一种连续卷绕式磁控溅射真空镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于板式太阳能中的太阳能选择性吸收涂层的连续镀膜设备。一种连续卷绕式磁控溅射真空镀膜装置，包括放卷室、收卷室、张力控制室、预处理室、工艺室组成，放卷室和收卷室分别位于设备的首末两端，放卷室和收卷室分别与一个张力控制室连接，放卷室一端的张力控制室连接有预处理室，预处理室和收卷室一端的张力控制室之间设置有至少一个工艺室，放卷室、收卷室的一端及张力控制室、预处理室、工艺室的两端均设置有相同规格的法兰盘，通过法兰盘依次连接放卷室、收卷室、张力控制室、预处理室、工艺室为一体。本实用新型专利技术可以提供一种长时间持续镀制太阳能选择性涂层的专用镀膜设备，该设备具有生产效率高，质量稳定和膜层性能优异的优点。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于板式太阳能中的太阳能选择性吸收涂层的连续镀膜设备， 属于太阳能热利用领域，尤其可以持续不间断在金属带巻上镀制选择性镀膜涂 层的专用生产设备。
技术介绍
太阳能热水器就是吸收太阳的辐射热能，加热冷水提供给人们在生活、生 产中使用的节能设备。它是我国太阳能热利用中最为成熟和最为先进的产品。 为百姓提供环保、安全、节能、卫生的新型热水器产品。我过前些年的太阳能 热水器主要是以真空管太阳能热水器为主，但是真空管太阳能热水气只时候使 用在小型独立使用的太阳能热水器中。随着太阳能利用的不断进步，现在一些 大型太阳能热水器多采用平板式太阳能热水器，由于这种太阳能热水器中的集 热板采用的都是金属板，在坚固耐用方面具有显著的优点，基本可以达到与建 造物具有相同的使用寿命。而其中的集热板表面的选择性涂层的镀制质量和性 能，是决定整个太阳能设备性能的关键技术。通过对中国专利的査询，中国专利200420077793.6中公开了一种太阳能选择性吸收涂层连续镀膜装置，该装 置中是采用在每一个工艺室之前，或者连续镀膜时两个工艺室之间设置一个独 立的真空过度装置，这样可以达到独立部件的连续镀制。但是上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种连续卷绕式磁控溅射真空镀膜装置，包括放卷室、收卷室、张力控制室、预处理室、工艺室组成，其特征在于：放卷室和收卷室分别位于设备的首末两端，放卷室和收卷室分别与一个张力控制室连接，放卷室一端的张力控制室连接有预处理室，预处理室和收卷室一端的张力控制室之间设置有至少一个工艺室，上述的放卷室、收卷室的一端及张力控制室、预处理室、工艺室的两端均设置有相同规格的法兰盘，并通过法兰盘依次连接上述放卷室、收卷室、张力控制室、预处理室、工艺室为一体，所述的放卷室、张力控制室、预处理室、工艺室、收卷室均为真空室，所述的放卷室、张力控制室、预处理室、工艺室、收卷室中均设有传输使用的辊。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：丘仁政，陈汉文，罗宾，
申请(专利权)人：丘仁政，陈汉文，罗宾，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]