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本实用新型提供一种机台冷却水调节装置，包含：一管路，用以流动所述冷却水，所述冷却水具有一水流方向；一流量侦测器，用以侦测管路中冷却水的流量；一调节控制器，所述调节控制器与所述流量侦测器连接；一流量调节阀，所述流量调节阀安装在所述管路中，所述...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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