传感器模块制造技术

本发明专利技术涉及传感器模块。传感器模块具有：第一惯性传感器器件组，具备彼此具有相同朝向的检测轴的第一惯性传感器器件、第二惯性传感器器件和第三惯性传感器器件；以及基座，具备配置有所述第一惯性传感器器件的第一载置面、与所述第一载置面平行且配置有所述第二惯性传感器器件的第二载置面、以及与所述第一载置面平行且配置有所述第三惯性传感器器件的第三载置面。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及传感器模块。

技术介绍

1、专利文献1所记载的传感器器件具有电路基板、以及搭载于电路基板的两个x轴角速度传感器器件、两个y轴角速度传感器器件和两个z轴角速度传感器器件。然后，根据各x轴角速度传感器器件的输出信号的平均值求出x轴角速度，根据各y轴角速度传感器器件的输出信号的平均值求出y轴角速度，根据各z轴角速度传感器器件的输出信号的平均值求出z轴角速度，由此降低噪声，提高绕各轴的角速度的检测精度。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2019-163955号公报

5、然而，在专利文献1的传感器器件的结构中，x轴角速度传感器器件搭载于板状的电路基板的侧面，因此难以将多个x轴角速度传感器器件以彼此平行的姿势并列设置在电路基板上。关于y轴角速度传感器器件也是同样的。

技术实现思路

1、本专利技术的传感器模块具有：第一惯性传感器器件组，具备彼此具有相同朝向的检测轴的第一惯性传感器器件、第二惯性传感器器件和第三惯性传感器器件；以及

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【技术保护点】

1.一种传感器模块，其特征在于，具有：

2.根据权利要求1所述的传感器模块，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的传感器模块，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的传感器模块，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的传感器模块，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的传感器模块，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的传感器模块，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种传感器模块，其特征在于，具有：

2.根据权利要求1所述的传感器模块，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的传感器模块，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：西尾真次，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：