用于测试电子器件的装置的接触探针和相应测试头制造方法及图纸

本文描述了一种用于测试电子器件的装置的测试头的接触探针(20)，该接触探针包括探针主体(20C)，该探针主体(20C)在适于实现与相应接触垫接触的相应端部(20A，20B)之间沿纵向延伸，至少一个端部(20B)的横向尺寸大于所述探针主体(20C)并包括扩大部分(22)，该扩大部分(22)仅对应于所述接触探针(20)的第一侧壁(23a，23b)突出。适当地，所述至少一个端部(20B)还包括至少一个突起(24)，该至少一个突起(24)从与第一侧壁(23a，23b)相对的第二侧壁(23b，23a)突出并且沿接触探针(20)的纵轴(HH)从所述扩大部分(22)开始朝向第二相对壁(23a，23b)延伸。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于测试电子器件的装置的接触探针和相应测试头
本专利技术涉及用于测试电子器件的装置的接触探针和相应测试头。本专利技术特别但不排他地涉及用于测试集成在晶片上的电子器件的装置的垂直接触探针和测试头，并且参考该应用领域进行以下描述，其目的仅在于简化其介绍。
技术介绍
众所周知，探头本质上是一种适于将微结构的多个接触焊盘或垫、特别是集成在晶片上的电子器件与执行其功能检查(特别是电气检查，即测试)的测试装置的相应通道电连接的装置。在集成器件上执行的测试对于检测和隔离已经处于制造阶段的有缺陷的器件特别有用。通常，探针卡因此用于在晶片集成器件被切割和组装在芯片容纳封装中之前对晶片集成器件进行电测试。测试头基本上包括多个基本上为杆状的接触元件或接触探针，其配备有至少一个接触端，该接触端适于邻接到被测集成器件的接触垫上。在本领域中广泛使用的是所谓的垂直探头，其包括由至少一对板或导引件保持的多个接触探针，所述板或导引件基本上为板形并且彼此平行。这种导引件设置有合适的孔并且彼此间隔一定距离放置，以便留下用于移动的自由区域或自由空间以及接触探针的可能变形。该对导引件尤其包括上模和下模，两者都配备有导引孔，接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于测试电子器件的装置的测试头的接触探针(20)，所述接触探针包括探针主体(20C)，所述探针主体(20C)在适于实现与相应接触垫接触的相应端部(20A，20B)之间基本上沿纵向延伸，至少一个端部(20B)的横向尺寸大于所述探针主体(20C)并且包括扩大部分(22)，所述扩大部分仅对应于所述接触探针(20)的第一侧壁(23a，23b)突出，其特征在于，所述至少一个端部(20B)还包括至少一个突起(24)，所述至少一个突起从与所述第一侧壁(23a，23b)相对的第二侧壁(23b，23a)突出并且基本上沿着所述接触探针(20)的纵向轴线(HH)从所述扩大部分(22)延伸所述第二相对壁(23...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.08.11 IT 1020160000849211.一种用于测试电子器件的装置的测试头的接触探针(20)，所述接触探针包括探针主体(20C)，所述探针主体(20C)在适于实现与相应接触垫接触的相应端部(20A，20B)之间基本上沿纵向延伸，至少一个端部(20B)的横向尺寸大于所述探针主体(20C)并且包括扩大部分(22)，所述扩大部分仅对应于所述接触探针(20)的第一侧壁(23a，23b)突出，其特征在于，所述至少一个端部(20B)还包括至少一个突起(24)，所述至少一个突起从与所述第一侧壁(23a，23b)相对的第二侧壁(23b，23a)突出并且基本上沿着所述接触探针(20)的纵向轴线(HH)从所述扩大部分(22)延伸所述第二相对壁(23b，23a)。2.根据权利要求1所述的接触探针(20)，其特征在于，所述突起(24)形成在所述接触探针(20)的一部分(20F)中，所述部分要包含在容纳所述接触探针(20)的导引件的导引孔中。3.根据权利要求1或2所述的接触探针(20)，其特征在于，所述至少一个端部(20B)是适于邻接到空间变换器(28)的接触垫(28A)上的接触头(20B)，所述另一端部(20A)是适于邻接到被测器件(27)的接触垫(27A)上的接触尖端(20A)。4.根据前述权利要求中任一项所述的接触探针(20)，其特征在于，所述扩大部分(22)限定至少一个底切壁(22a)，并且所述突起(24)具有最大横向延伸点，所述最大横向延伸点离所述底切壁(22a)的高度(H*)的范围在10μm到100μm之间。5.根据权利要求4所述的接触探针(20)，其特征在于，所述至少一个端部(20B)的足迹直径(Dt)等于所述探针主体(20C)的直径(Ds)与对应于所述底切壁(22a)的长度的所述扩大部分(22)的第一横向尺寸(L1)的总和，直径表示相应横截面的最大延伸尺寸，并且所述突起(24)具有第二横向尺寸(L2)，所述第二横向尺寸的值等于所述第一横向尺寸(L1)的值，相差正负50％。6.根据权利要求4或5所述的接触探针(20)，其特征在于，所述扩大部分(22)和所述突起(24)的所述第一和第二横向尺寸(L1，L2)分别满足以下条件：L1+L2+Ds>DfL1+Ds<Df，以及L2+Ds<Df其中：L1：所述扩大部分(22)的所述第一横向尺寸；L2：所述突起(24)的所述第二横向尺寸；Ds：所述接触探针(20)的直径；以及Df：适于容纳所述接触探针(20)并包含所述突起(24)的导引孔的直径。7.根据权利要求6所述的接触探针(20)，其特征在于，所述扩大部分(22)的所述第一横向尺寸(L1)具有介于5μm和25μm之间的值，并且所述突起(24)的所述第二横向尺寸(L2)具有介于2μm到20μm之间的值。8.根据权利要求5或6所述的接触探针(20)，其特征在于，所述探针直径(Ds)具有介于20μm到150μm之间的值，并且所述足迹直径(Dt)具有介于15μm到120μm之间的值。9.根据前述权利要求中任一项所述的接触探针(20)，其特征在于，所述突起(24)还包括与所述接触探针(20)的所述第二侧壁(23b，23a)上的所述扩大部分(22)相对应形成的凹槽(22C)，所述第二侧壁与所述第一侧壁(23a，23b)相对，所述扩大部分(22)从所述第一侧壁突出。10.根据权利要求9所述的接触探针(20)，其特征在于，所述凹槽(22C)在所述接触探针(20)的所述端部(20B)内从所述第二侧壁(23b，23a)开始延伸一段长度(L3)，所述长度(L3)等于所述扩大部分(22)的横向尺寸(L2)，相差正负50％。11.根据权利要求10所述的接触探针(20)，其特征在于，所述凹槽(22C)的所述长度(L3)具有介于1μm到20μm之间的值。12.根据权利要求9至11中任一项所述的接触探针(20)，其特征在于，所述凹槽(22C)沿所述端部(20B)的整个纵向尺寸延伸。13.根据前述权利要求中任一项所述的接触探针(20)，其特征在于，所述接触探针(20)包括与所述接触探针(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：达尼埃莱·佩雷戈，
申请(专利权)人：泰克诺探头公司，
类型：发明
国别省市：意大利,IT