【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种实验设备，且特别涉及一种用于探针台的探针卡。
技术介绍
探针台是用在半导体领域对晶圆上的器件进行特性或故障分析而使用的精密机台。在集成电路的研发、生产制造、实效分析过程中，经常要量测内部的电参数，由于制程特征尺寸越来越低，没有办法用简单的万用表、示波器的表笔来探测信号。手动分析探针台能很好的帮助工程人员实现微小位置的电学参数测试。探针台系统通常由承载台、探针座、显微镜、测试机，以及其他辅助增强系统组成，一般配备数到通过探针实现芯片上每个PAD与测试机的稳定连接，由测试机判定晶圆上芯片的特性。 探针台可分为手动、半自动/全自动探针台。手动探针台主要用来进行失效分析，器件特性分析和工艺验证分析等解析和研发用途，适用于分析6寸/8寸/12寸晶圆、芯片，一般配备2 4颗探针座。随着机台测试需求的越发频繁，探针卡的使用情况远远超于以往的利用率。由于探针较薄，因此移动比较困难，需要花费较多的时间。这给使用探针带来了诸多不便，也降低了工作的效率。
技术实现思路
为了克服已有技术中存在的探针卡较难移动的问题，本技术提供一种便于移动的探针卡。为了实现上述目的，本技术提出一种...
【技术保护点】
一种探针卡，其特征在于：在所述探针卡的至少一端，设置一开关把手。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：沈茜，莫保章，徐燕菁，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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