一种镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种镀膜设备，包括：溅射腔；用于开启或关闭所述溅射腔的腔门；以及，保护件，可拆卸连接于所述溅射腔上，并位于所述溅射腔与所述腔门之间。由于溅射腔上连接有保护件，且保护件位于溅射腔与腔门之间，从而在腔门的安装过程中，腔门只会与保护件产生碰撞，而不会与溅射腔产生碰撞，这样，能够减少对溅射腔尤其是溅射腔的腔口处的损坏。

A Coating Equipment

The utility model provides a coating device, which comprises a sputtering cavity, a cavity door for opening or closing the sputtering cavity, and a protective device which can be detachably connected to the sputtering cavity and located between the sputtering cavity and the cavity door. Because the protective parts are connected on the sputtering cavity, and the protective parts are located between the sputtering cavity and the cavity door, during the installation of the cavity door, the cavity door will only collide with the protective parts, but will not collide with the sputtering cavity. Thus, the damage to the sputtering cavity, especially the cavity mouth of the sputtering cavity, can be reduced.

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜设备
本技术涉及镀膜设备
，尤其涉及一种镀膜设备。
技术介绍
溅射镀膜技术作为一种重要的镀膜技术，是利用气体放电产生气体电离，电离产生的离子在电场作用下高速轰击靶体表面，击出靶材的原子或分子，被击出的原子或分子飞向被镀基体表面沉积成薄膜的技术。采用溅射镀膜技术进行镀膜时，需要用到镀膜设备。镀膜设备往往设置有溅射腔，而溅射腔通常配备有腔门。当需要更换添置或更换靶材时，需要将腔门取下，待靶材安放好之后再将腔门重新安装到溅射腔上。目前，安装腔门时，先把腔门放到溅射腔前面的导轨上，然后人工推动腔门以使腔门与溅射腔贴紧。由于腔门的重量较大，需要较大的推力才能推动，因而在人工推动腔门的过程中，腔门与溅射腔之间会存在较大的碰撞，从而导致溅射腔容易损坏。
技术实现思路
本技术实施例提供一种镀膜设备，以解决目前的镀膜设备，在腔门的安装过程中，由于在人工推动腔门的过程中，腔门与溅射腔之间会存在较大的碰撞，从而导致溅射腔容易损坏的问题。为解决上述技术问题，本技术是这样实现的：一种镀膜设备，包括：溅射腔；用于开启或关闭所述溅射腔的腔门；以及，保护件，可拆卸连接于所述溅射腔上，并位于所述溅射腔与所述腔门本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜设备，其特征在于，包括：溅射腔；用于开启或关闭所述溅射腔的腔门；以及，保护件，可拆卸连接于所述溅射腔上，并位于所述溅射腔与所述腔门之间。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备，其特征在于，包括：溅射腔；用于开启或关闭所述溅射腔的腔门；以及，保护件，可拆卸连接于所述溅射腔上，并位于所述溅射腔与所述腔门之间。2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述保护件上开设有第一固定孔，所述溅射腔上开设有与所述第一固定孔对应的第二固定孔；所述镀膜设备还包括：第一连接件，穿设于所述第一固定孔和所述第二固定孔内，以连接所述溅射腔与所述保护件。3.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一连接件的靠近所述腔门的一端的端面与所述保护件的朝向所述腔门的表面齐平；或，所述第一连接件的靠近所述腔门的一端的端面下沉于所述保护件的朝向所述腔门的表面。4.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述保护件的朝向所述溅射腔的表面设置有卡接件，所述溅射腔上设置有与所述卡接件匹配的卡接孔，所述卡接件卡接于所述卡接孔内。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑良结，曾德春，江湖，吴建清，
申请(专利权)人：米亚索乐装备集成福建有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35