温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种镀膜设备，包括：溅射腔；用于开启或关闭所述溅射腔的腔门；以及，保护件，可拆卸连接于所述溅射腔上，并位于所述溅射腔与所述腔门之间。由于溅射腔上连接有保护件，且保护件位于溅射腔与腔门之间，从而在腔门的安装过程中，腔门只会与保护...
该专利属于米亚索乐装备集成（福建）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过米亚索乐装备集成（福建）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。