喷嘴清洗装置和喷嘴清洗方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种喷嘴清洗装置和喷嘴清洗方法，结构简单且可以自动完成清洗喷嘴功能。喷嘴清洗装置包括：第一槽体，冷却装置，第一清洗槽，第二清洗槽，盖合部，第一驱动机构，第二驱动机构，控制器；盖合部包括用于安装待清洗喷嘴的安装部，第一槽体、第一清洗槽以及第二清洗槽沿第一方向排列，第一驱动机构和第二驱动机构传动连接，第二驱动机构与盖合部传动连接，第一驱动机构用于驱动第二驱动机构沿第一方向运动，第二驱动机构驱动盖合部沿第二方向往复移动、以带动待清洗喷嘴插入第一槽体、第一清洗槽以及第二清洗槽中的任意一个；控制器根据预先存储的第一驱动机构和第二驱动机构移动信息，控制第一驱动机构、第二驱动机构运动。

【技术实现步骤摘要】
喷嘴清洗装置和喷嘴清洗方法
本专利技术涉及清洗
，尤其涉及一种喷嘴清洗装置和喷嘴清洗方法。
技术介绍
靶材作为高速荷能粒子轰击的目标材料，在微电子领域、显示器领域和存储器等领域被广泛应用。靶材在制备过程中，需要对衬管进行喷涂形成靶材，这就需要用到喷嘴，喷嘴在完成一次喷涂或在喷涂过程中出现堵塞时，需要将喷嘴拿去酸洗，通过酸洗将喷嘴内壁的残留物酸洗干净，以保证喷涂过程中喷嘴内壁不干净而发生粉末堵塞现象。目前清洗主要靠操作者用夹钳夹持待清洗喷嘴放入清洗液中进行清洗，清洗后喷嘴自然吹干，操作较不方便，且由于酸性清洗液有腐蚀性，清洗过程中容易溅起对操作者造成危害。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种喷嘴清洗装置和喷嘴清洗方法，结构简单且可以自动完成清洗喷嘴功能，操作方便。本专利技术提供了一种喷嘴清洗装置，包括：第一槽体，设置于所述第一槽体上的冷却装置，第一清洗槽，第二清洗槽，盖合部，第一驱动机构，第二驱动机构，控制器；其中：所述盖合部包括用于安装待清洗喷嘴的安装部，所述第一槽体、所述第一清洗槽以及所述第二清洗槽沿第一方向排列，所述第一驱动机构和所述第二驱动机构传动连接，所述第二驱动机构与所述盖合部传动连接，所述第一驱动机构用于驱动所述第二驱动机构沿所述第一方向运动，所述第二驱动机构驱动所述盖合部沿第二方向往复移动、以带动待清洗喷嘴插入所述第一槽体、所述第一清洗槽以及所述第二清洗槽中的任意一个；所述控制器与所述第一驱动机构和所述第二驱动机构电连接，根据预先存储的所述第一驱动机构和所述第二驱动机构的移动信息，控制所述第一驱动机构、所述第二驱动机构运动。本专利技术提供的喷嘴清洗装置，通过在控制器内预先存储的第一驱动机构和第二驱动机构的移动信息，控制第一驱动机构和第二驱动机构运动，进而可以带动待清洗喷嘴在第一槽体、第一清洗槽以及第二清洗槽中进行降温和清洗，该移动信息包括：第一驱动机构开始移动信息，第一驱动机构停止移动信息，第一驱动机构移动距离和方向信息，第一驱动机构停止运动的时长信息，第二驱动机构开始移动信息，第二驱动机构停止移动信息，第二驱动机构移动距离和方向信息，第二驱动机构停止运动的时长信息，第一驱动机构和第二驱动机构配合运动信息；在开始清洗时，第一槽体上的冷却装置可以对刚使用后的待清洗喷嘴进行降温处理，盖合部可以盖合每个槽的开口，防止清洗时清洗液溅射出来的现象发生。整个操作过程不需要操作者参与，控制器可以自动控制第一驱动机构和第二驱动机构。故，本专利技术提供的喷嘴清洗装置，结构简单且可以自动完成清洗喷嘴功能，操作方便。本专利技术还提供了一种应用于上述喷嘴清洗装置的喷嘴清洗方法，包括：确定第一驱动机构和第二驱动机构的移动信息；根据所述移动信息控制第一驱动机构和第二驱动机构移动，以带动待清洗喷嘴插入第一槽体、第一清洗槽、第二清洗槽内进行清洗。本专利技术提供的喷嘴清洗方法，可以实现自动化清洗，清洗较方便。本专利技术的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。本专利技术的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。附图说明附图用来提供对本专利技术技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本专利技术的技术方案，并不构成对本专利技术技术方案的限制。图1为本专利技术提供的喷嘴清洗装置的立体结构示意图；图2为图1所示的喷嘴清洗装置的A向结构示意图；图3为图1所示的喷嘴清洗装置的B向结构示意图；图4为图1所示的喷嘴清洗装置的C向结构示意图；图5为图1所示的喷嘴清洗装置的D向结构示意图；图6为本专利技术提供的喷嘴清洗方法流程图。附图标记：11-第一槽体12-第一清洗槽13-第二清洗槽14-第三清洗槽15-第四清洗槽16-第二槽体17-喷嘴放置架18-支架181-立柱182-横梁2-冷却装置3-盖合部31-盖板32-安装板41-浓度测量仪42-刻度线43-控制面板44-控制器45-待清洗喷嘴5-超声波震荡器61-进液管道611-第一控制阀62-输液管道621-第二控制阀63-酸液排出管道7-烘干器81-第一驱动机构811-滑轨812-活塞82-第二驱动机构821-缸体822-活塞杆91-第一位置传感器92-第二位置传感器93-第三位置传感器10-支撑平台F-第一方向G-第二方向具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例的附图，对本专利技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本专利技术的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。如图1、图2、图3所示，本专利技术提供了一种喷嘴清洗装置，包括：第一槽体11，设置于所述第一槽体11上的冷却装置2，第一清洗槽12，第二清洗槽13，盖合部3，第一驱动机构81，第二驱动机构82，控制器44；其中：所述盖合部3包括用于安装待清洗喷嘴45的安装部，所述第一槽体11、所述第一清洗槽12以及所述第二清洗槽13沿第一方向F排列，所述第一驱动机构81和所述第二驱动机构82传动连接，所述第二驱动机构82与所述盖合部3传动连接，所述第一驱动机构81用于驱动所述第二驱动机构82沿所述第一方向F运动，所述第二驱动机构82驱动所述盖合部3沿第二方向G往复移动、以带动待清洗喷嘴45插入所述第一槽体11、所述第一清洗槽12以及所述第二清洗槽13中的任意一个；所述控制器44与所述第一驱动机构81和所述第二驱动机构82电连接，根据预先存储的所述第一驱动机构81和所述第二驱动机构82的移动信息，控制所述第一驱动机构81、所述第二驱动机构82运动。本专利技术提供的喷嘴清洗装置，通过在控制器44内预先存储的第一驱动机构81和第二驱动机构82的移动信息，控制第一驱动机构81和第二驱动机构82运动，进而可以带动待清洗喷嘴45在第一槽体11、第一清洗槽12以及第二清洗槽13中进行降温和清本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种喷嘴清洗装置，其特征在于，包括：第一槽体，设置于所述第一槽体上的冷却装置，第一清洗槽，第二清洗槽，盖合部，第一驱动机构，第二驱动机构，控制器；其中：/n所述盖合部包括用于安装待清洗喷嘴的安装部，所述第一槽体、所述第一清洗槽以及所述第二清洗槽沿第一方向排列，所述第一驱动机构和所述第二驱动机构传动连接，所述第二驱动机构与所述盖合部传动连接，所述第一驱动机构用于驱动所述第二驱动机构沿所述第一方向运动，所述第二驱动机构驱动所述盖合部沿第二方向往复移动、以带动待清洗喷嘴插入所述第一槽体、所述第一清洗槽以及所述第二清洗槽中的任意一个；/n所述控制器与所述第一驱动机构和所述第二驱动机构电连接，根据预先存储的所述第一驱动机构和所述第二驱动机构的移动信息，控制所述第一驱动机构、所述第二驱动机构运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种喷嘴清洗装置，其特征在于，包括：第一槽体，设置于所述第一槽体上的冷却装置，第一清洗槽，第二清洗槽，盖合部，第一驱动机构，第二驱动机构，控制器；其中：
所述盖合部包括用于安装待清洗喷嘴的安装部，所述第一槽体、所述第一清洗槽以及所述第二清洗槽沿第一方向排列，所述第一驱动机构和所述第二驱动机构传动连接，所述第二驱动机构与所述盖合部传动连接，所述第一驱动机构用于驱动所述第二驱动机构沿所述第一方向运动，所述第二驱动机构驱动所述盖合部沿第二方向往复移动、以带动待清洗喷嘴插入所述第一槽体、所述第一清洗槽以及所述第二清洗槽中的任意一个；
所述控制器与所述第一驱动机构和所述第二驱动机构电连接，根据预先存储的所述第一驱动机构和所述第二驱动机构的移动信息，控制所述第一驱动机构、所述第二驱动机构运动。


2.根据权利要求1所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，还包括：与所述控制器电连接的超声波震荡器，所述超声波震荡器设置于所述第一清洗槽，所述超声波震荡器用于对所述第一清洗槽内的清洗液进行震荡。


3.根据权利要求2所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，还包括：
位于所述第二清洗槽背离所述第一清洗槽一侧的第三清洗槽；
位于所述第三清洗槽背离所述第二清洗槽一侧的第四清洗槽，所述第四清洗槽内设有喷淋头；
进液管道，所述进液管道与所述喷淋头连通；
输液管道，所述输液管道连通所述第四清洗槽，用于将所述第四清洗槽内的液体排出；
设置于所述进液管道上的第一控制阀；
设置于所述输液管道上的第二控制阀；
设置于所述第四清洗槽内的高度传感器，所述高度传感器用于检测所述第四清洗槽内液体的高度值，所述控制器与所述第一控制阀、所述第二控制阀以及高度传感器电连接，所述控制器用于根据所述高度传感器检测的所述高度值与预先存储的设定高度值的差值、控制所述第一控制阀开启或控制所述第二控制阀开启。


4.根据权利要求3所...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑江锚，许胜合，杨锋锋，游立章，卢鹏，兰邦银，
申请(专利权)人：米亚索乐装备集成福建有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35