三室两锁太阳能集热管镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种三室两锁太阳能集热管镀膜机，它由三个圆形真空室１、２、３串连，室与室之间用真空锁隔离，左右室为不暴露大气的溅射室，中间是装卸工件室，每个真空室内都有一套工件架１２、２２、３２、一个为工件架运动提供动力的旋转驱动机构１３、２３、３３和一个直径相同的固定环形轨道１４、２４、３４，左真空室１的环形轨道１４上有两个使工件架改变运动方向用的摆动机构１４１、１４２，中真空室２的环形轨道上有四个使工件架改变运动方向用的摆动机构２４１、２４２、２４３、２４４，室内还设置了两套升降导轨２５、２６，右真空室３的环形轨道３４上有两个使工件架改变运动方向用的摆动机构３４１、３４２。本实用新型专利技术结构新颖，使用方便，能有效提高产品质量和生产效率。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种真空镀膜专用设备，特别是一种用于镀制高质量全玻璃真空太阳集热管的三室两锁太阳能集热管镀膜机。
技术介绍
现在国内市场最常见的集热管镀膜机都是单室，由于结构简单、实用、价格适当而广泛运用于全国各地。但由于是单室，每一次镀膜后进行卸管、装管，真空室都要暴露在大 气中，真空室内壁、耙、工件架等室内所有部件都将吸附大量的气体而被污染。被污染后的真空室将使抽真空时间越来越长，致使生产效率大大降低，同时也使镀膜质量发生问题，出 现镀膜颜色不一致、不均匀的现象。
技术实现思路
本技术的目的是在克服上述现有技术的不足，提出一种结构合理、使用方便、 产品质量和生产效率高的三室两锁太阳能集热管镀膜机。 本技术的技术方案是一种三室两锁太阳能集热管镀膜机，包括有左、中、右 顺序排开的三个真空室，左真空室和右真空室是溅射镀膜室，其内分别设置有旋转磁控靶 和布气系统，中真空室是装卸工件室，左、中、右三个真空室之间分别用真空锁连接，每个真 空室都有独立的真空系统和独立的真空测量系统，每个真空室内都有一套工件架、一个为 工件架运动提供动力的旋转驱动机构和一个直径相同的固定环形轨道，左真空室的环形轨 道上有两个使工件架改变运动方向用的摆动机构，中真空室的环形轨道上有四个使工件架 改变运动方向用的摆动机构，室内还设置了两套升降导轨，右真空室的环形轨道上有两个 使工件架改变运动方向用的摆动机构。 所述旋转磁控靶是靶材旋转的铝靶、铜靶或不锈钢靶，其分别垂直放置在左真空 室和右真空室中。 所述真空锁是插板阀或翻板阀。 工件架是由架体和自转轴组成的可移动工件架，自转轴下端有齿轮和旋转轮连接，旋转轮由旋转驱动机构驱动在环形轨道上运动带动齿轮使自转轴旋转。 所述旋转驱动机构是由电机、传动轴、齿轮组成的齿轮传动机构，旋转的齿轮将动力传给自转轴下端的轮而使工件架移动，使自转轴旋转。 环形导轨是在一平面圆盘上设置两道凸出的同心圆平台承载着工件架。 所述摆动机构由一旋转气缸带动旋转轴，轴上面固定一长方形板，通过调整旋转气缸的摆动角度使长方形板停留在工件架移动所需要的位置，其位置有两个一是"本位"，即工件架可以在环形轨道上运动，一是"换位"，即工件架可经它由环形轨道移到升降轨上。 两套升降导轨由直线气缸和带有弧形的板组成，气缸轴上固定的弧形板在气缸的带动下可伸出、退回，起到连接两真空室内环形轨道的作用，工件架通过升降轨道完成由一 个真空室移动到另一个真空室的运动过程。 本技术由于采用如上技术方案，与现有技术相比具有如下特点 1、装卸管室是没有被镀上膜的洁净真空室，长期保持真空卫生，不存在随着镀膜时间的推移抽速变慢的现象，生产效率明显提高； 2、溅射室是长期没有暴露大气的洁净真空室，工艺条件保持不变，使膜层的质量得到保证； 3.采用多个摆动机构的换位功能，使双工件架同时换位，节省辅助工作时间，生产节拍更加紧凑。 以下结合附图和具体实施方式对本技术的详细结构作进一步描述。附图说明图1为本技术的结构示意图。具体实施方式如图1所示一种三室两锁太阳能集热管镀膜机，包括有左、中、右顺序排开的三个真空室1、2、3，左真空室1和右真空室3是溅射镀膜室，其内分别设置有旋转磁控靶11、31和布气系统，中真空室2是装卸工件室，左、中、右三个真空室1、2、3之间分别用真空锁4、5连接，每个真空室都有独立的真空系统和独立的真空测量系统，每个真空室内都有一套工件架12、22、32、一个为工件架运动提供动力的旋转驱动机构13、23、33和一个直径相同的固定环形轨道14、24、34，左真空室1的环形轨道14上有两个使工件架改变运动方向用的摆动机构141、142，中真空室2的环形轨道上有四个使工件架改变运动方向用的摆动机构241、242、243、244，室内还设置了两套升降导轨25、26，右真空室3的环形轨道34上有两个使工件架改变运动方向用的摆动机构341、342 ;三个真空室1、2、3采用不锈钢制造，立式前开门，室与室用方形法兰接口连接，真空室配有真空系统、真空测量系统和布气系统的必要连接口 ；所述旋转磁控靶11、31是靶材旋转的铝靶、铜靶或不锈钢靶，其分别垂直放置在左真空室1和右真空室3中；所述真空锁4、5是插板阀或翻板阀；工件架12、22、32是由架体和自转轴组成的可移动工件架，自转轴下端有齿轮和旋转轮连接，旋转轮由旋转驱动机构驱动在环形轨道上运动带动齿轮使自转轴旋转；所述旋转驱动机构13、23、33是由电机、传动轴、齿轮组成的齿轮传动机构，旋转的齿轮将动力传给自转轴下端的轮而使工件架移动，使自转轴旋转；环形导轨14、24、34是在一平面圆盘上设置两道凸出的同心圆平台承载着工件架；所述摆动机构141、142、241、242、243、244、341、342由一旋转气缸带动旋转轴，轴上面固定一长方形板，通过调整旋转气缸的摆动角度使长方形板停留在工件架移动所需要的位置，其位置有两个一是"本位"，即工件架可以在环形轨道上运动，一是"换位"，即工件架可经它由环形轨道移到升降轨上；两套升降导轨25、26由直线气缸和带有弧形的板组成，气缸轴上固定的弧形板在气缸的带动下可伸出、退回，起到连接两真空室内环形轨道的作用，工件架通过升降轨道完成由一个真空室移动到另一个真空室的运动过程。 本技术的工作原理和使用方法是当三个真空室1、2、3的真空度达到2X10—2Pa以上时(三个真空室1、2、3内均有工件架)，开左真空锁4，左升降导轨25上升，摆动机构141、142、241、242由旋转气缸驱动至"换位"位置，工件架12、22在旋转驱动机构13、23的驱动下同时作顺时针运转，工件架12移动到中真空室2，工件架22移到左真空室4l，在指定位置旋转驱动机构13、23停，左升降导轨25下降，摆动机构141、142、241、242由旋转气缸驱动至"本位"位置，关左真空琐4，启动旋转驱动机构13，工件架在左真空室1内环形轨道14上旋转，此时在左真空室1内送入工作气体进行溅射镀膜工艺，同时中真空室2充大气至1X105pa，开室门，取出镀后成品，装入要求被镀件，并令工件架停在摆动机构243、244处，关室门，抽真空至要求，开右真空锁5，右升降导轨26上升，摆动机构243、244、341、342由旋转气缸驱动至"换位"位置，工件架12、32在旋转驱动机构33、23的驱动下同时作顺时针运转，工件架32移动到中真空室2，工件架12移到右真空室3，在指定位置旋转驱动机构33、23停，右升降导轨26下降，摆动机构243、244、341、342由旋转气缸驱动至"本位"位置，关右真空锁5，启动旋转驱动机构33，工件架在右真空室3内环形轨道34上旋转，此时在右真空室3内送入工作气体进行溅射镀膜工艺，同时中真空室2充大气至1X105pa，开室门，取出镀后成品，装入要求被镀件，并令工件架停在摆动机构241、242处，关室门抽真空至要求，此时左真空室1已镀膜完毕，开左真空锁4令工件架换位，重复上述程序动作。如此往复循环工作。权利要求一种三室两锁太阳能集热管镀膜机，其特征是包括有左、中、右顺序排开的三个真空室，左真空室和右真空室是溅射镀膜室，其内分别设置有旋转磁控靶和布气系统，中真空室是装卸本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三室两锁太阳能集热管镀膜机，其特征是包括有左、中、右顺序排开的三个真空室，左真空室和右真空室是溅射镀膜室，其内分别设置有旋转磁控靶和布气系统，中真空室是装卸工件室，左、中、右三个真空室之间分别用真空锁连接，每个真空室都有独立的真空系统和独立的真空测量系统，每个真空室内都有一套工件架、一个为工件架运动提供动力的旋转驱动机构和一个直径相同的固定环形轨道，左真空室的环形轨道上有两个使工件架改变运动方向用的摆动机构，中真空室的环形轨道上有四个使工件架改变运动方向用的摆动机构，室内还设置了两套升降导轨，右真空室的环形轨道上有两个使工件架改变运动方向用的摆动机构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吕振华，李云辉，李云程，李云松，
申请(专利权)人：衡阳市真空机电设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：43[中国|湖南]