下载一种应用于半导体工艺的运输推车的技术资料

文档序号:19780014

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本实用新型提供一种应用于半导体工艺的运输推车,包括车身由固定支架组成,固定支架的边缘设置滑槽,固定支架的底部设有滚轮;至少一支撑板,水平设置于固定支架上,每层支撑板的边缘设置与滑槽相匹配的滑块,每层支撑板上还设置一收纳室;驱动装置包括轴承及...
该专利属于晶晨半导体(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过晶晨半导体(深圳)有限公司授权不得商用。

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