一种玻璃基板运输设备制造技术

本实用新型专利技术涉及微电子技术领域，公开了一种玻璃基板运输设备，包括金属框架以及设置在金属框架上的多个滚轮轴组件，每个滚轮轴组件包括空心轴、设置在空心轴上的多个滚轮、设置在空心轴上的多个轴承以及与每个轴承对应的轴承座，其中，上述滚轮用于承载玻璃基板，轴承座与金属框架固定连接；还包括设置在金属框架上的滚轮驱动组件，滚轮驱动组件用于驱动空心轴转动；每个滚轮轴组件中，至少有一个轴承座上设有连接孔，连接孔介于轴承外圈与金属框架之间，连接孔中设有金属连接件，金属连接件一端与轴承外圈导电连接，另一端与金属框架导电连接，且金属框架与接地导线导电连接。

A glass substrate transport equipment

【技术实现步骤摘要】
一种玻璃基板运输设备
本技术涉及微电子
，尤其涉及一种玻璃基板运输设备。
技术介绍
随着液晶行业不断发展，半导体制造工艺和结构越来越精细，电路集成度越来越高，玻璃基板上承载的电路和器件对静电敏感度也不断提高，玻璃基板在输送过程中经常会发生静电击穿问题，这对产品生产厂家造成了巨大经济损失。现有技术中，玻璃基板运输设备普遍采用滚轴带动滚轮托运的传送方式来输送玻璃基板，玻璃基板运输设备主要包括铝型材框架、滚轮轴组件以及滚轮驱动组件，其中，滚轮轴组件包括滚轮、空心轴、轴承以及轴承座，滚轮安装在空心轴上，空心轴安装在轴承上，轴承由轴承座固定在铝型材框架上，玻璃基板放置在滚轮轴组件上，滚轮驱动组件带动各个相互独立的滚轮轴组件转动，以实现玻璃基板向前或向后直线运动。每个滚轮轴组件中，滚轮、空心轴以及轴承均为金属导体，轴承座由塑性材料制作而成，不导电，为了消除玻璃基板下表面产生的静电荷，可以将这部分静电荷导入大地，如设置一个很软金属毛刷，使金属毛刷接地，并使金属毛刷与各个滚轮轴组件上的空心轴相接触，从而将玻璃基板下表面产生的静电荷通过金属毛刷导入大地，但由于金属毛刷是安装在静止的铝型材框架上，滚轮轴组件在运送玻璃基板时，要进行高速转动，这样会在金属毛刷和空心轴相互接触的地方产生粉尘，不适用于洁净室，另外，金属毛刷和空心轴长时间频繁接触，会造成金属毛刷变形，需要人员定期维护和更换金属毛刷，从而保证使金属毛刷与空心轴有效接触。
技术实现思路
本技术提供一种玻璃基板运输设备，将玻璃基板产生的静电通过金属框架导入大地，具有免维护、可靠性高的特点，并适用于洁净厂房。本技术实施例提供了一种玻璃基板运输设备，包括金属框架以及设置在所述金属框架上的多个滚轮轴组件，每个滚轮轴组件包括空心轴、设置在所述空心轴上的多个滚轮、设置在所述空心轴上的多个轴承以及与每个轴承对应的轴承座，其中，所述多个滚轮用于承载玻璃基板，所述轴承座与所述金属框架固定连接；还包括设置在所述金属框架上的滚轮驱动组件，所述滚轮驱动组件用于驱动所述空心轴转动；所述每个滚轮轴组件中，至少有一个轴承座上设有连接孔，所述连接孔介于所述轴承外圈与所述金属框架之间，所述连接孔中设有金属连接件，所述金属连接件一端与所述轴承外圈导电连接，另一端与所述金属框架导电连接，且所述金属框架与接地导线导电连接。上述实施例中，在每个滚轮轴组件中，通过在轴承座上开设连接孔，并在连接孔中设置金属连接件分别与轴承外圈以及金属框架导电连接，从而使得玻璃基板下表面产生的静电能够经金属连接件传递到金属框架，并由金属框架导入大地，从而达到静电消除的目的，具有免维护、可靠性高的特点，并适用于洁净厂房。可选的，所述金属框架为金属型材框架，所述金属型材框架与所述连接孔对应的位置设有凹槽，所述凹槽内设有方螺母块以及与所述方螺母块配合的紧定螺钉，所述紧定螺钉与所述方螺母块螺纹连接，且所述紧定螺钉的尖端插入所述金属型材框架的金属材料内；所述金属连接件与所述方螺母块导电连接。可选的，所述金属型材框架为铝型材框架。或者，所述金属型材框架为碳钢型材框架。可选的，所述金属连接件为弹性件，金属连接件在轴承外圈与金属框架之间产生压缩变形，这样，在弹性恢复力的作用下，金属连接件分别与轴承外圈以及金属框架紧密接触，保证了可靠连接。可选的，所述金属连接件为弹簧。可选的，所述紧定螺钉为内六角锥端紧定螺钉。可选的，所述每个滚轮轴组件中，每个轴承座上均设有所述连接孔以及所述金属连接件。附图说明图1为本技术实施例提供的玻璃基板运输设备的局部结构示意图；图2为图1示出的滚轮轴组件的局部剖视图。附图标记：10-金属框架20-滚轮轴组件21-空心轴22-轴承23-轴承座24-滚轮25-连接孔26-金属连接件27-方螺母块28-紧定螺钉30-滚轮驱动组件40-玻璃基板具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本技术作进一步详细地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术实施例提供了一种玻璃基板运输设备，在原有结构的基础上，通过在轴承座上设置连接孔以及金属连接件实现了玻璃基板的接地需求，从而消除了玻璃基板下表面产生的静电，具有免维护、可靠性高的特点，并适用于洁净厂房。具体的，该玻璃基板运输设备包括金属框架以及设置在金属框架上的多个滚轮轴组件，每个滚轮轴组件包括空心轴、设置在空心轴上的多个滚轮、设置在空心轴上的多个轴承以及与每个轴承对应的轴承座，其中，上述滚轮用于承载玻璃基板，轴承座与金属框架固定连接；还包括设置在金属框架上的滚轮驱动组件，滚轮驱动组件用于驱动空心轴转动；每个滚轮轴组件中，至少有一个轴承座上设有连接孔，连接孔介于轴承外圈与金属框架之间，连接孔中设有金属连接件，金属连接件一端与轴承外圈导电连接，另一端与金属框架导电连接，且金属框架与接地导线导电连接。上述实施例中，除轴承座外，滚轮、空心轴、轴承以及金属框架都为金属导体，通过在每个滚轮轴组件中的轴承座上开设连接孔，并在连接孔中设置金属连接件分别与轴承外圈以及金属框架导电连接，使得每个滚轮轴组件都与金属框架导通，金属框架接地后，玻璃基板下表面产生的静电通过下方的各个滚轮轴组件传导至金属框架，由金属框架导入大地，从而达到静电消除的目的；相对于原有结构，只需要将金属框架接地，并在轴承座上开设连接孔，在连接孔内安装金属连接件使每个滚轮轴组件与金属框架导通，即可将玻璃基板上的静电荷导入大地，具有结构简单、安装方便、免维护、可靠性高的特点，且适用于洁净厂房。为了更加清楚的了解本技术实施例提供的玻璃基板运输设备的结构，现结合附图进行详细的描述。如图1、图2所示，该玻璃基板运输设备包括金属框架10以及设置在金属框架10上的多个滚轮轴组件20，这些滚轮轴组件20沿玻璃基板40的输送方向间隔设置，滚轮轴组件20的数量以及相邻两个滚轮轴组件20之间的间距由所需运输的玻璃基板40的外形尺寸以及材质所决定；每个滚轮轴组件20包括空心轴21、设置在空心轴21上的多个滚轮24、设置在空心轴21上的多个轴承22以及与每个轴承对应的轴承座23，其中，轴承座23固定在金属框架10上，空心轴21通过轴承22与轴承座23转动连接，空心轴21上的滚轮24为由导电材料制作而成的滚轮24，滚轮24用于承载玻璃基板40，在运输过程中，空心轴21带动滚轮24转动，使玻璃基板40向前或前后做直线运动；还包括设置在金属框架10上的滚轮驱动组件30，滚轮驱动组件30用于驱动空心轴21转动。该玻璃基板运输设备中，玻璃基板40放置在滚轮轴组件20中的滚轮24上，并随着空心轴21以及滚轮24本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种玻璃基板运输设备，包括金属框架以及设置在所述金属框架上的多个滚轮轴组件，每个滚轮轴组件包括空心轴、设置在所述空心轴上的多个滚轮、设置在所述空心轴上的多个轴承以及与每个轴承对应的轴承座，其中，所述多个滚轮用于承载玻璃基板，所述轴承座与所述金属框架固定连接；还包括设置在所述金属框架上的滚轮驱动组件，所述滚轮驱动组件用于驱动所述空心轴转动，其特征在于，/n所述每个滚轮轴组件中，至少有一个轴承座上设有连接孔，所述连接孔介于所述轴承外圈与所述金属框架之间，所述连接孔中设有金属连接件，所述金属连接件一端与所述轴承外圈导电连接，另一端与所述金属框架导电连接，且所述金属框架与接地导线导电连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板运输设备，包括金属框架以及设置在所述金属框架上的多个滚轮轴组件，每个滚轮轴组件包括空心轴、设置在所述空心轴上的多个滚轮、设置在所述空心轴上的多个轴承以及与每个轴承对应的轴承座，其中，所述多个滚轮用于承载玻璃基板，所述轴承座与所述金属框架固定连接；还包括设置在所述金属框架上的滚轮驱动组件，所述滚轮驱动组件用于驱动所述空心轴转动，其特征在于，
所述每个滚轮轴组件中，至少有一个轴承座上设有连接孔，所述连接孔介于所述轴承外圈与所述金属框架之间，所述连接孔中设有金属连接件，所述金属连接件一端与所述轴承外圈导电连接，另一端与所述金属框架导电连接，且所述金属框架与接地导线导电连接。


2.如权利要求1所述的玻璃基板运输设备，其特征在于，所述金属框架为金属型材框架，所述金属型材框架与所述连接孔对应的位置设有凹槽，所述凹槽内设有方螺母块以及与所述方螺母块配合的紧定螺钉，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李莉，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34