一种具有除尘功能的高效型芯片拾取设备制造技术

技术编号:21973470 阅读:39 留言:0更新日期:2019-08-28 01:54
本发明专利技术涉及一种具有除尘功能的高效型芯片拾取设备,包括顶板、检测装置、工作台、支撑机构和两个支架,工作台上设有拾取机构,工作台的上方设有除尘机构,拾取机构包括传送带、第一气缸、连接条和拾取组件,拾取组件包括若干拾取单元,拾取单元包括竖板和支撑板,除尘机构包括移动组件、第一电机、转杆和风机,移动组件包括滑轨、移动块、齿条和驱动单元,驱动单元包括连接杆、第二电机和齿轮,该具有除尘功能的高效型芯片拾取设备,通过拾取机构一次拾取多个芯片,改善了拾取效率更高,不仅如此,通过除尘机构对芯片表面进行除尘,与提高了实用性。

An Efficient Chip Picking Equipment with Dust Removal Function

【技术实现步骤摘要】
一种具有除尘功能的高效型芯片拾取设备
本专利技术涉及芯片拾取设备领域,特别涉及一种具有除尘功能的高效型芯片拾取设备。
技术介绍
半导体芯片是将不同尺寸的晶片切断成所定大小,为了不使得切断时切断的半导体芯片零乱,晶片在背面粘接具有粘接性的保持带,由晶片切断装置等从表面侧切断晶片,此时,粘接在背面的保持带虽然被切入一部分,但没有被切断,以此保持各半导体芯片的状态,接着,芯片拾取机从保持带上拾取被切断的各半导体芯片,拾取过程中,芯片首先从晶圆上被顶起,随后通过吸嘴吸附芯片表面,实现剥离并转移。现有的芯片拾取机在拾取芯片时需要吸嘴将检测合格的芯片一个一个吸附并转移,拾取效率较低,不仅如此,现有的芯片拾取机在拾取芯片时容易有灰尘落到芯片表面,影响芯片的使用,而无法除去这些灰尘,降低了实用性。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是:为了克服现有技术的不足,提供一种具有除尘功能的高效型芯片拾取设备。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种具有除尘功能的高效型芯片拾取设备,包括顶板、检测装置、工作台、支撑机构和两个支架,所述顶板架设在两个支架的上方,所述检测装置固定在顶板的下方,所述工作台的两侧分别与两个支架固定连接,所述工作台的中心处设有开口,所述支撑机构设置在开口的下方,两个支架中,其中一个支架上设有控制器,所述工作台上设有拾取机构,所述工作台的上方设有除尘机构,所述控制器内设有PLC,所述检测装置与PLC电连接;所述拾取机构包括传送带、第一气缸、连接条和拾取组件,所述传送带位于工作台上的与支架垂直的一侧,所述第一气缸的缸体水平固定在传送带的上方,所述第一气缸与传送带垂直,所述第一气缸的气杆与连接条的中心处固定连接,所述拾取组件包括若干拾取单元,所述拾取单元均匀分布在连接条的远离第一气缸的一侧,所述拾取单元包括竖板和支撑板,所述竖杆与连接条固定连接,所述支撑板水平固定在竖板的上方,所述第一气缸与PLC电连接;所述除尘机构包括移动组件、第一电机、转杆和风机,所述移动组件设置在两个支架之间,所述第一电机与滑动组件连接,所述第一电机向下设置,所述第一电机与转杆的一端传动连接,所述风机固定在转杆的另一端,所述风机倾斜向下设置,所述第一电机和风机均与PLC电连接。作为优选,为了调整风机在水平方向上的位置,所述移动组件包括滑轨、移动块、齿条和驱动单元,所述滑轨的两端分别与两个支架固定连接,所述移动块设置在滑轨内,所述移动块与滑轨滑动连接,所述齿条与移动块的远离滑轨的一侧固定连接,所述第一电机固定在齿条的下方,所述驱动单元与滑轨的上方连接。作为优选,为了驱动齿条移动,所述驱动单元包括连接杆、第二电机和齿轮,所述第二电机通过连接杆固定在滑轨的上方,所述第二电机与齿轮传动连接,所述齿轮与齿条啮合,所述第二电机与PLC电连接。作为优选,为了防止移动块脱离滑轨,所述滑轨为燕尾槽。作为优选,为了检测第一气缸到芯片之间的距离,所述第一气缸上固定有距离传感器,所述距离传感器与PLC电连接。作为优选,为了减轻支撑板对芯片的磨损,所述支撑板的上方涂有橡胶。作为优选,为了防止在拾取过程中灰尘落到芯片表面,所述拾取组件的上方设有玻璃罩,所述玻璃罩与连接条固定连接。作为优选,为了将检验合格的芯片顶起,所述支撑机构包括固定板和若干支撑组件,所述固定板设置在工作台的下方,所述固定板的两端分别固定在两个支架上,所述支撑组件均匀分布在开口的下方,所述支撑组件包括第二气缸和顶针,所述第二气缸的缸体固定在固定板上,所述第二气缸的气杆与顶针固定连接,所述第二气缸与PLC电连接。作为优选,为了固定保持带,所述工作台上设有固定机构,所述固定机构包括四个固定组件,四个固定组件分别位于工作台的上方的四角,所述固定组件包括第三电机、丝杆、压块和限位单元,所述第三电机位于工作台的上方,所述第三电机向下设置,所述第三电机与丝杆传动连接,所述丝杆竖向设置,所述压块套设在丝杆的底端,所述压块的与丝杆的连接处设有与丝杆匹配的螺纹,所述限位单元与压块连接,所述第三电机与PLC电连接,所述丝杆到工作台的最短距离小于压块在竖直方向上的长度。作为优选,为了限制压块的移动方向,所述限位单元包括限位环和限位杆,所述第三电机通过限位杆固定在工作台的上方,所述限位环与压块固定连接,所述限位环套设在限位杆上。本专利技术的有益效果是,该具有除尘功能的高效型芯片拾取设备,通过拾取机构一次拾取多个芯片,与现有的拾取机构相比,该拾取机构拾取效率更高,节省了拾取所有合格芯片的时间,不仅如此,通过除尘机构对芯片表面进行除尘,与现有的除尘机构相比,提高了芯片表面的清洁度,减轻了灰尘对芯片使用的影响,从而提高了实用性。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1是本专利技术的具有除尘功能的高效型芯片拾取设备的结构示意图;图2是本专利技术的具有除尘功能的高效型芯片拾取设备的拾取机构的结构示意图;图3是本专利技术的具有除尘功能的高效型芯片拾取设备的除尘机构的结构示意图;图4是本专利技术的具有除尘功能的高效型芯片拾取设备的固定组件的结构示意图;图中:1.顶板,2.检测装置,3.工作台,4.支架,5.控制器,6.传送带,7.第一气缸,8.连接条,9.竖板,10.支撑板,11.玻璃罩,12.滑轨,13.移动块,14.齿条,15.连接杆,16.第二电机,17.齿轮,18.第一电机,19.风机,20.转杆,21.丝杆,22.压块,23.第三电机,24.限位杆,25.限位环,26.第二气缸,27.顶针,28.固定板,29.距离传感器。具体实施方式现在结合附图对本专利技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本专利技术的基本结构,因此其仅显示与本专利技术有关的构成。如图1所示,一种具有除尘功能的高效型芯片拾取设备,包括顶板1、检测装置2、工作台3、支撑机构和两个支架4,所述顶板1架设在两个支架4的上方,所述检测装置2固定在顶板1的下方,所述工作台3的两侧分别与两个支架4固定连接,所述工作台3的中心处设有开口,所述支撑机构设置在开口的下方,两个支架4中,其中一个支架4上设有控制器5,所述工作台3上设有拾取机构,所述工作台3的上方设有除尘机构,所述控制器5内设有PLC,所述检测装置2与PLC电连接;PLC,即可编程逻辑控制器,它采用一类可编程的存储器,用于其内部存储程序,执行逻辑运算、顺序控制、定时、计数与算术操作等面向用户的指令,并通过数字或模拟式输入/输出控制各种类型的机械或生产过程,其实质是一种专用于工业控制的计算机,其硬件结构基本上与微型计算机相同,一般用于数据的处理以及指令的接收和输出,用于实现中央控制。用户将带有芯片的保持带固定到工作台3上,检测装置2对芯片进行检测,并发送信号给PLC,PLC收到信号后控制支撑机构将合格的芯片顶起,合格的芯片经过除尘机构吹去灰尘,再由拾取机构拾取。如图2所示,所述拾取机构包括传送带6、第一气缸7、连接条8和拾取组件,所述传送带6位于工作台3上的与支架4垂直的一侧,所述第一气缸7的缸体水平固定在传送带6的上方,所述第一气缸7与传送带6垂直,所述第一气缸7的气杆与连接条8的中心处固定连接,所述拾取组件包括若干拾取单元,所述拾取单元均匀分布在连接条8的远离第一气缸7的一侧,所述拾取单元包本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有除尘功能的高效型芯片拾取设备,包括顶板(1)、检测装置(2)、工作台(3)、支撑机构和两个支架(4),所述顶板(1)架设在两个支架(4)的上方,所述检测装置(2)固定在顶板(1)的下方,所述工作台(3)的两侧分别与两个支架(4)固定连接,所述工作台(3)的中心处设有开口,所述支撑机构设置在开口的下方,两个支架(4)中,其中一个支架(4)上设有控制器(5),其特征在于,所述工作台(3)上设有拾取机构,所述工作台(3)的上方设有除尘机构,所述控制器(5)内设有PLC,所述检测装置(2)与PLC电连接;所述拾取机构包括传送带(6)、第一气缸(7)、连接条(8)和拾取组件,所述传送带(6)位于工作台(3)上的与支架(4)垂直的一侧,所述第一气缸(7)的缸体水平固定在传送带(6)的上方,所述第一气缸(7)与传送带(6)垂直,所述第一气缸(7)的气杆与连接条(8)的中心处固定连接,所述拾取组件包括若干拾取单元,所述拾取单元均匀分布在连接条(8)的远离第一气缸(7)的一侧,所述拾取单元包括竖板(9)和支撑板(10),所述竖杆与连接条(8)固定连接,所述支撑板(10)水平固定在竖板(9)的上方,所述第一气缸(7)与PLC电连接;所述除尘机构包括移动组件、第一电机(18)、转杆(20)和风机(19),所述移动组件设置在两个支架(4)之间,所述第一电机(18)与滑动组件连接,所述第一电机(18)向下设置,所述第一电机(18)与转杆(20)的一端传动连接,所述风机固定在转杆(20)的另一端,所述风机(19)倾斜向下设置,所述第一电机(18)和风机(19)均与PLC电连接。...

【技术特征摘要】
1.一种具有除尘功能的高效型芯片拾取设备,包括顶板(1)、检测装置(2)、工作台(3)、支撑机构和两个支架(4),所述顶板(1)架设在两个支架(4)的上方,所述检测装置(2)固定在顶板(1)的下方,所述工作台(3)的两侧分别与两个支架(4)固定连接,所述工作台(3)的中心处设有开口,所述支撑机构设置在开口的下方,两个支架(4)中,其中一个支架(4)上设有控制器(5),其特征在于,所述工作台(3)上设有拾取机构,所述工作台(3)的上方设有除尘机构,所述控制器(5)内设有PLC,所述检测装置(2)与PLC电连接;所述拾取机构包括传送带(6)、第一气缸(7)、连接条(8)和拾取组件,所述传送带(6)位于工作台(3)上的与支架(4)垂直的一侧,所述第一气缸(7)的缸体水平固定在传送带(6)的上方,所述第一气缸(7)与传送带(6)垂直,所述第一气缸(7)的气杆与连接条(8)的中心处固定连接,所述拾取组件包括若干拾取单元,所述拾取单元均匀分布在连接条(8)的远离第一气缸(7)的一侧,所述拾取单元包括竖板(9)和支撑板(10),所述竖杆与连接条(8)固定连接,所述支撑板(10)水平固定在竖板(9)的上方,所述第一气缸(7)与PLC电连接;所述除尘机构包括移动组件、第一电机(18)、转杆(20)和风机(19),所述移动组件设置在两个支架(4)之间,所述第一电机(18)与滑动组件连接,所述第一电机(18)向下设置,所述第一电机(18)与转杆(20)的一端传动连接,所述风机固定在转杆(20)的另一端,所述风机(19)倾斜向下设置,所述第一电机(18)和风机(19)均与PLC电连接。2.如权利要求1所述的具有除尘功能的高效型芯片拾取设备,其特征在于,所述移动组件包括滑轨(12)、移动块(13)、齿条(14)和驱动单元,所述滑轨(12)的两端分别与两个支架(4)固定连接,所述移动块(13)设置在滑轨(12)内,所述移动块(13)与滑轨(12)滑动连接,所述齿条(14)与移动块(13)的远离滑轨(12)的一侧固定连接,所述第一电机(18)固定在齿条(14)的下方,所述驱动单元与滑轨(12)的上方连接。3.如权利要求2所述的具有除尘功能的高效型芯片拾取设备,其特征在于,所述驱动单元包括连接杆(15)、第二电机(16)和齿轮(17),所述第二电机(16)通过连接杆(15)固...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈科
申请(专利权)人:深圳市中科智诚科技有限公司
类型:发明
国别省市:广东,44

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