【技术实现步骤摘要】
一种玻璃基板运输设备
本技术涉及微电子
，尤其涉及一种玻璃基板运输设备。
技术介绍
随着液晶行业不断发展，半导体制造工艺和结构越来越精细，电路集成度越来越高，玻璃基板上承载的电路和器件对静电敏感度也不断提高，玻璃基板在输送过程中经常会发生静电击穿问题，这对产品生产厂家造成了巨大经济损失。现有技术中，玻璃基板运输设备普遍采用滚轴带动滚轮托运的传送方式来输送玻璃基板，玻璃基板运输设备主要包括铝型材框架、滚轮轴组件以及滚轮驱动组件，其中，滚轮轴组件包括滚轮、空心轴、轴承以及轴承座，滚轮安装在空心轴上，空心轴安装在轴承上，轴承由轴承座固定在铝型材框架上，玻璃基板放置在滚轮轴组件上，滚轮驱动组件带动各个相互独立的滚轮轴组件转动，以实现玻璃基板向前或向后直线运动。每个滚轮轴组件中，滚轮、空心轴以及轴承均为金属导体，轴承座由塑性材料制作而成，不导电，为了消除玻璃基板下表面产生的静电荷，可以将这部分静电荷导入大地，如设置一个很软金属毛刷，使金属毛刷接地，并使金属毛刷与各个滚轮轴组件上的空心轴相接触，从而将玻璃基...
【技术保护点】
1.一种玻璃基板运输设备，包括金属框架以及设置在所述金属框架上的多个滚轮轴组件，每个滚轮轴组件包括空心轴、设置在所述空心轴上的多个滚轮、设置在所述空心轴上的多个轴承以及与每个轴承对应的轴承座，其中，所述多个滚轮用于承载玻璃基板，所述轴承座与所述金属框架固定连接；还包括设置在所述金属框架上的滚轮驱动组件，所述滚轮驱动组件用于驱动所述空心轴转动，其特征在于，/n所述每个滚轮轴组件中，至少有一个轴承座上设有连接孔，所述连接孔介于所述轴承外圈与所述金属框架之间，所述连接孔中设有金属连接件，所述金属连接件一端与所述轴承外圈导电连接，另一端与所述金属框架导电连接，且所述金属框架与接地导线导电连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板运输设备，包括金属框架以及设置在所述金属框架上的多个滚轮轴组件，每个滚轮轴组件包括空心轴、设置在所述空心轴上的多个滚轮、设置在所述空心轴上的多个轴承以及与每个轴承对应的轴承座，其中，所述多个滚轮用于承载玻璃基板，所述轴承座与所述金属框架固定连接；还包括设置在所述金属框架上的滚轮驱动组件，所述滚轮驱动组件用于驱动所述空心轴转动，其特征在于，
所述每个滚轮轴组件中，至少有一个轴承座上设有连接孔，所述连接孔介于所述轴承外圈与所述金属框架之间，所述连接孔中设有金属连接件，所述金属连接件一端与所述轴承外圈导电连接，另一端与所述金属框架导电连接，且所述金属框架与接地导线导电连接。
2.如权利要求1所述的玻璃基板运输设备，其特征在于，所述金属框架为金属型材框架，所述金属型材框架与所述连接孔对应的位置设有凹槽，所述凹槽内设有方螺母块以及与所述方螺母块配合的紧定螺钉，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：李莉，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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