一种应用于半导体工艺的运输推车制造技术

本实用新型专利技术提供一种应用于半导体工艺的运输推车，包括车身由固定支架组成，固定支架的边缘设置滑槽，固定支架的底部设有滚轮；至少一支撑板，水平设置于固定支架上，每层支撑板的边缘设置与滑槽相匹配的滑块，每层支撑板上还设置一收纳室；驱动装置包括轴承及电机，轴承设置于每层支撑板的下方，电机驱动轴承带动滑块于滑槽内滑动，以带动每层支撑板运动；触控面板电连接驱动装置；防震装置，设置于固定支架与滚轮之间。有益效果在于：采用电机驱动和触控面板操作多层支撑板，并且每层支撑板上设置收纳室，便于分类收集小的半导体器件，车身底部设置防震装置与脚撑，起到防震效果和防止滑动的效果，使得运输推车的制动性和稳定性更好。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于半导体工艺的运输推车
本技术涉及半导体工艺
，尤其涉及一种应用于半导体工艺的运输推车。
技术介绍
在半导体工艺的制造过程中，半导体设备的零配件的尺寸越来越大，对于半导体装置和半导体器件的搬运过程中，全自动化操作是很难实现的，因此在搬运环节上存在隐患。现有技术中通常是采用多层隔板的手推车来搬运，在手推车的设计结构上存在明显的缺陷，(1)每层隔板是固定不变的，工作人员在拿取半导体装置时不方便，甚至会造成半导体装置的损坏；(2)每层隔板的周围未设计保护结构，在运输过程中可能会造成半导体装置的滑落；(3)未设计防震装置，在制动或者推动过程中，会造成损坏；(4)未涉及小型的半导体器件的收纳装置，对于精密性高的半导体器件来说，会造成一定的污染，进一步地带来经济损失。
技术实现思路
针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种应用于半导体工艺的运输推车。具体技术方案如下：一种应用于半导体工艺的运输推车，其中包括：一车身，所述车身由固定支架组成，所述固定支架的边缘设置滑槽，所述固定支架的底部设有滚轮；至少一支撑板，水平设置于所述固定支架上，每层所述支撑板的边缘设置与所述滑槽相匹配的滑块，每层本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种应用于半导体工艺的运输推车，其特征在于，包括：一车身，所述车身由固定支架组成，所述固定支架的边缘设置滑槽，所述固定支架的底部设有滚轮；至少一支撑板，水平设置于所述固定支架上，每层所述支撑板的边缘设置与所述滑槽相匹配的滑块，每层所述支撑板上还设置一收纳室；一显示控制装置，包括驱动装置、触控面板；所述驱动装置包括轴承及电机，所述轴承设置于每层所述支撑板的下方，所述电机驱动所述轴承，所述轴承带动所述滑块于所述滑槽内滑动，以带动每层所述支撑板运动；所述触控面板电连接所述驱动装置，以控制每层所述支撑板的水平移动或停止；一防震装置，设置于所述固定支架与所述滚轮之间。

【技术特征摘要】
1.一种应用于半导体工艺的运输推车，其特征在于，包括：一车身，所述车身由固定支架组成，所述固定支架的边缘设置滑槽，所述固定支架的底部设有滚轮；至少一支撑板，水平设置于所述固定支架上，每层所述支撑板的边缘设置与所述滑槽相匹配的滑块，每层所述支撑板上还设置一收纳室；一显示控制装置，包括驱动装置、触控面板；所述驱动装置包括轴承及电机，所述轴承设置于每层所述支撑板的下方，所述电机驱动所述轴承，所述轴承带动所述滑块于所述滑槽内滑动，以带动每层所述支撑板运动；所述触控面板电连接所述驱动装置，以控制每层所述支撑板的水平移动或停止；一防震装置，设置于所述固定支架与所述滚轮之间。2.根据权利要求1所述的运输推车，其特征在于，还包括一推车手柄，于所述支...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙顺清，
申请(专利权)人：晶晨半导体深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44