一种用于蒸镀装置的真空装置用闸阀，即使其位于开阀位置时，也可以通过保护阀箱的内壁面及阀体的密封部件与蒸镀材料的蒸气隔离来提高蒸镀室真空保持的可靠性。作为电子枪用闸阀（１），使用真空装置用闸阀，关闭阀时，与现有技术同样地阀体（３）把电子枪部从蒸镀室分离。打开阀时，通过把筒状的可动屏蔽件（２２）插入阀的阀室（１５）内，使阀室（１５）与蒸镀室隔离，阀箱（２）的内壁面及阀体（３）的密封部件不暴露在蒸镀室内的蒸气中，以进行保护而避免蒸镀物（ＭｇＯ）附着。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于真空装置的闸阀，具体涉及蒸镀装置的电子枪用 闸阀。
技术介绍
在制造半导体、薄膜、液晶等时使用的真空装置中，使用开放、 关闭各真空室间的间阀。现有技术中，已知有各种真空装置用间阀。例如，有在闭阀时使用膨胀密封件(一y7，一卜、乂一^)来提高密封性的阀(例如参照专利文献l、 2)或摆式阀等。图5、图6表示摆式阀的一例。该现有的摆式阀200从正面看时， 在阀箱202的侧壁202b上形成开口 204b (图6 )。另外，该阀200从侧面看阀箱202内部时，具有在其相向的侧 壁202a、 202b间形成的阀室215; i殳在其内部的冲罢形阀体203;密封 环205。在该相向的侧壁202a、 202b上形成开口 204a、 204b。在密 封环205上安装环状的密封件206、 207 (图5 )。当开阀状态的阀200闭阀时，利用空气压力驱动阀箱202侧方的 空气促动器209，使促动器轴208转动而使摆形的阀体203移动到作 为闭阀位置的开口 204a之前。然后，利用空气压力驱动气缸211来使 轴210动作，将密封环205压向阀体203，由此在阀箱202内部，由 密封件207将开口 204b周围的内壁面和密封环205之间密封，由密封 件206将阀体203的表面和密封环205间密封。其结果，形成为开口 204a和开口 204b间4皮遮断。在此，在作为一个真空装置的真空蒸镀装置中，在装置的真空槽 内加热金属、金属氧化物、金属化合物等的蒸镀材料并使之蒸发(参照图7)。此时，从蒸发源产生的蒸镀材料的蒸气侵入到电子枪252内， 存在难以长时间持续产生稳定的电子束的问题，虽然试验了种种对策 但仍未得到解决。例如，如图7的真空蒸镀装置所示那样具有在电子束的出口孔附 近排气的排气机构，或者虽未图示但在电子束的出口孔的前方设置捕 获蒸镀材料的蒸气的收集器(参照专利文献3)。但是，在MgO的场合，蔓延激烈而得不到充分的效果。另外， 即使临时防止蒸镀材料的蒸气侵入电子枪，也必须进行灯丝的更换等 定期维护保养。专利文献1:(日本)特开2000-145980号公报(第3页、图1) 专利文献2:(日本)特开2004-360754号公报(第4页、图1) 专利文献3:(日本)特开平7-58832号公报(第4页、图l) 对于作为上述真空装置一例的串联式MgO蒸镀装置，实施2周 以上的连续运行。另外，对于具有MgO自动供给机构的装置，也可 以进行l个月的连续运行。但是，电子枪的灯丝、阴极等的消耗部件 大约每2 3周必须进行更换。或者在发生偶然的故障时，只把电子枪 部形成为大气压而进行维护保养。在此，在电子枪部和蒸镀室之间设 置闸阀，在更换时通过关闭该闸阀而只把电子枪部形成大气压就可以 进行维护保养，这样可把蒸镀室保持为真空状态，所以可期待大幅缩 短再开始运行时的起动时间。因此，在图7所示的串联式MgO蒸镀装置250的例子中，使用 现有的真空装置用闸阀200。在图7中，在串联式MgO蒸镀装置250中，蒸镀室251利用连 接在排气口 253上的图中未示出的排气装置(真空泵)，把其内部整体 保持成真空。为了对图中的被蒸镀物280进行蒸镀处理，在装置本体下部与被 蒸镀物280相向的位置，配置有收容蒸镀材料(MgO) 281的蒸发源 254。另外，在蒸发源254的侧方，配置有对蒸镀材料281照射电子线的作为加热源的电子枪252。在此，在电子枪252的前面，作为隔离电子枪部和蒸镀室251之 间的阀，配置了真空装置用闸阀200。通过关闭该闸阀200，在保持蒸 镀室251真空的状态下，可对电子枪252进行维护保养。进而，具有可连续运行的蒸镀材料的自动供给机构260。自动供 给机构260由以下的单元构成。MgO供给室(在真空中贮存MgO的 腔)261、 MgO供料器(把MgO定量连续地供给蒸发源的机构)263 以及MgO投射器264。在MgO供给室261中贮存约5~200Kg以上的Mg0282，间歇地 向MgO供料器263供给必要量的MgO约1 ~ 1.5Kg。间歇动作通过 气缸266使MgO供给阀267动作而得以进行。MgO由供料器263移 送，在MgO投射器264滑落而进入蒸发源254内。然而，在现有的真空装置用闸阀200中，在阀位于开阀位置时， 阀箱202内部的阀室215处于与蒸镀室251连接的状态。此时的阀箱 202的内壁面和阀体203暴露在蒸镀物(MgO) 281的蒸气中。为此 在阀箱202的内壁面及阀体203与密封环205的密封件206、 207的周 围也附着蒸镀物(MgO)，真空保持的可靠性甚低。因而，必须把蒸 镀室251也形成为大气压地进行维护保养。
技术实现思路
在闭阀时，与现有技术同样地阀体把电子枪部从蒸镀室分离。在 开阀时，通过把筒状的可动屏蔽件从阀的蒸镀室侧开口插入阀箱内， 使阀箱内与蒸镀室分离，阀箱的内壁面及岡体受到保护而不会附着蒸 镀物(MgO)。采用以上的才几构，可以防止蒸镀物(MgO)向阀座面 附着，能够解决无法保持真空的问题。另外，阀箱的内壁面及阀体具 有密封件、O型环等密封部件，可动屏蔽件也可防止向蒸镀物(MgO) 这些部件附着。专利技术的效果在串联式MgO蒸镀装置的连续运行中可减少停机时间。另外，也可以减少必须把蒸镀室向大气压开放的频度。 附图说明图l是表示本专利技术的电子枪用闸阔的实施方式的说明图(从阀箱 内部的本体侧面的说明图)。图2是表示本专利技术的电子枪用闸阀的动作的说明图(从阀箱内部 的本体侧面的说明图)。图2A表示开阀的状态，图2B表示闭阀的状 态。图3是表示本专利技术的电子枪用闸阀的实施方式的说明图(从蒸镀 室侧观看电子枪用闸阀本体的外观的正面图)。图4是表示本专利技术的电子枪用闸阀使用的串联式MgO蒸镀装置 的一例的说明图。图5是表示现有的真空装置用闸阀的一例的说明图(从阀箱内部 的本体侧面的说明图)。图6是表示现有的真空装置用闸阀的一例的说明图(从蒸镀室侧 的正面图)。图7是表示使用现有的真空装置用闸阀的串联式MgO蒸镀装置 的一例的说明图。 附图标记说明1真空装置用闸阀；2阀箱；3阀体；4a开口 (电子枪侧)；4b 开口 (蒸镀室侧)；5密封环；6密封件；7密封件；8促动器轴；9 空气促动器；10轴；11气缸；15阀室；21可动屏蔽件止挡部件； 22可动屏蔽件；23气缸；24轴；50串联式MgO蒸镀装置；51蒸 镀室；52电子枪；53排气口； 54蒸发源；56防镀板(可动屏蔽件 止挡部件)；60自动供给机构；61MgO供给室；63MgO供料器；64 MgO投射器；66供给阀驱动用气缸；67MgO供给阀；68 MgO补给 口；69MgO补给口的盖；80被蒸镀物；81蒸镀材料(MgO); 82 MgO; 200真空装置用闸阀；202阀箱；203阀体；204a、 204b开口； 205 密封环；206、 207密封件；208促动器轴；209空气促动器；210轴；211气缸；215阀室；231气缸；232气缸杆；233空气通路；250串 联式MgO蒸镀装置；251蒸镀室；252电子枪；253排气口； 254蒸 发源；260自动供给才几构；261MgO供给室；263 MgO供给器；264 MgO投射器；266供给本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种真空装置用闸阀，其是隔离真空装置的处理室和电子枪部之间的阀，其特征在于，包括：在相向的侧壁部上分别具有开口的阀箱、开闭所述开口的阀体、开阀时从所述开口的处理室侧插入所述阀箱内的能够自由往复运动的筒状的可动屏蔽件、能够与所述可动屏蔽件的末端部抵接且设在所述开口的电子枪部侧的止挡部件、和使所述可动屏蔽件往复运动的驱动机构；通过利用所述驱动机构使所述可动屏蔽件的末端部和所述止挡部件接近，所述可动屏蔽件的内方侧的气氛与所述阀箱内的气氛被分离。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：饭岛荣一，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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