【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术在其最一般的方面涉及一种用于电子装置的探针头的接触探针，并且参考该应用领域进行以下描述，其唯一目的是简化其说明。
技术介绍
1、如广泛已知的，探针头本质上是一种适于将微结构(特别是集成在晶片上的电子器件)的多个接触焊盘与执行功能测试(特别是电气测试)或一般测试的测试设备的相应通道电连接的装置。
2、对集成电子装置进行的测试特别地旨在尽早在制造阶段检测并隔离有缺陷的装置。通常，探针头用于对集成在晶片上的电子装置进行电子测试，然后将它们切割并组装到芯片封装内。
3、探针头通常包括大量的接触元件或探针，这些接触元件或探针由具有良好电气和机械性能的特殊合金制成并且设置有至少一个与被测装置的接触焊盘之一的接触部分。
4、更具体地，垂直探针头包括多个接触探针，这些接触探针容纳在至少一对板形导引件中形成的导引孔中，彼此平行并且放置在一定距离处，以便留出用于使接触探针移动并最终变形的自由区域或气隙。所述一对导引件特别包括：上导引件，该上导引件定位成更靠近连接到探针头的测试设备；和下导引件，该下导引件定位成更靠近包括被测装置的晶片，这两个导引件都设置有相应的导引孔，接触探针在所述导引孔内轴向滑动。
5、在探针头的接触探针与被测装置的接触焊盘之间的良好连接由探针头在装置上的压力来确保，可在上下导引件的导引孔内移动的接触探针在所述压接期间在两个导引件之间的气隙内进行弯曲并且在相应的导引孔内进行滑动。
6、此外，接触探针在气隙中的弯曲可以由探针及其导引件的适当构造来辅助，如图1所示，
7、在这种情况下，探针头10包括：至少一对上导引件或模具，特别是第一上导引件16和第二上导引件17，它们呈板状且彼此平行；和下导引件或模具18，这些导引件分别设置有第一上导引孔16a、第二上导引孔17a和下导引孔18a，接触探针11在这些导引孔中滑动。在图中未示出的其他已知实施例中，下导引件也可以分为下导引件和中间导引件，两者都设置有用于接触探针11的滑动的合适的导引孔。
8、第一上导引件16和第二上导引件17相对于下导引件18适当移位，术语“移位”是指相应的第一上导引孔16a、第二上导引孔17a和下导引孔18a的中心相对于彼此不对准，而不是沿着相同的纵向方向布置，这在图中的局部参考中用z表示，所述纵向方向z垂直于与导引件的横向展开平面相对应的参考平面π。此外，第一上导引件16和第二上导引件17相对于彼此移位。因此，容纳在所述第一上导引件16、第二上导引件17和下导引件18的导引孔中的接触探针11相对于其与图中局部参考的纵向方向z相对应的纵向展开轴线hh变形。
9、每个接触探头11包括探针主体11c，该探针主体11c基本上沿着纵向展开轴线hh延伸，多个接触探针11通常放置在探针头10内，所述纵向展开轴线hh与基准平面π正交放置。
10、每个接触探针11具有：至少一个第一接触端，该第一接触端表示为接触尖端11a并且适于抵接到在参考平面π上展开的半导体晶片13中制造的被测装置12的接触焊盘12a；和第二接触端，该第二接触端表示为接触头1ib并且适于抵接到与测试设备、例如接口pcb板或所谓的空间变压器连接的板14的接触焊盘14a上，该测试设备是能够实现与在其相对表面上形成的相应的接触焊盘的分布有关的空间变换的pcb板。在此处和下文中，术语“端”或“尖端”表示不一定是尖头的终端部分。特别地，当探针头10进行集成装置的测试时，其接触探针11的接触尖端11a压接到被测装置12的接触焊盘12a上，探针弯曲并变形，并且其接触头11b也与板14的接触焊盘14a压接，接触探针11因此进行在被测装置12和测试设备(未示出)之间的机械和电气接触，其中探针头10形成测试设备的终端元件。
11、适当地，当第一上导引件16是在图中的局部参考的z方向上更靠近板14的导引件时，第二上导引件17和下导引件18由气隙19隔开，该气隙19允许使接触探针11在探针头10的操作期间变形。
12、接触探针11的变形确保了相应接触尖端11a以相对于纵向方向z倾斜的方式抵接到被测装置12的接触焊盘12a上，以便实现所述接触尖端11a在接触焊盘12a上的滑动以及因此实现对其表面的清洁和擦洗，以便确保在接触探针11和被测装置12之间的正确接触，该正确接触不仅是机械的，而且是电气的。
13、同样重要的是确保探针正确地保持在探针头内，特别是当探针头没有靠在集成电路的晶片上时。通常为此目的设置机构，以防止接触探针11在纵向方向z的两个方向、即向上和向下(考虑到附图中的局部参考系)从探针头10意外滑出。
14、为此，图1示例中的每个接触探针11的接触头11b设置有扩大部分11d，即其横向直径大于探针主体11c的其余部分和第一上导引件16的第一上导引孔16a的横向直径，术语“横向直径”在此处和下文中是指在参考平面π处截取的截面(即使不是圆形)的最大尺寸值。所述扩大部分11d允许确保接触头11b抵接到第一上导引件16上，防止接触探针11向下滑动，仍然考虑图中的局部参考，即在晶片13的方向上，特别是没有在探针头10的正常操作期间探针搁置其上的被测装置12的情况下。
15、此外，每个接触探针11可以设置有合适的突出元件，如图1所示，通常表示为止动件15，并且设置成从探针主体11c的壁开始突出。特别地，由于导引件的移位，接触探针11一旦组装，就具有与第一上导引件16的对应的第一上导引孔16a的壁接触的第一侧壁isl和与第二上导引件17的第二上导引孔17a的壁接触的相对的第二侧壁ls2。因此，止动件15设置成从接触探针11的第二侧壁ls2开始突出，以便当接触探针11向上移动时，考虑到附图的局部参考，即在测试设备的方向上，例如在探针头10的清洁操作期间，与第二上导引件17的下表面f1干涉，所述清洁操作通常通过强大的气流喷射进行，并且可能意味着接触探针11的大的竖直位移，止动件15因此适于防止相应的接触探针11在探针头10外部的移动和滑动。
16、在这种情况下，上导引孔16a和17a确定尺寸成确保在探针头10的组装期间止动件15也能通过，如下文所述，在上导引件16和17之间的移位无论如何都确保接触探针11的定位，其中第二侧壁ls2搁置在止动件15上方的第二上导引孔17a上，并因此确保阻止止动件15与其上方的第二上导引件17接近并确保将接触探针11正确保持在探针头10内。
17、这种通过扩大接触探针11的头部11b和在止动件15和根据需要移位以使探针弯曲和变形的上导引件中的一个之间的干涉来保持接触探针11的有效方法要求接触探针11从上面开始、即从与测试设备连接的板14的一侧开始组装在探头10内，因此，从上面的所述组装方向表示为测试仪侧(图1中的箭头ts)。
18、目前，采用垂直技术将接触探针组装在探针头中主要以手动方式进行；特别地，操作者将接触探针定位成使第一导引件(即更靠近与测试设备连接的板的上导引件)的导引孔定心，使它们由于重力而向下，本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种接触探针(20)，其具有：第一端部(20A)，所述第一端部(20A)以接触尖端(21A)为末端，所述接触尖端(21A)构造成抵接到被测装置的接触焊盘上；第二端部(20B)，所述第二端部(20B)以接触头(21B)为末端，所述接触头(21B)构造成抵接到测试设备的板的接触焊盘上；以及探针主体(20C)，所述探针主体(20C)沿着纵向展开轴线(HH)在所述第一端部(20A)和所述第二端部(20B)之间延伸，所述第一端部(20A)包括第一支撑部分(22A)，所述第一支撑部分(22A)插设在所述探针主体(20C)和所述接触尖端(21A)之间，其特征在于，所述第一支撑部分(22A)包括至少一个接触引脚(24)和一个探针长度(23)，所述接触引脚(24)和所述探针长度(23)沿着所述纵向展开轴线(HH)彼此平行地延伸并且由气隙(ZA)隔开。
2.根据权利要求1所述的接触探针(20)，其特征在于，所述第一支撑部分(22A)还包括至少一个材料桥(25)，所述材料桥(25)构造成沿着与所述纵向展开轴线(HH)正交的横向方向将所述接触引脚(24)和所述探针长度(23)连接，所述探
3.根据权利要求1所述的接触探针(20)，其特征在于，所述接触尖端(21A)与所述接触引脚(24)沿着另一纵向轴线(H’H’)对齐，所述另一纵向轴线(H’H’)与所述接触探针(20)的所述纵向展开轴线(HH)不同且平行。
4.根据权利要求1所述的接触探针(20)，其特征在于，所述接触引脚(24)包括至少一个保持部分(24B)，该保持部分对应于其自由端，与接合到所述材料桥(25)的一端相对，所述保持部分(24B)具有横向直径(Dc)，所述横向直径(Dc)大于所述接触引脚(24)在所述保持部分(24B)之外的横向直径(D2)，横向直径指与所述纵向展开轴线(HH)正交的横向截面的最大尺寸，即使在非圆形截面的情况下也是如此。
5.根据权利要求4所述的接触探针(20)，其特征在于，所述保持部分(24B)还包括至少一个扩大部分(27c)，所述扩大部分(27c)具有横向直径(Dc)，所述横向直径(Dc)大于所述接触引脚(24)的所述横向直径(D2)，所述扩大部分(27c)适于限定所述保持部分(24B)的至少一个底切壁(Sq)。
6.根据权利要求4所述的接触探针(20)，其特征在于，所述保持部分(24B)还包括至少一个纵向开口(27)，所述纵向开口(27)沿着所述另一纵向轴线(H’H’)延伸并且构造成限定所述保持部分(24B)的至少一对部分(27a，27b)在受到横向压缩力，即与所述另一纵向轴线(H’H’)正交时，能够相互靠近和远离。
7.根据权利要求1所述的接触探针(20)，其特征在于，所述第二端部(20B)包括至少一个保持机构(28)，所述保持机构(28)构造成当其容纳所述第二端部(20B)时与导引孔的壁产生摩擦，所述保持机构(28)优选包括波纹表面。
8.根据权利要求1所述的接触探针(20)，其特征在于，所述第二端部(20B)还包括至少一个开口(29)，所述至少一个开口(29)沿着所述纵向展开轴线(HH)纵向布置在所述第二端部(20B)的第二支撑部分(22B)中，与所述接触头(21B)邻接，所述至少一个纵向布置的开口(29)构造成限定所述第二支撑部分(22B)的两个相对部分(29a，29b)在受到横向压缩力，即与所述纵向展开轴线(HH)正交时，能够相互靠近和远离。
9.根据权利要求1所述的接触探针(20)，其特征在于所述接触探针还包括至少一个纵向槽(26)，所述纵向槽(26)沿着所述探针主体(20C)延伸并且构造成在其中限定至少一对臂(26a，26b)，所述至少一对臂(26a，26b)基本上彼此平行并且由所述纵向槽(26)隔开。
10.根据权利要求1所述的接触探针(20)，其特征在于，所述探针主体(20C)具有在静止状态下带有曲线构造的预变形形状，包括至少一个弯曲部，优选为两个弯曲部。
11.根据权利要求1所述的接触探针(20)，其特征在于所述接触探针还包括至少一个截面缩小部分，所述截面缩小部分形成弯曲颈(30A，30B)，所述弯曲颈(30A，30B)位于所述探针主体(20C)中与所述第一端部(20A)和第二端部(20B)之一对应。
12.一种用于测试被测装置的功能的探针头(40)，其包括设置有上导引孔(41A)的单个上导引件(41)和设置有下导引孔(42A，42B)的单个下导引件(42)，用于容纳多个接触探针(20)，其特征在于，所述接...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种接触探针(20)，其具有：第一端部(20a)，所述第一端部(20a)以接触尖端(21a)为末端，所述接触尖端(21a)构造成抵接到被测装置的接触焊盘上；第二端部(20b)，所述第二端部(20b)以接触头(21b)为末端，所述接触头(21b)构造成抵接到测试设备的板的接触焊盘上；以及探针主体(20c)，所述探针主体(20c)沿着纵向展开轴线(hh)在所述第一端部(20a)和所述第二端部(20b)之间延伸，所述第一端部(20a)包括第一支撑部分(22a)，所述第一支撑部分(22a)插设在所述探针主体(20c)和所述接触尖端(21a)之间，其特征在于，所述第一支撑部分(22a)包括至少一个接触引脚(24)和一个探针长度(23)，所述接触引脚(24)和所述探针长度(23)沿着所述纵向展开轴线(hh)彼此平行地延伸并且由气隙(za)隔开。
2.根据权利要求1所述的接触探针(20)，其特征在于，所述第一支撑部分(22a)还包括至少一个材料桥(25)，所述材料桥(25)构造成沿着与所述纵向展开轴线(hh)正交的横向方向将所述接触引脚(24)和所述探针长度(23)连接，所述探针长度(23)、所述接触引脚(24)和所述材料桥(25)将所述第一支撑部分(22a)整体构造成u形。
3.根据权利要求1所述的接触探针(20)，其特征在于，所述接触尖端(21a)与所述接触引脚(24)沿着另一纵向轴线(h’h’)对齐，所述另一纵向轴线(h’h’)与所述接触探针(20)的所述纵向展开轴线(hh)不同且平行。
4.根据权利要求1所述的接触探针(20)，其特征在于，所述接触引脚(24)包括至少一个保持部分(24b)，该保持部分对应于其自由端，与接合到所述材料桥(25)的一端相对，所述保持部分(24b)具有横向直径(dc)，所述横向直径(dc)大于所述接触引脚(24)在所述保持部分(24b)之外的横向直径(d2)，横向直径指与所述纵向展开轴线(hh)正交的横向截面的最大尺寸，即使在非圆形截面的情况下也是如此。
5.根据权利要求4所述的接触探针(20)，其特征在于，所述保持部分(24b)还包括至少一个扩大部分(27c)，所述扩大部分(27c)具有横向直径(dc)，所述横向直径(dc)大于所述接触引脚(24)的所述横向直径(d2)，所述扩大部分(27c)适于限定所述保持部分(24b)的至少一个底切壁(sq)。
6.根据权利要求4所述的接触探针(20)，其特征在于，所述保持部分(24b)还包括至少一个纵向开口(27)，所述纵向开口(27)沿着所述另一纵向轴线(h’h’)延伸并且构造成限定所述保持部分(24b)的至少一对部分(27a，27b)在受到横向压缩力，即与所述另一纵向轴线(h’h’)正交时，能够相互靠近和远离。
7.根据权利要求1所述的接触探针(20)，其特征在于，所述第二端部(20b)包括至少一个保持机构(28)，所述保持机构(28)构造成当其容纳所述第二端部(20b)时与导引孔的壁产生摩擦，所述保持机构(28)优选包括波纹表面。
8.根据权利要求1所述的接触探针(20)，其特征在于，所述第二端部(20b)还包括至少一个开口(29)，所述至少一个开口(29)沿着所述纵向展开轴线(hh)纵向布置在所述第二端部(20b)的第二支撑部分(22b)中，与所述接触头(21b)邻接，所述至少一个纵向布置的开口(29)构造成限定所述第二支撑部分(22b)的两个相对部分(29a，29b)在受到横向压缩力，即与所述...
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