真空装置用闸阀制造方法及图纸

一种用于蒸镀装置的真空装置用闸阀，即使其位于开阀位置时，也可以通过保护阀箱的内壁面及阀体的密封部件与蒸镀材料的蒸气隔离来提高蒸镀室真空保持的可靠性。作为电子枪用闸阀（１），使用真空装置用闸阀，关闭阀时，与现有技术同样地阀体（３）把电子枪部从蒸镀室分离。打开阀时，通过把筒状的可动屏蔽件（２２）插入阀的阀室（１５）内，使阀室（１５）与蒸镀室隔离，阀箱（２）的内壁面及阀体（３）的密封部件不暴露在蒸镀室内的蒸气中，以进行保护而避免蒸镀物（ＭｇＯ）附着。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于真空装置的闸阀，具体涉及蒸镀装置的电子枪用 闸阀。
技术介绍
在制造半导体、薄膜、液晶等时使用的真空装置中，使用开放、 关闭各真空室间的间阀。现有技术中，已知有各种真空装置用间阀。例如，有在闭阀时使用膨胀密封件(一y7，一卜、乂一^)来提高密封性的阀(例如参照专利文献l、 2)或摆式阀等。图5、图6表示摆式阀的一例。该现有的摆式阀200从正面看时， 在阀箱202的侧壁202b上形成开口 204b (图6 )。另外，该阀200从侧面看阀箱202内部时，具有在其相向的侧 壁202a、 202b间形成的阀室215; i殳在其内部的冲罢形阀体203;密封 环205。在该相向的侧壁202a、 202b上形成开口 204a、 204b。在密 封环205上安装环状的密封件206、 207 (图5 )。当开阀状态的阀200闭阀时，利用空气压力驱动阀箱202侧方的 空气促动器209，使促动器轴208转动而使摆形的阀体203移动到作 为闭阀位置的开口 204a之前。然后，利用空气压力驱动气缸211来使 轴210动作，将密封环205压向阀体203，由此在阀箱202内部，由 密封件207本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空装置用闸阀，其是隔离真空装置的处理室和电子枪部之间的阀，其特征在于，包括：在相向的侧壁部上分别具有开口的阀箱、开闭所述开口的阀体、开阀时从所述开口的处理室侧插入所述阀箱内的能够自由往复运动的筒状的可动屏蔽件、能够与所述可动屏蔽件的末端部抵接且设在所述开口的电子枪部侧的止挡部件、和使所述可动屏蔽件往复运动的驱动机构；通过利用所述驱动机构使所述可动屏蔽件的末端部和所述止挡部件接近，所述可动屏蔽件的内方侧的气氛与所述阀箱内的气氛被分离。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：饭岛荣一，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：JP[日本]