【技术实现步骤摘要】
机台冷却水调节装置
本技术涉及半导体制造设备领域，特别涉及一种机台冷却水调节装置。
技术介绍
在半导体器件的制造过程的部分工艺中，机台的反应腔体内的设定温度从600℃至1050℃。冷却水通过管道流至机台反应腔附近，通过水循环能够带走部分多余热量，水的比热容较大能够稳定温度。机台的冷却水配合加热腔共同保持反应腔体内的温度稳定，因此，机台冷却水需要在极小的范围内波动，流体的主要参数包括压力和流量等。参阅图1所示，流量显示装置内显示了各个冷却水流量的设定范围，要求的流量在2.5±0.5L/min、2.5±0.5L/min、3.5±0.5L/min、2.5±0.5L/min、7.0±1.0L/min范围内。现有技术中，参阅图1所示，该流量显示装置会将监控水管内的流量显示出来。参阅图2所示，控制水管内流量有一排手动阀，分别对应各个管路标记，也具有调大调小标记。操作人员巡回检查该台机的冷却水的流量是否在设定的范围内，如果超出设定的范围则手动旋转对应的旋钮，调大或调小水管内的流量。现有技术采用显示流量、告知...
【技术保护点】
1.一种机台冷却水调节装置，其特征在于，包括：/n一管路，用以流动所述冷却水，所述冷却水具有一水流方向；/n一流量侦测器，用以侦测管路中冷却水的流量；/n一调节控制器，所述调节控制器与所述流量侦测器连接；/n一流量调节阀，所述流量调节阀安装在所述管路中，所述流量调节阀位于所述流量侦测器的水流方向的上游，所述流量调节阀与所述调节控制器连接。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种机台冷却水调节装置，其特征在于，包括：
一管路，用以流动所述冷却水，所述冷却水具有一水流方向；
一流量侦测器，用以侦测管路中冷却水的流量；
一调节控制器，所述调节控制器与所述流量侦测器连接；
一流量调节阀，所述流量调节阀安装在所述管路中，所述流量调节阀位于所述流量侦测器的水流方向的上游，所述流量调节阀与所述调节控制器连接。
2.如权利要求1所述的机台冷却水调节装置，其特征在于，还包括：一压力调节阀，所述压力调节阀安装在所述管路中，所述压力调节阀位于所述流量调节阀的水流方向的上游。
3.如权利要求1所述的机台冷却水调节装置，其特征在于，所述流量侦测器包含一容积式流量计、或差压流量计、或浮子流量计、或涡轮流量计、或电磁流量计、或涡街流量计、或超声流量计、或质量流量计、或插入式流量计。
4.如权利要求1或3所述的机台冷却水调节装置，其特征在于，所述流量侦测器输出一测得电压值，所述测得电压值与所述流量相关。
5.如权利要求4所述的机台冷却水调节装置，其特征在于，所述调节控制器包含一比例积分微分控制器，所述比例积分微分控制器有一设定电压值，所述测得电压值作为反馈与所述设定电压值比较得到电压差值，所述电压差值输入至所述比例积分微分控制器中的比例积分微分控制电路中，输出一执行电压值，所述执行电压值连接所述流量调节阀。
6.如权利要求1所述的机台冷却水调节装置，其特征在于，所述流量调节阀包含一蝶形阀。
7.如权利要求6所述的机台冷却水调节装置，其特征在于，所述蝶形阀包含一阀腔、一阀板、一转轴、一连杆、一流体缸、一电磁阀，所述转轴包含一轴头，所述转轴与所述阀板相连，所述轴头位于阀腔外部，所述轴头与所述连杆相连，所述流体缸与所述连杆相连，所述电磁阀与所述调节控制器连接。
技术研发人员：曹靖波，俞玮，何春雷，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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