固体摄像装置、形状测定装置和形状测定方法制造方法及图纸

固体摄像装置(5A)具备第1受光部(10)和第2受光部(20A、20B)。第1受光部(10)沿着x方向排列有多个像素对(11)。第2受光部(20A、20B)分别沿着y方向排列有各自产生与受光量对应的量的电荷的多个像素(21)。各像素对(11)包括第1像素(12)和第2像素(13)。在沿x方向延伸的线状的光入射于第1受光部(10)时，随着该光入射位置从y方向的一侧向另一侧，第1像素(12)产生的电荷的量逐渐减少，第2像素(13)产生的电荷的量逐渐增加。由此，实现在用于利用光切断法的形状测定的情况下能够进行光学设定状态的评价和调整的固体摄像装置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及一种固体摄像装置、形状测定装置和形状测定方法。

技术介绍

1、在专利文献1、2中，公开了具备沿着第1方向交替地排列有第1像素和第2像素的受光部的固体摄像装置的专利技术。在该固体摄像装置的一个结构例中，从与上述第1方向交叉的第2方向的一侧向另一侧，第1像素的第1方向的宽度逐渐变窄，第2像素的第1方向的宽度逐渐变宽。另外，在这些文献中，记载了能够使用该固体摄像装置通过光切断法测定对象物的形状的内容。

2、在利用光切断法的形状测定中，也能够使用具备二维排列有多个像素的受光部的固体摄像装置(区域传感器)。在该情况下，由于像素数多，因此在各像素中读出与受光量对应的信号需要长时间。与此相对，在利用光切断法的形状测定中，如果使用专利文献1、2所记载的固体摄像装置，则与区域传感器相比像素数少，因此能够缩短从各像素读出信号的时间，能够实现形状测定的高速化和高分辨率化。

3、专利文献1、2所记载的固体摄像装置在受光部中多个像素(第1像素、第2像素)一维排列这一点上与线性传感器相同，因此与使用区域传感器的情况相比，能够缩短从各像素读出信号的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种固体摄像装置，其中，

2.如权利要求1所述的固体摄像装置，其中，

3.如权利要求1所述的固体摄像装置，其中，

4.如权利要求1～3中任一项所述的固体摄像装置，其中，

5.如权利要求1～4中任一项所述的固体摄像装置，其中，

6.如权利要求1～4中任一项所述的固体摄像装置，其中，

7.如权利要求1～4中任一项所述的固体摄像装置，其中，

8.如权利要求1～7中任一项所述的固体摄像装置，其中，

9.如权利要求8所述的固体摄像装置，其中，

10.如权利要求9所述的固体摄像装置，其中，...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种固体摄像装置，其中，

2.如权利要求1所述的固体摄像装置，其中，

3.如权利要求1所述的固体摄像装置，其中，

4.如权利要求1～3中任一项所述的固体摄像装置，其中，

5.如权利要求1～4中任一项所述的固体摄像装置，其中，

6.如权利要求1～4中任一项所述的固体摄像装置，其中，

7.如权利要求1～4中任一项所述的固体摄像装置，其中，

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【专利技术属性】
技术研发人员：宅见宗则，内田圭祐，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：