【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】材料沉积布置结构、真空沉积系统及其方法
本公开内容的实施方式涉及用于在基板上沉积一个或多个层，特别是其中包括有机材料的层的沉积设备。具体来说，本公开内容的实施方式涉及用于在真空沉积室中在基板上沉积蒸发材料的材料沉积布置结构、真空沉积系统及其方法，所述材料沉积布置结构、所述真空沉积系统及所述方法特别地用于OLED制造。
技术介绍
有机蒸发器是用于生产有机发光二极管(OLED)的工具。OLED是发光二极管的一种特殊类型，其中发射层包括某些有机化合物的薄膜。有机发光二极管(OLED)用在用于显示信息的电视屏幕、计算机显示器、移动电话、其他手持装置等等的制造中。OLED也能够用于一般的空间照明。由于OLED像素直接发光且不需要背光，因此OLED显示器可达成的颜色范围、亮度及视角大于传统LCD显示器的颜色范围、亮度及视角。因此，OLED显示器的能耗大幅低于传统LCD显示器的能耗。此外，OLED能够被制造至柔性基板上的事实带来了另外的应用。OLED的功能取决于有机材料的涂层厚度。此厚度必须在预定范围内。在OLED的生产中，为了实现高分辨率OLED装置，在蒸发材料的沉积方面存在...
【技术保护点】
1.一种用于在真空沉积室中在基板上沉积材料的材料沉积布置结构(100)，所述材料沉积布置结构(100)包括至少一个材料沉积源(105)，所述材料沉积源(105)具有：‑坩埚(110)，被配置为蒸发所述材料；‑分配组件(120)，被配置为用于将蒸发的所述材料提供至所述基板；以及‑力施加装置(130)，被配置为用于在所述坩埚(110)与所述分配组件(120)之间的连接处(112)施加接触力。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于在真空沉积室中在基板上沉积材料的材料沉积布置结构(100)，所述材料沉积布置结构(100)包括至少一个材料沉积源(105)，所述材料沉积源(105)具有：-坩埚(110)，被配置为蒸发所述材料；-分配组件(120)，被配置为用于将蒸发的所述材料提供至所述基板；以及-力施加装置(130)，被配置为用于在所述坩埚(110)与所述分配组件(120)之间的连接处(112)施加接触力。2.如权利要求1所述的材料沉积布置结构(100)，其中所述至少一个材料沉积源(105)包括坩埚固持布置结构(140)，所述坩埚固持布置结构被配置为可拆卸地连接到所述至少一个材料沉积源的壁(111)。3.如权利要求1或2所述的材料沉积布置结构(100)，其中所述力施加装置(130)连接到所述坩埚固持布置结构(140)。4.如权利要求1至3中任一项所述的材料沉积布置结构(100)，其中所述力施加装置(130)由具有高达至少200℃的温度的耐热性的材料制成。5.如权利要求1至4中任一项所述的材料沉积布置结构(100)，其中所述力施加装置(130)包括用于施加所述接触力的至少一个弹簧(131)。6.如权利要求1至5中任一项所述的材料沉积布置结构(100)，其中所述坩埚(110)与所述分配组件之间的所述连接处由所述分配组件的第一接触表面(112A)和所述坩埚的配合的第二接触表面(112B)提供。7.如权利要求6所述的材料沉积布置结构(100)，其中所述第一接触表面(112A)为凹形接触表面，并且其中所述配合的第二接触表面(112B)为配合的凸形接触表面。8.如权利要求2至7中任一项所述的材料沉积布置结构(100)，其中所述坩埚固持布置结构(140)包括安装组件(141)，所述安装组件(141)被配置为用于将所述坩埚固持布置结构安装至所述至少一个材料沉积源的所述壁。9.如权利要求2至8中任一项所述的材料沉积布置结构(100)，其中所述坩埚固持布置结构(140)包括加热布置结构(160)，所述加热布置结构被配置为向所述坩埚提供热量以用于蒸发所述材料。1...
【专利技术属性】
技术研发人员：乔斯·曼纽尔·迭格斯坎波，哈拉尔德·沃斯特，乌韦·许斯勒，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US
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