一种膜厚调节器及蒸镀设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种膜厚调节器及蒸镀设备，所述膜厚调节器包括：线源以及设置于所述线源上的喷嘴组，所述线源具有一喷嘴安装面，所述喷嘴组包括沿线源方向设在所述喷嘴安装面的多个喷嘴。该膜厚调节器及蒸镀设备，有效改善蒸镀膜的均一性。

【技术实现步骤摘要】
一种膜厚调节器及蒸镀设备
本技术涉及蒸镀
，具体涉及一种膜厚调节器及蒸镀设备。
技术介绍
现有OLED面板的生产中通常采用蒸镀工艺使发光材料附着到基板上，在量产中蒸镀发光材料需要使用到线性蒸发源(简称线源)。蒸镀成膜法形成的膜可以称为蒸镀膜，蒸镀膜的厚度不同会导致OLED显示器件的发光亮度和色度存在差异，影响OLED显示器件的显示效果及使用寿命。
技术实现思路
本技术实施例的目的包括提供一种膜厚调节器及蒸镀设备，用于改善蒸镀膜的均一性。本技术实施例提供一种膜厚调节器，所述膜厚调节器包括：线源以及设置于所述线源上的喷嘴组，所述线源具有一喷嘴安装面，所述喷嘴组包括沿线源方向设置于所述喷嘴安装面的多个喷嘴。优选地，所述喷嘴还包括补偿喷嘴，所述补偿喷嘴与所述喷嘴为分体式结构或一体式结构。优选地，所述补偿喷嘴与所述喷嘴为一体式结构，设置于所述喷嘴安装面上。优选地，所述补偿喷嘴与所述喷嘴为分体式结构，所述补偿喷嘴分设于所述喷嘴一侧或两侧。优选地，所述补偿喷嘴设置于所述喷嘴的左侧或右侧。优选地，所述喷嘴包括第一喷嘴、第二喷嘴、第三喷嘴……第N喷嘴，所述补偿喷嘴包括第一补偿喷嘴、第二补偿喷嘴、第三补偿本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种膜厚调节器，其特征在于，所述膜厚调节器包括：线源以及设置于所述线源上的喷嘴组，所述线源具有一喷嘴安装面，所述喷嘴组包括沿线源方向设置于所述喷嘴安装面的多个喷嘴，所述喷嘴还包括补偿喷嘴，该补偿喷嘴具有可调节喷嘴开口大小的阀门。

【技术特征摘要】
1.一种膜厚调节器，其特征在于，所述膜厚调节器包括：线源以及设置于所述线源上的喷嘴组，所述线源具有一喷嘴安装面，所述喷嘴组包括沿线源方向设置于所述喷嘴安装面的多个喷嘴，所述喷嘴还包括补偿喷嘴，该补偿喷嘴具有可调节喷嘴开口大小的阀门。2.根据权利要求1所述的膜厚调节器，其特征在于，所述补偿喷嘴与所述喷嘴为分体式结构或一体式结构。3.根据权利要求1所述的膜厚调节器，其特征在于，所述补偿喷嘴与所述喷嘴为一体式结构，设置于所述喷嘴安装面上。4.根据权利要求1所述的膜厚调节器，其特征在于，所述补偿喷嘴与所述喷嘴为分体式结构，所述补偿喷嘴分设于所述喷嘴一侧或两侧。5.根据权利要求4所述的膜厚调节器，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：常建兵，何麟，朱修剑，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32