【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置
本技术涉及一种蒸镀装置，尤其涉及蒸镀装置内部大气箱的驱动和导向结构。
技术介绍
蒸镀装置通常是利用真空容器来收容蒸发源(包含蒸镀材料)并执行蒸镀作业。在某些场合下，蒸发源需要在真空容器内运动，为此需要为蒸发源配置相应的运动驱动部件。为了确保蒸发源的正常工作，需要将与蒸发源相关的电器元件以及运动驱动部件与真空容器内的真空氛围相隔离，以使这些电器元件工作在正常的环境中、以及使这些运动驱动部件能够得到正常的润滑，等等。为此，真空容器中往往会设置大气箱，以容纳相关的电器元件并承载蒸发源，相关的运动驱动部件则驱动大气箱在真空容器中运动，并且这些运动驱动部件的外围需要设置例如波纹管等，从而通过大气箱和波纹管将这些电器元件和运动驱动部件与真空容器内的真空氛围相隔离。由于波纹管的软质特性，为避免其径向变形而与运动驱动部件接触，需要设置波纹管支承部，并且要使波纹管支承部能够跟随大气箱的运动而保持波纹管的径向形状和位置稳定。在现有技术的蒸镀装置中，为了防止波纹管自身的变形而设置多个薄圆板形状的变形防止板，在变形防止板中设有供引导移动体(升降台)的导轨穿过的圆孔以及供进给丝杠...
【技术保护点】
1.一种蒸镀装置，包括：真空容器，用于收容蒸镀材料并执行蒸镀作业；大气箱，可动地设置于所述真空容器中，其内部空间与所述真空容器的真空内腔气密地隔绝；运动驱动机构，至少部分地设置在所述真空容器中，用于驱动所述大气箱在所述真空容器中运动；以及波纹管组件，设置在所述运动驱动机构的外围，用于将所述运动驱动机构与所述真空容器的真空内腔气密地隔绝，所述波纹管组件可在轴向上伸缩，以适应所述大气箱的运动；其特征在于，所述蒸镀装置还包括导向管，所述运动驱动机构至少部分地穿设在所述导向管中，所述导向管的侧壁上设有沿轴向延伸的开口，所述大气箱经由穿过所述开口的连接件连接至所述运动驱动机构，所述连...
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，包括：真空容器，用于收容蒸镀材料并执行蒸镀作业；大气箱，可动地设置于所述真空容器中，其内部空间与所述真空容器的真空内腔气密地隔绝；运动驱动机构，至少部分地设置在所述真空容器中，用于驱动所述大气箱在所述真空容器中运动；以及波纹管组件，设置在所述运动驱动机构的外围，用于将所述运动驱动机构与所述真空容器的真空内腔气密地隔绝，所述波纹管组件可在轴向上伸缩，以适应所述大气箱的运动；其特征在于，所述蒸镀装置还包括导向管，所述运动驱动机构至少部分地穿设在所述导向管中，所述导向管的侧壁上设有沿轴向延伸的开口，所述大气箱经由穿过所述开口的连接件连接至所述运动驱动机构，所述连接件与所述开口共同形成第一运动导向结构，以便对所述大气箱的运动进行导向，所述导向管的外侧面用于对所述波纹管组件进行支承和/或导向。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述导向管为圆管、椭圆管、方管、矩形管或边数大于四的多边形管。3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述导向管的两端分别延伸到所述运动驱动机构的两端或附近。4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述运动驱动机构为丝杠螺母机构或齿轮齿条机构。5.根据权利要...
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