一种气体喷嘴的孔隙检测工具制造技术

本实用新型专利技术属于半导体工艺辅助检测工具技术领域，具体涉及一种气体喷嘴的孔隙检测工具，其至少包括空心棱柱状或空心棱台状的观察台和设置在观察台上方的强光灯，观察台的上端面设置有第一投影口，观察台的侧壁设置有至少一个观察口，第一投影口和观察口均连通观察台内的空腔，强光灯垂直于观察台的上端面。通过本实用新型专利技术所提供的气体喷嘴的孔隙检测工具可以在对CVD Producer机台进行PM的过程对气体喷嘴的孔隙状态进行确认时减少误判和漏检，提高判断准确率，从而提高PM成功率。

【技术实现步骤摘要】
一种气体喷嘴的孔隙检测工具
本技术属于半导体工艺辅助检测工具
，具体涉及一种气体喷嘴的孔隙检测工具。
技术介绍
CVDProducer机台每次PM的过程中需要对气体喷嘴(Showerhead)的孔隙状态进行确认。而在目前的维护技术中只能通过肉眼对气体喷嘴的孔隙状态进行确认。由于气体喷嘴的孔隙很小，且没有辅助检测工具，因此，在对孔隙状态进行确认的过程中存在较大的可能进行误判，导致PM的失效，从而导致如下等的问题：1、孔隙存在形变或被Film堵塞未被发现，会导致PMfail；2、因工程师无法准确判定Showerhead情况，为防止PMfail而提前更换，会增加成本。
技术实现思路
为解决现有技术的不足，本技术提供了一种气体喷嘴的孔隙检测工具。通过本技术所提供的气体喷嘴的孔隙检测工具可以在对CVDProducer机台进行PM的过程对气体喷嘴的孔隙状态进行确认时减少误判和漏检，提高判断准确率，从而提高PM成功率。本技术所提供的技术方案如下：气体喷嘴的孔隙检测工具，至少包括空心棱柱状或空心棱台状的观察台和设置在所述观察台上方的强光灯，所述观察台的上端面设置有第一投影口，所述观察台的侧壁设置有至少一个观察口，所述第一投影口和所述观察口均连通所述观察台内的空腔，所述强光灯垂直于所述观察台的上端面。进一步的，所述强光灯设置有灯罩，所述灯罩包括与所述强光灯连接的半圆罩和与所述半圆罩连通的筒罩。将气体喷嘴放置在观察口上，强光灯发出的光经灯罩变成平行光，光线透过气体喷嘴的孔隙在观察台内形成光斑。观察台的侧边设置有便于观察者观察的观察口，工程师就可以通过观察口观察光斑以直观的判定气体喷嘴的孔隙情况。另外，观察台可单独作为PM时储物盒使用。进一步的，在所述观察台的上端面上设置有旋转盘，所述旋转盘与所述观察台旋转连接，所述旋转盘设置有与所述第一投影口对应的第二投影口。进一步的，所述旋转盘包括同轴连接的上环体和下环体，所述上环体与所述下环体的内径相等，所述上环体的外径大于所述下环体的外径，所述观察台的上端面设置有与所述下环体对应的限位环，所述下环体设置在所述限位环内，所述下环体与所述限位环转动连接。进一步的，所述上环体的外周设置有至少一个便于拨动所述旋转盘旋转的凸起。在上述技术方案中，旋转盘上放置气体喷嘴，可以实现在不转动气体喷嘴的孔隙检测工具的情况下转动气体喷嘴，从而改变观察角度，以进行全方位的观测。进一步的，所述第一投影口和所述第二投影口均为圆形，所述第一投影口和所述第二投影口等直径，所述第一投影口直径和所述第二投影口的直径均小于所述筒罩的内直径。进一步的，所述观察台为正方体形或长方体形的黑色塑料材质的观察台。在上述技术方案中，黑色塑料材质的观察台可以隔绝环境光的影响。进一步的，所述强光灯包括依次连接的后盖、电池仓和灯帽，所述灯帽内设置有强光灯泡，所述电池仓设置有开关。在上述技术方案中，强光灯各部分之间以螺纹连接，可以方便拆装、更换和维护。进一步的，所述观察台设置在载台上，所述载台设置有固定支架，所述强光灯可拆卸的固定在所述固定支架上。进一步的，所述灯罩内设置有反光层。总体上，本技术所提供的气体喷嘴的孔隙检测工具具有以下有益效果：1、借由气体喷嘴的孔隙检测工具通过观察光斑即可直观的判定气体喷嘴的孔隙情况，从而防止因无法判定而提前更换部件，间接延长了部件寿命，实现成本的降低。2、可作为专用工具辅助检测，减少检测过程中的判断时间，提高作业的效率，等。附图说明图1是本技术所提供的气体喷嘴的孔隙检测工具的结构示意图。图2是本技术所提供的气体喷嘴的孔隙检测工具的观察台的俯视结构示意图。附图1、2中，各标号所代表的结构列表如下：1、观察台，101、限位环，2、强光灯，201、后盖，202、电池仓，203、灯帽，204、强光灯泡，205、开关，3、第一投影口，4、观察口，5、灯罩，6、旋转盘，601、第二投影口，602、上环体，603、下环体，604、凸起，7、载台，8、固定支架，9、待观测气体喷嘴。具体实施方式以下对本技术的原理和特征进行描述，所举实施例只用于解释本技术，并非用于限定本技术的范围。在一个具体实施方式中，如图1、2所示，一种气体喷嘴的孔隙检测工具，包括正方体形的黑色塑料材质的观察台1和设置在观察台1上方的强光灯2。强光灯2包括依次连接的后盖201、电池仓202和灯帽203，灯帽203内设置有强光灯泡204，电池仓202设置有开关205。强光灯2则设置有灯罩5，灯罩5包括与强光灯2连接的半圆罩501和与半圆罩501连通的筒罩502。在灯罩5内设置有反光层。如图1、2所示，在观察台1的上端面设置有第一投影口3，在观察台1的侧壁设置有一个观察口4，在观察台1的上端面上设置有旋转盘6。旋转盘6包括同径的上环体602和下环体603，上环体602与下环体603的内径相等，上环体602的外径大于下环体603的外径。观察台1的上端面设置有与下环体603对应的限位环101，下环体603设置在限位环101内，下环体603与限位环101转动连接。如图2所示，上环体602的外周设置沿着周向设置有四个便于拨动旋转盘6旋转的凸起604。旋转盘6的环内为与第一投影口3对应的第二投影口601。第一投影口3和第二投影口601为等直径的圆形，并且，直径均小于筒罩502的内直径和将待观察气体喷嘴9的直径。如图1所示，观察台1可以设置在载台7上。载台7设置有固定支架8，强光灯2可拆卸的固定在固定支架8上，并且垂直于观察台1的上端面设置。本技术的工作原理如下：将待观察气体喷嘴9放置于旋转盘6的第二投影口601上，打开强光灯2，光源经过灯罩5调整为平行光源射向待观察气体喷嘴9，光线穿过第一投影口3和第二投影口601，从而在观察台1内形成与待观察气体喷嘴的空隙对应的光斑。工程师通过观察口4即可以对观察台1内形成的光斑进行直观的观察。在观察的过程中，可以通过拨动凸起604对旋转盘进行旋转，从而对待观测气体喷嘴9进行转动，方便从不同的角度进行观察。观察台1为塑料材质，产品轻便。检测工具的整体为人体学设计，便于操作，操作舒。强光灯2的电池部分采用可充电电池，可降低使用成本，减少污染。通过载台可以整体移动气体喷嘴的孔隙检测工具，提高了适用性。以上所述仅为本技术的较佳实施例，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体喷嘴的孔隙检测工具，其特征在于：至少包括空心棱柱状或空心棱台状的观察台(1)和设置在所述观察台(1)上方的强光灯(2)，所述观察台(1)的上端面设置有第一投影口(3)，所述观察台(1)的侧壁设置有至少一个观察口(4)，所述第一投影口(3)和所述观察口(4)均连通所述观察台(1)内的空腔，所述强光灯(2)垂直于所述观察台(1)的上端面。

【技术特征摘要】
1.一种气体喷嘴的孔隙检测工具，其特征在于：至少包括空心棱柱状或空心棱台状的观察台(1)和设置在所述观察台(1)上方的强光灯(2)，所述观察台(1)的上端面设置有第一投影口(3)，所述观察台(1)的侧壁设置有至少一个观察口(4)，所述第一投影口(3)和所述观察口(4)均连通所述观察台(1)内的空腔，所述强光灯(2)垂直于所述观察台(1)的上端面。2.根据权利要求1所述的气体喷嘴的孔隙检测工具，其特征在于：所述强光灯(2)设置有灯罩(5)，所述灯罩(5)包括与所述强光灯(2)连接的半圆罩(501)和与所述半圆罩(501)连通的筒罩(502)，所述半圆罩(501)和所述筒罩(502)均设置在所述强光灯(2)和所述第一投影口(3)之间。3.根据权利要求2所述的气体喷嘴的孔隙检测工具，其特征在于：在所述观察台(1)的上端面上设置有旋转盘(6)，所述旋转盘(6)与所述观察台(1)旋转连接，所述旋转盘(6)设置有与所述第一投影口(3)对应的第二投影口(601)。4.根据权利要求3所述的气体喷嘴的孔隙检测工具，其特征在于：所述旋转盘(6)包括同轴连接的上环体(602)和下环体(603)，所述上环体(602)与所述下环体(603)的内径相等，所述上环体(602)的外径大于所述下环体(603)的外径，所述观察台(1)的上端面设置有与所述下环体(603)对应的限位环(101)...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐丰，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42