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本实用新型涉及一种蒸镀装置，包括真空容器、大气箱、运动驱动机构和波纹管组件，还包括导向管，运动驱动机构至少部分地穿设在导向管中，导向管的侧壁上设有沿轴向延伸的开口，大气箱经由穿过开口的连接件连接至运动驱动机构，连接件与开口共同形成第一运动导...
该专利属于佳能特机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能特机株式会社授权不得商用。

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