其中DUT可以以各种模式被操作。对这种 操作的结果进行监视，测试器(未图示)确定DUT112是否正确地起作用。这种测 试还可以用于确定DUT 112的最大可靠操作速度。参数测试是可以在DUT 112上进行的测试的另一个例子。参数测试可以包括例如对DUT 112中的漏电流进行测量，确定DUT 112是否有短路故障或开路故障等的情形。
技术实现思路
在本专利技术的示例性实施例中，可以配置插头固定器以保持探针插头，其可以 包括以特定结构设置用于探测被测试器件的多个探针。插头固定器可被连接至探针 卡组件以及从探针卡组件拆除，该探针卡组件对控制器件测试的测试器提供电接 口。在被连接至探针卡组件的同时，插头固定器可以保持探针插头，以使探针插头 被电连接至探针卡组件内的电通路，所述电通路为测试器的部分接口。在从探针卡 组件拆卸的同时，插头固定器可以允许探针插头被去除以及由新探针插头所取代， 这可以配置成不同于第一探针插头。在一些实施例中，探针插头和探针固定器可以 集成在一起且包括单一结构。附图说明图1A和1B示出用于测试半导体晶片中模片的示例性现有技术探测系统。图2图示依据本专利技术一些实施例的示例性探针卡组件的分解立体图。图3A图示没有盖子的图2中探针卡组件的俯视图。图3B图示图2中探针卡组件的仰视图。图3C图示没有盖子的图2中探针卡组件的侧剖视图。图4示出对图2中探针卡组件的探针的平面或方位性的示例性调整。图5图示图2中探针头组件的分解立体图。图6A图示图5中探针头组件的俯视图。图6B图示图5中探针头组件的仰视图。图6C和6D图示图5中探针头组件的侧剖视图。图7图示依据本专利技术某些实施例的带有盖子但没有插头固定器的附连工具的 分解立体图。图8A图示带有插头固定器但没有盖子的图7中附连工具的俯视图。图8B图示图8A和8B中附连工具的仰视图。图8C和8D图示图8A中附连工具的侧剖视图。图9A、 9B和9C示出依据本专利技术某胜实施例的插头的示例件改变 图10示出具有半导体模片形式的示例性DUT。图11以示意形式示出依据本专利技术某些实施例的图2中探针卡组件的示例性结构，用于测试图10中的DUT。图12A示出依据本专利技术某些实施例的探针插头的俯视图，其被配置用于测试 图10中的DUT。图12B示出图12A中探针插头的仰视图。图13示出具有半导体模片形式的另一示例性DUT。图14A示出依据本专利技术某些实施例的探针插头的俯视图，其被配置用于测试 图13中的DUT。图14B示出图14A中探针插头的仰视图。图15以示意形式示出依据本专利技术某些实施例的图2中探针卡组件的示例性重 新配置，用于测试图13中的DUT。图16A示出依据本专利技术某些实施例的另一示例性探针卡组件的俯视图。 图16B示出图16A中探针卡组件的侧剖视图。图17A示出依据本专利技术某些实施例的又一示例性探针卡组件的俯视图。 图17B示出图17A中探针卡组件的侧剖视图。图18示出依据本专利技术某些实施例的又一示例性探针卡组件的侧剖视图。 图19示出依据本专利技术某些实施例的另一示例性探针卡组件的侧剖视图。 图20示出依据本专利技术某些实施例的又一示例性探针卡组件的侧剖视图。 图21-24示出依据本专利技术某些实施例的示例性屏蔽信号迹线(signal trace)。 图25示出依据本专利技术某些实施例的示例性屏蔽线。具体实施方式这个说明书描述了本专利技术的示例性实施例和应用。然而，本专利技术不限于这些 示例性实施例和应用或者在这里示例性实施例和应用操作或被描述的方式。图2和3A-3C示出依据本专利技术某些实施例的示例性探针卡组件200，其可以被 使用在用于测试电子器件的探针或其它系统中。例如，在测试系统中可以使用探针 卡组件200取代探针卡108，该探针卡组件可以包括类似图1A、 1B中的探针102 的探针。为了便于论述，在这里将描述探针卡组件200作为使用在探针102中。然 而，探针卡组件200可被使用在仟意探针中，用于探测半导体晶片或单一化模片， 或者用于探测器件的任意其它系统，以便测试、监视或者以别的方式操作该器件。图2图示探针卡组件200的分解立体图，以及图3A图示探针卡组件200的俯 视图，图犯图示探针卡组件200的仰视图和图3C图示探针卡组件200的侧剖视图。如图所示，探针卡组件200可以包括探可连接针头组件209的接线基板202、 加强肋(stiffener)板204和调整板206。探针卡组件200还可以包括盖子282， 其在图2中图示，但是为了清楚及方便描述的目的，在图3A-3C中没有图示。如图 2中所示，盖子282可以使用螺丝240和螺丝246固定至接线基板202，所述螺丝 240通过盖子282中的孔272且螺旋进入垫片242，所述螺丝246通过接线基板202 中的孔280且螺旋进入垫片242。将能看出，探针卡组件200的一个功能可以给和从测试器和诸如图1A中112 所示的DUT的输入和/或输出端(未图示)提供通信信道之间的电接口。(如这里所 使用的，术语"DUT"可以为非单一半导体晶片的一或多个模片、从晶片(封装或 未封装的)分割的一或多个半导体模片、设置在载体或其它保持器件中的单一,导 体模片阵列的一或多个模片、 一或多个多模片电模块、 一或多个本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针卡装置，包括：　　　　第一结构；　　　　第二结构，包括电触点；　　　　至电触点的多个顺应电连接；　　　　被配置成相对于第一结构改变第二结构的方位的机构；以及　　　　第三结构，包括被设置成接触将被测试的电子器件的多个探针，该第三结构被配置成连接到第二结构并从第二结构拆卸，其中在连接到第二结构的同时，所述探针中的探针被电连接至所述电触点中的电触点。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：BN埃尔德瑞格，CV雷诺兹，川又信寻，佐伯多加夫，
申请(专利权)人：佛姆法克特股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]