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本实用新型公开了一种三室两锁太阳能集热管镀膜机，它由三个圆形真空室１、２、３串连，室与室之间用真空锁隔离，左右室为不暴露大气的溅射室，中间是装卸工件室，每个真空室内都有一套工件架１２、２２、３２、一个为工件架运动提供动力的旋转驱动机构１３、...该专利属于衡阳市真空机电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过衡阳市真空机电设备有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种三室两锁太阳能集热管镀膜机，它由三个圆形真空室１、２、３串连，室与室之间用真空锁隔离，左右室为不暴露大气的溅射室，中间是装卸工件室，每个真空室内都有一套工件架１２、２２、３２、一个为工件架运动提供动力的旋转驱动机构１３、...