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一种用于蒸镀装置的真空装置用闸阀，即使其位于开阀位置时，也可以通过保护阀箱的内壁面及阀体的密封部件与蒸镀材料的蒸气隔离来提高蒸镀室真空保持的可靠性。作为电子枪用闸阀（１），使用真空装置用闸阀，关闭阀时，与现有技术同样地阀体（３）把电子枪部从...
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