The invention discloses a method for identifying probe card information by a wafer level testing machine. Step 1: design and make a probe card, and set a memory chip for storing probe card information in the probe card; step 2: input correct probe card information to the memory chip using a writing algorithm and verify the completion; step 3: identify the probe card information in the memory chip using a reading algorithm The probe card information determines whether it is a matched probe card. The invention can minimize the loss caused by replacing the wrong probe card, and the tester can automatically obtain the correct information in the probe card memory chip.
【技术实现步骤摘要】
晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法
本专利技术涉及半导体集成电路领域，特别是涉及一种晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法。
技术介绍
在集成电路芯片测试领域，测试机上建立晶圆级芯片测试能力的方法是为一种芯片定制一块探针卡，测试机探针卡上面通过金属触点与测试机负载板相连接，其底面通过探针与芯片管脚相连接，使其成为测试机信号通道与被测芯片管脚之间连接的桥梁，进而应用于芯片封装前对芯片电学性能进行初步测量，筛选出不良芯片后，再进行之后的封装工程。所以当测试不同的芯片时，必须换上对应的探针卡进行测试，那么识别所更换探针卡的正确性就尤为重要。晶圆级芯片测试中，为了确保所用探针卡与所测试项目完全匹配，所以需要一种简单可靠的方法对探针卡信息进行识别。但是，现在晶圆级芯片测试中，识别探针卡的方式是通过扫描探针卡盒子上黏贴的条形码，从探针卡管理系统中获取录入的条形码信息，进而把探针卡信息输入到测试机中。当操作人员因操作失误更换错误的探针卡后，必然会影响之后芯片的测试甚至损坏探针卡，拖慢项目进度。专利技术内...
【技术保护点】
1.一种晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法，其特征在于，包括如下步骤：/n步骤1、设计制作一块探针卡，在该探针卡中设置一块用于存储探针卡信息的存储芯片；/n步骤2、使用写入算法向所述存储芯片输入正确的探针卡信息并验证完成；/n步骤3、使用读出算法识别存储芯片中的探针卡信息，判断是否为匹配的探针卡。/n
【技术特征摘要】
1.一种晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1、设计制作一块探针卡，在该探针卡中设置一块用于存储探针卡信息的存储芯片；
步骤2、使用写入算法向所述存储芯片输入正确的探针卡信息并验证完成；
步骤3、使用读出算法识别存储芯片中的探针卡信息，判断是否为匹配的探针卡。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：若探针卡被识别通过，则进行正常测试，若探针卡被识别不通过则为错误探针卡，需更换探针卡重新进行识别。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述存储芯片A0、VCC引脚接电源，A1、A2、WP和VSS引脚接地，SCL引脚和测试机负载板的CSCL信号通道相连接，SDA引脚和测试机负载板CSDA信号通道相连接，通过测试机对存储芯片进行读写操作。
...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐鹿俊，郑鹏飞，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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