真空蒸镀装置及使用了该真空蒸镀装置的设备制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种真空蒸镀装置，所述真空蒸镀装置包括：真空腔室，所述真空腔室定义对被蒸镀体进行蒸镀工序的蒸镀空间，并能够维持成真空状态；蒸发源单元，所述蒸发源单元能够移动地设置在所述真空腔室内，包含收容有向所述被蒸镀体蒸镀的蒸镀物质的蒸发源；及旋转移动部，所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述蒸发源单元之间，一端部能够转动地连结于所述蒸发源单元，另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，所述旋转移动部的能够转动地与构成所述真空腔室的面连结的所述另一端部与构成所述真空腔室的面连结成能够在朝向所述蒸发源单元的方向即第一方向上相对移动。

【技术实现步骤摘要】
真空蒸镀装置及使用了该真空蒸镀装置的设备制造方法
本专利技术涉及真空蒸镀装置及使用该真空蒸镀装置来制造设备的方法，具体而言，涉及用于使旋转移动部与构成真空腔室的面连接的连接结构，该旋转移动部收容有从真空腔室的外部向真空腔室内的蒸发源单元连结的电气性的配线或配管等。
技术介绍
最近，作为平板显示器，有机电场发光显示器(OLED)显露头角。有机电场发光显示器是自发光显示器，其响应速度、视场角、薄型化等特性比液晶面板显示器优异，正在以监视器、电视机、智能手机为代表的各种便携终端等中快速地取代既存的液晶面板显示器。而且，在机动车用的显示器等中，其应用领域也在不断扩展。有机电场发光显示器具有在两个面对的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有产生发光的有机物层的基本结构，有机电场发光显示器的有机物层通过在真空状态的真空腔室内使收容于蒸发源的蒸镀物质蒸发而向真空腔室内的被蒸镀体蒸镀来形成。在有机物质的蒸镀所使用的这样的真空蒸镀装置中，必须从真空腔室的外部连结用于向真空腔室内的包含蒸发源的蒸发源单元所包含的各种部件及装置供给电源的配线及配管(用于使蒸发源冷却的冷却水配管等)。因此，在现有技术中，在构成本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空蒸镀装置，其中，所述真空蒸镀装置包括：真空腔室，所述真空腔室对被蒸镀体进行蒸镀；蒸发源单元，所述蒸发源单元能够移动地设置在所述真空腔室内，并包含收容有向所述被蒸镀体蒸镀的蒸镀物质的蒸发源；及旋转移动部，所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述蒸发源单元之间，一端部能够转动地连结于所述蒸发源单元，另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，所述旋转移动部的能够转动地与构成所述真空腔室的面连结的所述另一端部与构成所述真空腔室的面连结成能够在朝向所述蒸发源单元一侧的方向即第一方向上相对移动。

【技术特征摘要】
2017.06.02 KR 10-2017-00689871.一种真空蒸镀装置，其中，所述真空蒸镀装置包括：真空腔室，所述真空腔室对被蒸镀体进行蒸镀；蒸发源单元，所述蒸发源单元能够移动地设置在所述真空腔室内，并包含收容有向所述被蒸镀体蒸镀的蒸镀物质的蒸发源；及旋转移动部，所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述蒸发源单元之间，一端部能够转动地连结于所述蒸发源单元，另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，所述旋转移动部的能够转动地与构成所述真空腔室的面连结的所述另一端部与构成所述真空腔室的面连结成能够在朝向所述蒸发源单元一侧的方向即第一方向上相对移动。2.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其中，所述旋转移动部包括：一端能够转动地与构成所述真空腔室的面连结的第一臂；以及各端部能够转动地分别与所述第一臂的另一端及所述蒸发源单元连结的第二臂，能够转动地与构成所述真空腔室的面连结的所述第一臂的所述一端与构成所述真空腔室的面连结成能够在所述第一方向上相对移动。3.根据权利要求2所述的真空蒸镀装置，其中，能够转动地与构成所述真空腔室的面连结的所述第一臂的所述一端包括旋转轴部和能够转动地与所述旋转轴部连接的连接部，所述连接部与构成所述真空腔室的面连结成能够在所述第一方向上相对移动。4.根据权利要求3所述的真空蒸镀装置，其中，所述连接部与构成所述真空腔室的面由O形密封圈密封。5.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其中，所述真空蒸镀装置还包括倾斜限制部，所述倾斜限制部用于限制所述旋转移动部的能够转动地与构成所述真空腔室的面连结的所述另一端部向与所述第一方向交叉的第二方向倾斜。6.根据权利要求2所述的真空蒸镀装置，其中，所述真空蒸镀装置还包括倾斜限制部，所述倾斜限制部用于限制所述第一臂的能够转动地与构成所述真空腔室的面连结的所述一端向与所述第一方向交叉的第二方向倾斜。7.根据权利要求3所述的真空蒸镀装置，其中，所述真空蒸镀装置还包括倾斜限制部，所述倾斜限制部用于限制所述第一臂的能够转动地与构成所述真空腔室的面...

【专利技术属性】
技术研发人员：住川谦，星野孝雄，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP