力检测装置、机械手和电子部件搬运装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够使装置小型化且使力检测的精度提高的力检测装置、机械手、电子部件搬运装置、电子部件检查装置、部件加工装置以及移动体。本发明专利技术的力检测装置具备第一基板、第二基板、设置于上述第一基板与上述第二基板之间的电路基板、以及搭载于上述电路基板且根据外力输出信号的元件，在上述电路基板的配置有上述元件的部位形成有孔，在上述第一基板设置有第一凸部，其插入上述孔且朝向上述元件突出。另外，从相对于上述第一基板而垂直的方向观察，上述元件配置于上述第一凸部内。

Force detection device, manipulator and electronic parts handling device

The invention provides a force detection device, a manipulator, an electronic component handling device, an electronic component inspection device, a component processing device and a moving body capable of miniaturizing the device and improving the accuracy of force detection. The force detection device of the present invention has a first substrate, a second substrate, a circuit substrate arranged between the first substrate and the second substrate, and a component mounted on the circuit substrate and outputting signals according to an external force. A hole is formed at the position where the component is arranged on the circuit substrate and the first substrate is described above. A first convex part is inserted into the hole and protruded towards the element. In addition, from a direction perpendicular to the first substrate, the elements are arranged in the first convex part.

【技术实现步骤摘要】
力检测装置、机械手和电子部件搬运装置本申请是申请号为201410090038.2，申请日为2014年3月12日，专利技术名称为“力检测装置、机械手和电子部件搬运装置”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及力检测装置、机械手、电子部件搬运装置、电子部件检查装置、部件加工装置以及移动体。
技术介绍
近年来，以提高生产效率为目的，针对工厂等生产施设的工业用机械手的引入正在推进。这样的工业机械手具备能够相对于一个或多个轴向而驱动的臂和安装于臂前端侧的手部、部件检查用器具或者部件搬运用器具等末端执行器，能够执行部件的组装作业、部件加工作业等部件制造作业、部件搬运作业以及部件检查作业等。在这样的工业用机械手中，例如，在臂与末端执行器之间设置有力检测装置。作为用于工业用机械手的力检测装置，使用例如专利文献1所公开的那样的力检测装置。专利文献1所记载的力检测装置具备一对基板、和设置于该一对基板之间且具有结晶圆板的元件。另外，对元件施加增压。若对上述基板施加外力，则一对基板相对移位，通过元件来检测作用于一对基板之间的力。在使用这样的具有结晶圆板的元件的力检测装置中，将因外力而产生的结晶圆板的变本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种力检测装置，其特征在于，具备：第一基板；第二基板；电路基板，其设置于所述第一基板与所述第二基板之间；以及搭载于所述电路基板且根据外力输出信号的元件，在所述电路基板的配置有所述元件的部位形成有孔，在所述第一基板设置有第一凸部，所述第一凸部插入到所述孔且朝向所述元件突出。

【技术特征摘要】
2013.06.13 JP 2013-1244191.一种力检测装置，其特征在于，具备：第一基板；第二基板；电路基板，其设置于所述第一基板与所述第二基板之间；以及搭载于所述电路基板且根据外力输出信号的元件，在所述电路基板的配置有所述元件的部位形成有孔，在所述第一基板设置有第一凸部，所述第一凸部插入到所述孔且朝向所述元件突出。2.根据权利要求1所述的力检测装置，其中，从相对于所述第一基板垂直的方向观察，所述元件配置于所述第一凸部内。3.根据权利要求1或2所述的力检测装置，其中，所述元件被所述第一凸部与所述第二基板夹持。4.根据权利要求3所述的力检测装置，其中，所述元件被所述第一凸部与所述第二基板增压。5.根据权利要求1～4中任一项所述的力检测装置，其中，所述第二基板的与所述第一基板对置的面是平面。6.根据权利要求1或2所述的力检测装置，其中，具有第二凸部，所述第二凸部设置于所述第二基板且朝向所述元件突出，所述元件配置于所述第一凸部与所述第二凸部之间。7.根据权利要求6所述的力检测装置，其中，从相对于所述第一基板垂直的方向观察，所述元件配置于所述第二凸部内。8.根据权利要求6或7所述的力检测装置，其中，所述元件被所述第一凸部与所述第二凸部夹持。9.根据权利要求1～8中任一项所述的力检测装置，其中，具备配置所述元件且具有凹部的第一部件、和对所述凹部进行密封的第二部件。10.根据权利要求9所述的力检测装置，其中，所述第一凸部与所述第一部件抵接。11.根据权利要求9或10所述的力检测装置，其中，在所述第一部件设置有与所述元件以及所述电路基板电连接的端子。12.根据权利要求1～11中任一项所述的力检测装置，其中，具有多个所述元件，所述各元件沿所述第一基板或者所述第二基板的周向以等角度间隔的方式配置。13.根据权利要求1～12中任一项所述的力检测装置，其中，所述第一基板与所述第二基板以使所述第一凸部成为内侧且所述第一基板的面与所述第二基板的面隔开间隔的方式对置。14.根据权利要求1～13中任一项所述的力检测装置，其中，所述孔是贯穿所述电路基板的通孔。15.一种机械手，其特征在于，具备：臂；末端执行器，其设置于所述臂；以及力...

【专利技术属性】
技术研发人员：松沢明，河合宏纪，神谷俊幸，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP