一种蒸镀装置及其蒸镀腔体制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种蒸镀装置及其蒸镀腔体，所述蒸镀腔体包括真空腔体、设置于真空腔体的内壁的防着板以及设置于所述防着板的内壁上的发光装置，所述发光装置包括高压钠灯和紫外灯。本发明专利技术的高压钠光和紫外光对真空腔体内的水，氧以及有机物进行分解，强光的照射使得真空腔体温度迅速升高，加快了腔体内的水，氧以及有机物分解速率，从而减少了腔体内水、氧以及有机物去除时间。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀装置及其蒸镀腔体
本专利技术涉及显示
的制造设备，更具体的说，涉及一种蒸镀装置及其蒸镀腔体。
技术介绍
现有的OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)真空蒸镀装置，因为蒸镀的材料相对敏感，若蒸镀时其蒸镀腔体内的水氧含量比较高，会对面板的光电指标及器件寿命造成不利的影响。目前降低腔体内水氧含量的方法主要是通过以下方式，即通过电阻丝对腔体进行加热(温度设置为80℃、加热时间为8小时)，但用此方式处理水汽，不仅耗时久，影响OLED产能，而且依靠电阻丝加热的方式无法去除腔体内残留的有机气体。
技术实现思路
本专利技术专利所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种能够快速分解水氧和有机气体的蒸镀腔体。在一个总体方面，提供了一种蒸镀腔体，包括真空腔体、设置于真空腔体的内壁的防着板以及设置于所述防着板的内壁上的发光装置，所述发光装置包括高压钠灯和紫外灯。优选的，所述防着板还包括自内壁朝中间延伸的顶板部分，所述顶板部分设有用于光线和蒸镀气体通过的第一开口。优选的，还包括遮光板，所述遮光板可转动地固定在所述防着板上，用于选择性的遮挡所述高压钠灯本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀腔体，其特征在于，包括真空腔体(1)、设置于真空腔体(1)的内壁的防着板(2)以及设置于所述防着板(2)的内壁上的发光装置(3)，所述发光装置(3)包括高压钠灯(31)和紫外灯(32)。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀腔体，其特征在于，包括真空腔体(1)、设置于真空腔体(1)的内壁的防着板(2)以及设置于所述防着板(2)的内壁上的发光装置(3)，所述发光装置(3)包括高压钠灯(31)和紫外灯(32)。2.根据权利要求1所述的蒸镀腔体，其特征在于，所述防着板(2)还包括自内壁朝中间延伸的顶板部分(22)，所述顶板部分(22)设有用于光线和蒸镀气体通过的第一开口(21)。3.根据权利要求2所述的蒸镀腔体，其特征在于，还包括遮光板(5)，所述遮光板(5)可转动地固定在所述防着板(2)上，用于选择性的遮挡所述高压钠灯(31)和所述紫外灯(32)。4.根据权利要求3任一所述的蒸镀腔体，其特征在于，所述高压钠灯(31)和所述紫外灯(32)一侧均设置有所述遮光板(5)，每个所述遮光板(5)分别对应一个所述高压钠灯(31)或所述紫外灯(32)。5.根据权利要求4所述的蒸镀腔体，其特征在于，至少一个所述高压钠灯(31)和至少一个所述紫外灯(32)布置在所述防着板(2)的顶部或底部。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：伍丰伟，张瑞军，雷勇，郑成章，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44