本发明专利技术提供一种真空蒸镀装置，所述真空蒸镀装置包括：真空腔室，所述真空腔室定义对被蒸镀体进行蒸镀工序的蒸镀空间，并能够维持成真空状态；蒸发源单元，所述蒸发源单元能够移动地设置在所述真空腔室内，包含收容有向所述被蒸镀体蒸镀的蒸镀物质的蒸发源；及旋转移动部，所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述蒸发源单元之间，一端部能够转动地连结于所述蒸发源单元，另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，所述旋转移动部的能够转动地与构成所述真空腔室的面连结的所述另一端部与构成所述真空腔室的面连结成能够在朝向所述蒸发源单元的方向即第一方向上相对移动。
【技术实现步骤摘要】
真空蒸镀装置及使用了该真空蒸镀装置的设备制造方法
本专利技术涉及真空蒸镀装置及使用该真空蒸镀装置来制造设备的方法，具体而言，涉及用于使旋转移动部与构成真空腔室的面连接的连接结构，该旋转移动部收容有从真空腔室的外部向真空腔室内的蒸发源单元连结的电气性的配线或配管等。
技术介绍
最近，作为平板显示器，有机电场发光显示器(OLED)显露头角。有机电场发光显示器是自发光显示器，其响应速度、视场角、薄型化等特性比液晶面板显示器优异，正在以监视器、电视机、智能手机为代表的各种便携终端等中快速地取代既存的液晶面板显示器。而且，在机动车用的显示器等中，其应用领域也在不断扩展。有机电场发光显示器具有在两个面对的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有产生发光的有机物层的基本结构，有机电场发光显示器的有机物层通过在真空状态的真空腔室内使收容于蒸发源的蒸镀物质蒸发而向真空腔室内的被蒸镀体蒸镀来形成。在有机物质的蒸镀所使用的这样的真空蒸镀装置中，必须从真空腔室的外部连结用于向真空腔室内的包含蒸发源的蒸发源单元所包含的各种部件及装置供给电源的配线及配管(用于使蒸发源冷却的冷却水配管等)。因此，在现有技术中，在构成真空腔室的底面与蒸发源单元之间设有大气臂部。大气臂部由2个臂(第一臂及第二臂)构成，第一臂能够转动地连结于构成真空腔室的底面，第二臂能够转动地连结于蒸发源单元。第一臂与第二臂也能够转动地连结。大气臂部的内部为供各种配线及配管通过的中空部，为了将该内部维持成大气压状态，如专利文献1及2公开所示，各连结部、即第一臂与构成真空腔室的底面之间的连结部、第一臂与第二臂的连结部及第二臂与蒸发源单元之间的连结部通过对真空腔室内部的真空进行密封(seal)的磁性流体密封而连接。【专利文献1】日本公开专利2009-130559【专利文献2】日本登记专利1665380
技术实现思路
【要解决的课题】在真空蒸镀装置中，当为了进行有机物的蒸镀而使真空腔室的内部成为减压状态时，存在构成真空腔室的面由于真空腔室内外的压力差而变形的问题。在以往的真空蒸镀装置中，大气臂(与构成真空腔室的面侧连接的第一臂)通过磁性流体密封而固定于构成真空腔室的面，因此在对真空腔室内部进行真空排气时，如果发生变形，则其变形力直接向大气臂与构成真空腔室的面之间即连结部传递。即，真空排气时的真空腔室的变形力主要在与构成真空腔室的面垂直的方向上产生，但是由于大气臂与构成真空腔室的底面相互固定地连结，因此在真空腔室产生较大的垂直方向的变形力的情况下，该变形力直接向大气臂的各连结部传递，存在如下情况：在大气臂的各连结部为了真空密封而设置的磁性流体密封破损或寿命缩短，而且，在大气臂的旋转时产生振动或产生噪音。本专利技术的目的在于提供一种降低由构成真空腔室的面的变形产生的垂直方向的负载对大气臂部造成的影响，防止大气臂部与构成真空腔室的面之间的连结部的磁性流体密封的破损或寿命缩短的问题的真空蒸镀装备。【课题的解决方案】本专利技术的一形态的真空蒸镀装置的特征在于，包括：真空腔室，所述真空腔室对被蒸镀体进行蒸镀；蒸发源单元，所述蒸发源单元能够移动地设置在所述真空腔室内，并包含收容有向所述被蒸镀体蒸镀的蒸镀物质的蒸发源；及旋转移动部，所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述蒸发源单元之间，一端部能够转动地连结于所述蒸发源单元，另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，所述旋转移动部的能够转动地与构成所述真空腔室的面连结的所述另一端部与构成所述真空腔室的面连结成能够在朝向所述蒸发源单元一侧的方向即第一方向上相对移动。本专利技术的另一形态的真空蒸镀装置的特征在于，还包括倾斜限制部，所述倾斜限制部用于限制所述旋转移动部的能够转动地与构成所述真空腔室的面连结的所述另一端部向与所述第一方向交叉的第二方向倾斜。【专利技术效果】根据本专利技术，设置在构成真空腔室的面与蒸发源单元之间的旋转移动部设置成能够在与构成真空腔室的面垂直的方向(第一方向)上相对移动(即，浮动状态)，因此能够吸收在对真空腔室内部进行真空排气时产生的与构成真空腔室的面垂直的方向(第一方向)上的变形，能够减少磁性流体密封的破损或旋转移动部在旋转时的噪音/振动。另外，根据本专利技术，通过设置倾斜限制部，能够抑制旋转移动部与构成真空腔室的面之间的连结部向与构成真空腔室的面平行的方向(第二方向)的倾斜，能够减少真空漏泄的问题及旋转移动部在旋转时的噪音/振动。附图说明图1是概略性地表示本专利技术的一实施例的真空蒸镀装置的结构的附图。图2是概略性地表示用于使图1的真空蒸镀装置的蒸发源单元移动的蒸发源移动机构及旋转移动部的附图。图3是表示图2的旋转移动部与构成真空腔室的底面的连结部分的剖视图。图4是表示本专利技术的另一实施例的旋转移动部与构成真空腔室的底面的连结部分的剖视图。图5是用于说明本专利技术的设备制造方法的流程图。【附图标记说明】1：真空蒸镀装置2：蒸发源单元21：蒸发源3：真空腔室31：入口4：被蒸镀体(A台)5：被蒸镀体(B台)6：蒸发源移动机构7：旋转移动部71：中空部72：第一臂721：旋转轴73：第二臂8：连接部9：磁性流体密封10：O形密封圈11：衬套12：倾斜限制机构121：嵌合部122：腔室侧固定部123：空间13：微粒收集托盘具体实施方式以下，参照附图，详细说明本专利技术的实施例。本专利技术可以进行多种变更，可以具有多种实施例。虽然基于附图而例示说明特定的实施例，但是本专利技术没有限定为该特定的实施例，应理解为包括本专利技术的思想及技术范围中所包含的全部的变更、等同物或替代物。(第一实施例)图1是概略性地表示本专利技术的一实施例的真空蒸镀装置的整体的结构的附图。如图1的(a)所示，本专利技术的一实施例的真空蒸镀装置(1)包括定义在减压气氛下对被蒸镀体(例如，基板)进行蒸镀的空间的真空腔室(3)及使蒸镀物质蒸发并使其放出的蒸发源单元(2)。蒸发源单元(2)包括蒸发源(21)，该蒸发源(21)由收容蒸镀物质的收容部和用于对蒸镀物质进行加热而使其蒸发的加热部等构成。蒸发源(21)是具备朝向被蒸镀体(4、5)的蒸镀面放出蒸镀材料的多个放出孔或喷嘴的结构，但是并不局限于此，只要与被蒸镀体(4、5)、掩模的图案、蒸镀物质的种类等相适应地适当选定即可，例如可以在点源、线源、或小型的蒸镀物质收容部中使用与具有放出蒸镀材料的多个放出孔的扩散室连接的构造的蒸发源等。另外，如图1的(b)所示，本专利技术的真空蒸镀装置(1)还包括将从蒸发源(21)蒸发并朝向被蒸镀体(4)喷射的蒸镀物质隔断或使其通过的开闭挡板(未图示)、对从蒸发源(21)放出的蒸镀材料的蒸发率进行监视的膜厚监视器(218)、接受来自膜厚监视器(218)的输入信号并计测膜厚的膜厚计(217)、对设置于蒸发源(21)的加热装置进行控制的电源(216)、保持被蒸镀体(4、5)并能够使被蒸镀体相对于掩模(214)或蒸发源相对地移动的被蒸镀体保持架(213)、保持掩模(214)并能够使掩模相对于被蒸镀体或蒸发源(21)相对地移动的掩模保持架(215)等其他的结构部件。具有这样的结构的真空蒸镀装置(1)在使真空腔室(3)内成为减压气氛的状态下对蒸发源单元(2)的蒸发源(21)内收容的蒸镀物质进行加热、使其蒸发，使蒸发后的蒸镀物质通过形成有规定图本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种真空蒸镀装置，其中，所述真空蒸镀装置包括：真空腔室，所述真空腔室对被蒸镀体进行蒸镀；蒸发源单元，所述蒸发源单元能够移动地设置在所述真空腔室内，并包含收容有向所述被蒸镀体蒸镀的蒸镀物质的蒸发源；及旋转移动部，所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述蒸发源单元之间，一端部能够转动地连结于所述蒸发源单元，另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，所述旋转移动部的能够转动地与构成所述真空腔室的面连结的所述另一端部与构成所述真空腔室的面连结成能够在朝向所述蒸发源单元一侧的方向即第一方向上相对移动。
【技术特征摘要】
2017.06.02 KR 10-2017-00689871.一种真空蒸镀装置，其中，所述真空蒸镀装置包括：真空腔室，所述真空腔室对被蒸镀体进行蒸镀；蒸发源单元，所述蒸发源单元能够移动地设置在所述真空腔室内，并包含收容有向所述被蒸镀体蒸镀的蒸镀物质的蒸发源；及旋转移动部，所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述蒸发源单元之间，一端部能够转动地连结于所述蒸发源单元，另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，所述旋转移动部的能够转动地与构成所述真空腔室的面连结的所述另一端部与构成所述真空腔室的面连结成能够在朝向所述蒸发源单元一侧的方向即第一方向上相对移动。2.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其中，所述旋转移动部包括：一端能够转动地与构成所述真空腔室的面连结的第一臂；以及各端部能够转动地分别与所述第一臂的另一端及所述蒸发源单元连结的第二臂，能够转动地与构成所述真空腔室的面连结的所述第一臂的所述一端与构成所述真空腔室的面连结成能够在所述第一方向上相对移动。3.根据权利要求2所述的真空蒸镀装置，其中，能够转动地与构成所述真空腔室的面连结的所述第一臂的所述一端包括旋转轴部和能够转动地与所述旋转轴部连接的连接部，所述连接部与构成所述真空腔室的面连结成能够在所述第一方向上相对移动。4.根据权利要求3所述的真空蒸镀装置，其中，所述连接部与构成所述真空腔室的面由O形密封圈密封。5.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其中，所述真空蒸镀装置还包括倾斜限制部，所述倾斜限制部用于限制所述旋转移动部的能够转动地与构成所述真空腔室的面连结的所述另一端部向与所述第一方向交叉的第二方向倾斜。6.根据权利要求2所述的真空蒸镀装置，其中，所述真空蒸镀装置还包括倾斜限制部，所述倾斜限制部用于限制所述第一臂的能够转动地与构成所述真空腔室的面连结的所述一端向与所述第一方向交叉的第二方向倾斜。7.根据权利要求3所述的真空蒸镀装置，其中，所述真空蒸镀装置还包括倾斜限制部，所述倾斜限制部用于限制所述第一臂的能够转动地与构成所述真空腔室的面...
【专利技术属性】
技术研发人员：住川谦，星野孝雄，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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