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本实用新型提供了一种恒温湿法刻蚀设备，所述恒温湿法刻蚀设备包括：刻蚀槽，用于容纳刻蚀液及待刻蚀晶圆；进液管，一端与刻蚀槽的内部相连通；加热装置，与进液管远离刻蚀槽的一端相连接，用于对经由进液管流经加热装置的刻蚀液进行加热；出液管，一端与加热...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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