三室两锁太阳能集热管镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种三室两锁太阳能集热管镀膜机，它由三个圆形真空室１、２、３串连，室与室之间用真空锁隔离，左右室为不暴露大气的溅射室，中间是装卸工件室，每个真空室内都有一套工件架１２、２２、３２、一个为工件架运动提供动力的旋转驱动机构１３、２３、３３和一个直径相同的固定环形轨道１４、２４、３４，左真空室１的环形轨道１４上有两个使工件架改变运动方向用的摆动机构１４１、１４２，中真空室２的环形轨道上有四个使工件架改变运动方向用的摆动机构２４１、２４２、２４３、２４４，室内还设置了两套升降导轨２５、２６，右真空室３的环形轨道３４上有两个使工件架改变运动方向用的摆动机构３４１、３４２。本实用新型专利技术结构新颖，使用方便，能有效提高产品质量和生产效率。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种真空镀膜专用设备，特别是一种用于镀制高质量全玻璃真空太阳集热管的三室两锁太阳能集热管镀膜机。
技术介绍
现在国内市场最常见的集热管镀膜机都是单室，由于结构简单、实用、价格适当而广泛运用于全国各地。但由于是单室，每一次镀膜后进行卸管、装管，真空室都要暴露在大 气中，真空室内壁、耙、工件架等室内所有部件都将吸附大量的气体而被污染。被污染后的真空室将使抽真空时间越来越长，致使生产效率大大降低，同时也使镀膜质量发生问题，出 现镀膜颜色不一致、不均匀的现象。
技术实现思路
本技术的目的是在克服上述现有技术的不足，提出一种结构合理、使用方便、 产品质量和生产效率高的三室两锁太阳能集热管镀膜机。 本技术的技术方案是一种三室两锁太阳能集热管镀膜机，包括有左、中、右 顺序排开的三个真空室，左真空室和右真空室是溅射镀膜室，其内分别设置有旋转磁控靶 和布气系统，中真空室是装卸工件室，左、中、右三个真空室之间分别用真空锁连接，每个真 空室都有独立的真空系统和独立的真空测量系统，每个真空室内都有一套工件架、一个为 工件架运动提供动力的旋转驱动机构和一个直径相同的固定环形轨道，左真空室的环形轨 道本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三室两锁太阳能集热管镀膜机，其特征是包括有左、中、右顺序排开的三个真空室，左真空室和右真空室是溅射镀膜室，其内分别设置有旋转磁控靶和布气系统，中真空室是装卸工件室，左、中、右三个真空室之间分别用真空锁连接，每个真空室都有独立的真空系统和独立的真空测量系统，每个真空室内都有一套工件架、一个为工件架运动提供动力的旋转驱动机构和一个直径相同的固定环形轨道，左真空室的环形轨道上有两个使工件架改变运动方向用的摆动机构，中真空室的环形轨道上有四个使工件架改变运动方向用的摆动机构，室内还设置了两套升降导轨，右真空室的环形轨道上有两个使工件架改变运动方向用的摆动机构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吕振华，李云辉，李云程，李云松，
申请(专利权)人：衡阳市真空机电设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：43[中国|湖南]