集成电路修复方法及装置、存储介质、电子设备制造方法及图纸

技术编号:23707381 阅读:39 留言:0更新日期:2020-04-08 11:39
本公开涉及电路修复技术领域,尤其涉及一种集成电路修复方法及装置、存储介质、电子设备。该方法包括:根据各所述集成电路的故障位置,确定各所述集成电路中各所述故障位置对应的熔断丝;根据各所述集成电路中的各所述故障位置对应的熔断丝,设置所述多个集成电路中各相同位置处的熔断丝对应的控制信号,其中,各所述相同位置处的熔断丝对应的控制信号均包括各所述位址线的控制信号;向所述多个集成电路的所述N个位址线提供熔断信号,并向所述多个集成电路的所述N个位址线依次提供各相同位置处的熔断丝对应的控制信号,以对各所述集成电路中的各故障位置进行修复。本公开减少了整体的修复时间,降低了修复成本,提高了修复效率。

【技术实现步骤摘要】
集成电路修复方法及装置、存储介质、电子设备
本公开涉及电路修复
,尤其涉及一种集成电路修复方法及装置、存储介质、电子设备。
技术介绍
在完成集成电路的制造后,需要对集成电路进行测试,以对集成电路的性能进行验证,筛选出不合格的集成电路。为了提高集成电路的良率,在完成测试之后,需要对不合格的集成电路进行修复。目前,常用的修复集成电路的方式为:首先确定各集成电路中的故障位置以及各故障位置对应的熔断丝,然后,根据各集成电路中的各故障位置对应的熔断丝编写各集成电路中的各故障位置的修复程序,最后通过依次执行各集成电路中的各故障位置的修复程序并利用镭射机台依次将各集成电路中的各故障位置与其对应的熔断丝烧断,以对各集成电路中的各故障位置进行修复。然而,由于在上述方式中采用了依次对各集成电路中的各故障位置进行修复的方式,尤其是在一次处理的集成电路较多的情况下,大大的增加了整体的修复时间,提高了修复成本,降低了修复效率;此外,由于需要对各集成电路中的各故障位置编写修复程序,修复程序设置次数多且较繁琐。需要说明的是,在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解,因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本公开的目的在于提供一种集成电路修复方法及装置、存储介质、电子设备,进而至少在一定程度上克服由于依次对各集成电路中的各故障位置进行修复而导致的修复时间长、修复成本高、修复效率低以及修复程序设置次数多且较繁琐的问题。根据本公开的一个方面,提供一种集成电路修复方法,包括:获取多个集成电路中各所述集成电路的故障位置,各所述集成电路均包括N个位址线,所述N个位址线用于定位所述集成电路中的各个位置;根据各所述集成电路的故障位置,确定各所述集成电路中各所述故障位置对应的熔断丝;根据各所述集成电路中的各所述故障位置对应的熔断丝,设置所述多个集成电路中各相同位置处的熔断丝对应的控制信号,其中,各所述相同位置处的熔断丝对应的控制信号均包括各所述位址线的控制信号;向所述多个集成电路的所述N个位址线提供熔断信号,并向所述多个集成电路的所述N个位址线依次提供各相同位置处的熔断丝对应的控制信号,以对各所述集成电路中的各故障位置进行修复。在本公开的一种示例性实施例中,所述根据各所述集成电路的故障位置,确定各所述集成电路中各所述故障位置对应的熔断丝包括:对各所述集成电路中的各所述熔断丝进行测试,以得到各所述集成电路中的各所述熔断丝的状态;根据各所述集成电路的故障位置并结合各所述集成电路中的各所述熔断丝的状态确定各所述集成电路中各所述故障位置对应的熔断丝。在本公开的一种示例性实施例中,所述根据各所述集成电路中的各所述故障位置对应的熔断丝,设置所述多个集成电路中各相同位置处的熔断丝对应的控制信号包括:根据各所述集成电路中的各所述故障位置分别计算各所述集成电路中的各所述故障位置的位址数据;根据各所述集成电路中的各所述故障位置的位址数据并结合各所述集成电路中的各所述故障位置对应的熔断丝,设置所述多个集成电路中各相同位置处的熔断丝对应的控制信号。在本公开的一种示例性实施例中,所述根据各所述集成电路中的各所述故障位置的位址数据并结合各所述集成电路中的各所述故障位置对应的熔断丝,设置所述多个集成电路中各相同位置处的熔断丝对应的控制信号包括:分别从各所述集成电路中的各所述故障位置的位址数据中获取各所述集成电路中的各所述故障位置的位址数据中的各所述位址线的位址数据;根据各所述集成电路中的各所述故障位置的位址数据中的各所述位址线的位址数据并结合各所述集成电路中的所述故障位置对应的熔断丝,设置所述多个集成电路中各相同位置处的熔断丝对应的控制信号。在本公开的一种示例性实施例中,所述获取多个集成电路中各所述集成电路的故障位置包括:对多个集成电路中的各所述集成电路进行测试,以得到各所述集成电路的测试数据;分别根据各所述集成电路的测试数据确定各所述集成电路的故障位置。在本公开的一种示例性实施例中,在所述以对各所述集成电路中各故障位置进行修复之后还包括:对修复后的各所述集成电路的各故障位置进行测试,并根据测试结果判断各所述集成电路的各故障位置是否修复成功。在本公开的一种示例性实施例中,所述熔断丝包括行熔断丝和列熔断丝。在本公开的一种示例性实施例中,所述N个位址线包括行位址线和列位址线,所述行位址线用于定位位于行的位置,所述列位址线用于定位位于列的位置;所述根据各所述集成电路的故障位置,确定各所述集成电路中各所述故障位置对应的熔断丝包括:根据各所述集成电路的位于行的故障位置,确定各所述集成电路中的各所述位于行的故障位置对应的所述行熔断丝,并根据各所述集成电路的位于列的故障位置,确定各所述集成电路中的各所述位于列的故障位置对应的所述列熔断丝;所述根据各所述集成电路中的各所述故障位置对应的熔断丝,设置所述多个集成电路中各相同位置处的熔断丝对应的控制信号包括:根据各所述集成电路中的各所述位于行的故障位置对应的行熔断丝,设置所述多个集成电路中的各相同位置处的行熔断丝对应的控制信号,并根据各所述集成电路中的各所述位于列的故障位置对应的列熔断丝,设置所述多个集成电路中的各相同位置处的列熔断丝对应的控制信号;所述向所述多个集成电路的所述N个位址线提供熔断信号,并向所述多个集成电路的所述N个位址线依次提供各相同位置处的熔断丝对应的控制信号包括:向所述多个集成电路的所述行位址线和所述列位址线提供熔断信号,并向所述多个集成电路的所述行位址线依次提供各相同位置处的行熔断丝对应的控制信号,同时向所述多个集成电路的所述列位址线依次提供各相同位置处的列熔断丝对应的控制信号。根据本公开的一个方面,提供一种集成电路修复装置,包括:获取模块,用于获取多个集成电路中各所述集成电路的故障位置,各所述集成电路均包括N个位址线,所述N个位址线用于定位所述集成电路中的各个位置;确定模块,用于根据各所述集成电路的故障位置,确定各所述集成电路中各所述故障位置对应的熔断丝;设置模块,用于根据各所述集成电路中的各所述故障位置对应的熔断丝,设置所述多个集成电路中各相同位置处的熔断丝对应的控制信号,其中,各所述相同位置处的熔断丝对应的控制信号均包括各所述位址线的控制信号;修复模块,用于向所述多个集成电路的所述N个位址线提供熔断信号,并向所述多个集成电路的所述N个位址线依次提供各相同位置处的熔断丝对应的控制信号,以对各所述集成电路中的各故障位置进行修复。在本公开的一种示例性实施例中,所述装置还包括:测试模块,用于对修复后的各所述集成电路的各故障位置进行测试,并根据测试结果判断各所述集成电路的各故障位置是否修复成功。根据本公开的一个方面,提供一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,所述计算机程序被处理器执行时实现上述中任意一项所述的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成电路修复方法,其特征在于,包括:/n获取多个集成电路中各所述集成电路的故障位置,各所述集成电路均包括N个位址线,所述N个位址线用于定位所述集成电路中的各个位置;/n根据各所述集成电路的故障位置,确定各所述集成电路中各所述故障位置对应的熔断丝;/n根据各所述集成电路中的各所述故障位置对应的熔断丝,设置所述多个集成电路中各相同位置处的熔断丝对应的控制信号,其中,各所述相同位置处的熔断丝对应的控制信号均包括各所述位址线的控制信号;/n向所述多个集成电路的所述N个位址线提供熔断信号,并向所述多个集成电路的所述N个位址线依次提供各相同位置处的熔断丝对应的控制信号,以对各所述集成电路中各故障位置进行修复。/n

【技术特征摘要】
1.一种集成电路修复方法,其特征在于,包括:
获取多个集成电路中各所述集成电路的故障位置,各所述集成电路均包括N个位址线,所述N个位址线用于定位所述集成电路中的各个位置;
根据各所述集成电路的故障位置,确定各所述集成电路中各所述故障位置对应的熔断丝;
根据各所述集成电路中的各所述故障位置对应的熔断丝,设置所述多个集成电路中各相同位置处的熔断丝对应的控制信号,其中,各所述相同位置处的熔断丝对应的控制信号均包括各所述位址线的控制信号;
向所述多个集成电路的所述N个位址线提供熔断信号,并向所述多个集成电路的所述N个位址线依次提供各相同位置处的熔断丝对应的控制信号,以对各所述集成电路中各故障位置进行修复。


2.根据权利要求1所述的集成电路修复方法,其特征在于,所述根据各所述集成电路的故障位置,确定各所述集成电路中各所述故障位置对应的熔断丝包括:
对各所述集成电路中的各所述熔断丝进行测试,以得到各所述集成电路中的各所述熔断丝的状态;
根据各所述集成电路的故障位置并结合各所述集成电路中的各所述熔断丝的状态确定各所述集成电路中各所述故障位置对应的熔断丝。


3.根据权利要求1所述的集成电路修复方法,其特征在于,所述根据各所述集成电路中的各所述故障位置对应的熔断丝,设置所述多个集成电路中各相同位置处的熔断丝对应的控制信号包括:
根据各所述集成电路中的各所述故障位置分别计算各所述集成电路中的各所述故障位置的位址数据;
根据各所述集成电路中的各所述故障位置的位址数据并结合各所述集成电路中的各所述故障位置对应的熔断丝,设置所述多个集成电路中各相同位置处的熔断丝对应的控制信号。


4.根据权利要求3所述的集成电路修复方法,其特征在于,所述根据各所述集成电路中的各所述故障位置的位址数据并结合各所述集成电路中的各所述故障位置对应的熔断丝,设置所述多个集成电路中各相同位置处的熔断丝对应的控制信号包括:
分别从各所述集成电路中的各所述故障位置的位址数据中获取各所述集成电路中的各所述故障位置的位址数据中的各所述位址线的位址数据;
根据各所述集成电路中的各所述故障位置的位址数据中的各所述位址线的位址数据并结合各所述集成电路中的所述故障位置对应的熔断丝,设置所述多个集成电路中各相同位置处的熔断丝对应的控制信号。


5.根据权利要求1所述的集成电路修复方法,其特征在于,所述获取多个集成电路中各所述集成电路的故障位置包括:
对多个集成电路中的各所述集成电路进行测试,以得到各所述集成电路的测试数据;
分别根据各所述集成电路的测试数据确定各所述集成电路的故障位置。


6.根据权利要求1所述的集成电路修复方法,其特征在于,在所述以对各所述集成电路中的各故障位置进行修复之后还包括:
对修复后的各所述集成电路的各故障位置进行测试,并根据测试结果判断各所述集成电路的各故障位置是否修复成功。


7.根据权利要求1~6中任一项所述的集成电路修复...

【专利技术属性】
技术研发人员:蓝尹明
申请(专利权)人:长鑫存储技术有限公司
类型:发明
国别省市:安徽;34

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