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本实用新型涉及微电子技术领域,公开了一种玻璃基板运输设备,包括金属框架以及设置在金属框架上的多个滚轮轴组件,每个滚轮轴组件包括空心轴、设置在空心轴上的多个滚轮、设置在空心轴上的多个轴承以及与每个轴承对应的轴承座,其中,上述滚轮用于承载玻璃基...该专利属于合肥欣奕华智能机器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥欣奕华智能机器有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及微电子技术领域,公开了一种玻璃基板运输设备,包括金属框架以及设置在金属框架上的多个滚轮轴组件,每个滚轮轴组件包括空心轴、设置在空心轴上的多个滚轮、设置在空心轴上的多个轴承以及与每个轴承对应的轴承座,其中,上述滚轮用于承载玻璃基...