恒温湿法刻蚀设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种恒温湿法刻蚀设备，所述恒温湿法刻蚀设备包括：刻蚀槽，用于容纳刻蚀液及待刻蚀晶圆；进液管，一端与刻蚀槽的内部相连通；加热装置，与进液管远离刻蚀槽的一端相连接，用于对经由进液管流经加热装置的刻蚀液进行加热；出液管，一端与加热装置相连接，另一端与刻蚀槽的内部相连通，用于将加热装置加热后的刻蚀液输送至刻蚀槽内。本实用新型专利技术通过引入设置于刻蚀槽外的进液管、加热装置和出液管，对刻蚀槽内的刻蚀液进行加热，避免了在槽内设置加热器而出现腐蚀、漏电等安全隐患，以及因颗粒污染物沉积和刻蚀均匀性不佳而导致的产品良率不佳。此外，本实用新型专利技术还减少了设备维护时间和成本。

Constant Temperature Wet Etching Equipment

【技术实现步骤摘要】
恒温湿法刻蚀设备
本技术涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种恒温湿法刻蚀设备。
技术介绍
目前，在半导体集成电路制造的槽式湿法刻蚀过程中，一般需要通过在刻蚀槽中安装加热器，对刻蚀槽中的刻蚀液进行加热，以保持恒定的刻蚀温度。然而，在刻蚀槽中安装的加热器会带来器件腐蚀及漏电等不安全因素，加热器表面的起伏结构也会导致颗粒污染物沉积，且不易进行维护清洗。加热器在槽中的占位还影响了槽内刻蚀液的对流，导致槽内刻蚀液的浓度及温度分布不均，影响了晶圆的刻蚀均匀性。上述颗粒污染物沉积以及刻蚀均匀性不佳都会导致产品良率低下。此外，槽内加热器一旦发生故障，就需要在设备停机后将槽内刻蚀液排空后才能进行维护，额外增加了维护时间和成本，严重影响了设备产能。因此，有必要提出一种新的恒温湿法刻蚀设备，解决上述问题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种恒温湿法刻蚀设备，用于解决现有技术中槽内加热器安全隐患大、维护成本高且产品良率不佳的问题。为实现上述目的及其它相关目的，本技术提供了一种恒温湿法刻蚀设备，其特征在于，包括：用于容纳刻蚀液及待刻蚀晶圆的刻蚀槽；进液管，一端与所述刻蚀槽的内部相连通；用于对流入所述进液管的刻蚀液进行加热的加热装置，与所述进液管远离所述刻蚀槽的一端相连接；用于将所述加热装置加热后的刻蚀液输送至所述刻蚀槽内的出液管，一端与所述加热装置相连接，另一端与所述刻蚀槽的内部相连通。作为本技术的一种可选方案，所述刻蚀槽包括：用于容纳所述刻蚀液和所述待刻蚀晶圆的作业槽，连通所述出液管，所述加热装置中已加热的刻蚀液从所述出液管流入所述作业槽中；用于容纳从所述作业槽流入所述回流槽的待加热的刻蚀液的回流槽，连通所述作业槽和所述进液管，所述待加热的刻蚀液从所述进液管流入所述加热装置中。作为本技术的一种可选方案，所述恒温湿法刻蚀设备还包括用于将所述回流槽中的刻蚀液经所述进液管抽入所述加热装置中的循环泵，所述循环泵设置于所述进液管上。作为本技术的一种可选方案，所述循环泵包括气动隔膜泵。作为本技术的一种可选方案，所述回流槽套设于所述作业槽的外围，并通过所述回流槽的内槽壁与所述作业槽相互隔离，所述内槽壁的高度低于所述回流槽的外槽壁的高度，所述作业槽经由所述内槽壁顶端与所述回流槽相连通，所述作业槽中的刻蚀液从所述内槽壁的上方溢流至所述回流槽中。作为本技术的一种可选方案，所述恒温湿法刻蚀设备还包括装卸载装置，所述待刻蚀晶圆放置于晶舟内，所述装卸载装置包括用于抓取所述晶舟并使所述晶舟在所述刻蚀槽中装载或卸载的机械手臂。作为本技术的一种可选方案，所述恒温湿法刻蚀设备还包括控制模块，所述控制模块包括：用于控制所述加热装置的开关和加热温度的加热控制单元，连接所述加热装置；用于控制所述循环泵的开关和流量的循环泵控制单元，连接所述循环泵；用于控制所述装卸载装置对所述晶舟进行装载和卸载的装卸载控制单元，连接所述装卸载装置。作为本技术的一种可选方案，所述加热控制单元还包括设置于所述作业槽中用于实时获取所述作业槽中的所述刻蚀液的温度的温度传感器。作为本技术的一种可选方案，所述加热装置包括：用于容纳所述刻蚀液的加热腔，连接所述进液管和所述出液管；用于对所述加热腔内的所述刻蚀液进行加热的红外加热模块，设置于所述加热腔内。作为本技术的一种可选方案，所述加热腔包括石英腔体；所述红外加热模块包括石英管和密封于所述石英管中的电热丝。作为本技术的一种可选方案，所述进液管和所述出液管的外部包覆有保温材料。如上所述，本技术提供了一种恒温湿法刻蚀设备，通过引入设置于所述刻蚀槽外的进液管、加热装置和出液管，对所述刻蚀槽内的刻蚀液进行加热，避免了在槽内设置加热器而出现腐蚀、漏电等安全隐患，以及因颗粒污染物沉积和刻蚀均匀性不佳而导致的产品良率不佳。此外，本技术通过将加热装置设置于槽外，还减少了当加热器出现故障时进行设备维护的时间和成本。附图说明图1显示为本技术实施例一中提供的恒温湿法刻蚀设备的立体示意图。图2显示为本技术实施例一中提供的恒温湿法刻蚀设备的侧视图。元件标号说明100刻蚀槽100a作业槽100b回流槽100c内槽壁100d外槽壁101刻蚀液102待刻蚀晶圆103进液管104加热装置105出液管106晶舟107循环泵108机械手臂109控制模块109a加热控制单元109b循环泵控制单元109c装卸载控制单元具体实施方式以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其它优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。请参阅图1至图2。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，虽图示中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的形态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局形态也可能更为复杂。实施例一请参阅图1至图2，本技术提供了一种恒温湿法刻蚀设备，包括：刻蚀槽100，用于容纳刻蚀液101及待刻蚀晶圆102；进液管103，一端与所述刻蚀槽100的内部相连通；加热装置104，与所述进液管103远离所述刻蚀槽100的一端相连接，用于对经由所述进液管103流经所述加热装置104的刻蚀液101进行加热；出液管105，一端与所述加热装置104相连接，另一端与所述刻蚀槽100的内部相连通，用于将所述加热装置104加热后的刻蚀液101输送至所述刻蚀槽100内。如图1所示，是本实施例中提供的恒温湿法刻蚀设备的立体示意图，图2是其侧视图。为了清楚展示本实施例的各个部件，图1和图2都作了部分透明化处理。所述恒温湿法刻蚀设备包括刻蚀槽100、进液管103、加热装置104和出液管105。其中，所述刻蚀槽100具有足够的空间，可以在其中注满刻蚀液101，并使所述刻蚀液101浸没待刻蚀晶圆102的顶部。可选地，所述待刻蚀晶圆102垂直插置于晶舟106内，并随所述晶舟106一同从所述刻蚀槽100中装载或卸载。所述进液管103和所述出液管105各自独立连通所述刻蚀槽100和加热装置104。所述加热装置104从所述进液管103获取待加热的刻蚀液101，对流经所述加热装置104的刻蚀液101进行加热，并通过所述出液管105将加热后的刻蚀液101输送回所述刻蚀槽100内。作为示例，如图1和图2所示，所述刻蚀槽100包括：作业槽100a，连通所述出液管105，用于容纳所述刻蚀液101和所述待刻蚀晶圆102，所述加热装置104中已加热的刻蚀液101从所述出液管105流入所述作业槽100a中；回流槽100b，连通所述作业槽100a和所述进液管103，用于容纳从所述作业槽100a流入所述回流槽100b的待加热的刻蚀液101，所述待加热的刻蚀液101从所述进液管103流入所述加热装置104中。在本实施例中，所述刻蚀槽100包括所述作业槽100a和所述回流槽100b。具体地，所述作业槽100a用于容纳放有所述待刻蚀晶圆102的所述晶舟106，以及用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种恒温湿法刻蚀设备，其特征在于，包括：用于容纳刻蚀液及待刻蚀晶圆的刻蚀槽；进液管，一端与所述刻蚀槽的内部相连通；用于对流入所述进液管的刻蚀液进行加热的加热装置，与所述进液管远离所述刻蚀槽的一端相连接；用于将所述加热装置加热后的刻蚀液输送至所述刻蚀槽内的出液管，一端与所述加热装置相连接，另一端与所述刻蚀槽的内部相连通。

【技术特征摘要】
1.一种恒温湿法刻蚀设备，其特征在于，包括：用于容纳刻蚀液及待刻蚀晶圆的刻蚀槽；进液管，一端与所述刻蚀槽的内部相连通；用于对流入所述进液管的刻蚀液进行加热的加热装置，与所述进液管远离所述刻蚀槽的一端相连接；用于将所述加热装置加热后的刻蚀液输送至所述刻蚀槽内的出液管，一端与所述加热装置相连接，另一端与所述刻蚀槽的内部相连通。2.根据权利要求1所述的一种恒温湿法刻蚀设备，其特征在于，所述刻蚀槽包括：用于容纳所述刻蚀液和所述待刻蚀晶圆的作业槽，连通所述出液管，所述加热装置中已加热的刻蚀液从所述出液管流入所述作业槽中；用于容纳从所述作业槽流入的待加热的刻蚀液的回流槽，连通所述作业槽和所述进液管，所述待加热的刻蚀液从所述进液管流入所述加热装置中。3.根据权利要求2所述的一种恒温湿法刻蚀设备，其特征在于，所述恒温湿法刻蚀设备还包括用于将所述回流槽中的刻蚀液经所述进液管抽入所述加热装置中的循环泵，所述循环泵设置于所述进液管上。4.根据权利要求3所述的一种恒温湿法刻蚀设备，其特征在于，所述循环泵包括气动隔膜泵。5.根据权利要求3所述的一种恒温湿法刻蚀设备，其特征在于，所述回流槽套设于所述作业槽的外围，并通过所述回流槽的内槽壁与所述作业槽相互隔离，所述内槽壁的高度低于所述回流槽的外槽壁的高度，所述作业槽经由所述内槽壁顶端与所述回流槽相连通，所述作业槽中的刻蚀液从所述内...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨抗，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34