一种高效基板检查分析台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高效基板检查分析台，其特征在于：包括工作台，全触摸式操作电脑，掌上电脑，二维码扫描器，显微镜，基板固定治具，所述工作台的正前方中间固定全触摸式操作电脑，所述工作台左前方放置掌上电脑，所述工作台右前方放置二维码扫描器，所述工作台正面放置显微镜，所述显微镜下方放置基板固定治具，所述二维码扫描器，掌上电脑，显微镜与全触摸式操作电脑相连，本实用新型专利技术可以实现基板的可视化的查看，将检查功能、信息化功能集中平台处理，信息自动录入与上传系统，促进了无纸化生产过程，简化方便操作人员的分析流程。

An efficient substrate inspection and analysis platform

The utility model discloses an efficient substrate checking and analyzing table, which is characterized in that the table comprises a worktable, a full touch operating computer, a palm computer, a two-dimensional code scanner, a microscope, a substrate fixing fixture, a fully touch operating computer fixed in the middle of the front of the worktable, and a palm-top electricity placed in the left front of the worktable. A two-dimensional code scanner is placed in front of the right side of the workbench. A microscope is positioned on the front of the workbench. A substrate fixing device is placed under the microscope. The two-dimensional code scanner, a palm computer, a microscope are connected with a full-touch operating computer. The utility model can realize the visualization of the substrate and the inspection. The centralized platform of function and information processing and the automatic input and upload system of information promote the paperless production process and simplify the analysis process for convenient operators.

【技术实现步骤摘要】
一种高效基板检查分析台
本技术涉及半导体生产
，特别涉及一种高效基板检查分析台。
技术介绍
随着科技发展，半导体由于其优异的性能在电子产品中得到了广泛的应用。基板在半导体产业中使用亦不可或缺。而半导体工艺的生产用基板的完整性也影响着半导体工艺。在半导体晶片等基板上形成电路的制造工序中，需要通过使用显微镜的放大观察来进行微观检查的工序。基板检查过程需要保持基板清洁，避免操作人员接触基板。在专利技术专利CN200910246546.4中公开了一种基板检查方法以及检查装置，能够提高被检查基板的检查精度。可见，检查基板的方法，设备以及工作环境已经显得尤为重要。在基板检查过程中，操作人员需要完成查询、检查、标记、结果上传等工序，同时需要频繁的切换操作区域并录入信息数据，造成了操作人员大量工作时间浪费。现有的基板检查分析平台需要人工完成上述信息查询、检查、标记、上传等工序。人工操作无法实现快速准确的基板检查分析过程；基板检查准确率的下降，影响后续的生产。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而完成，从而提供一种高效基板检查分析台，包括工作台，全触摸式操作电脑，掌上电脑，二维码扫描器，显微镜，基板固定治具，所述工作台面的正前方中间固定全触摸式操作电脑，所述工作台左前方放置掌上电脑，所述工作台右前方放置二维码扫描器，所述工作台正面放置显微镜，所述显微镜下方放置基板固定治具，所述二维码扫描器，掌上电脑，显微镜与全触摸式操作电脑相连。优选的，所述工作台下方固定一个键盘托。优选的，所述基板固定治具为长方形导轨式。优选的，所述工作台整体使用SUS304不锈钢材质。优选的，所述工坐台下方四角处增设工作台工作台高度调整支架。优选的，所述工作台增设可自由变向的电脑触摸屏支架。优选的，所述全触摸式操作电脑的触摸屏由空心圆柱体支架相连接直立在工作台上。优选的，所述分析台底部设有4脚防静电轮子。整套硬件通过配套的电算系统进行连接，所述电算系统记录检查信息，所述基板固定治具固定基板，所述二维码扫描器自动扫描基板信息并录入所述电算系统，所述全触摸式操作电脑用于查看基板信息，所述显微镜查看基板后，操作人员可以在所述全触摸式操作电脑的触摸屏上进行电算操作。本技术的有益效果：通过全触摸式操作电脑实现基板的可视化的查看，将检查功能、信息化功能集中平台处理，促进了无纸化生产过程。借助自动化技术、信息化技术可以实现基板检查分析过程的高度集成化，可以提升基板检查分析过程的效率以及准确性。现代信息扫码技术与可视操作平台的联用，可以简化方便操作人员的分析流程。信息自动录入与上传，可以避免基板检查分析过程中信息错报误报等情况的出现，极大的提升了生产效率，为人员的高效化、产品的信息化、检查的自动化进程做出了巨大的贡献。附图说明图1为一种高效基板检查分析台的结构示意图图中：1-工作台；2-全触摸式操作电脑；3-基板固定治具；4-掌上电脑；5-二维码扫描器；6-键盘托；7-电脑触摸屏支架；8-显微镜；9-工作台高度调整支架；10-防静电轮子。具体实施方式实施例一，结合图1所示对本技术的技术方案作进一步的描述：操作工检查基板时，将基板放入基板固定治具3，二维码扫描器5对基板进行自动扫描，并将基板信息录入系统，在全触摸式操作电脑2上调用查看产品信息，通过显微镜8检查基板，检查基板后，操作人员也可在触摸屏上对基板的每一个产品模块进行电算操作，并将信息自动上传系统。最后应说明的是：以上实施例仅用以说明而非限制本专利技术的技术方案，尽管参照上述实施例对本专利技术进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解：依然可以对本专利技术进行修改或者等同替换，而不脱离本专利技术的精神和范围，而所附权利要求意在涵盖落入本专利技术精神和范围中的这些修改或者等同替换。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高效基板检查分析台，其特征在于：包括工作台，全触摸式操作电脑，掌上电脑，二维码扫描器，显微镜，基板固定治具，所述工作台左前方放置掌上电脑，所述工作台右前方放置二维码扫描器，所述工作台正面放置显微镜，所述显微镜下方放置基板固定治具，所述二维码扫描器，掌上电脑，显微镜与全触摸式操作电脑相连。

【技术特征摘要】
1.一种高效基板检查分析台，其特征在于：包括工作台，全触摸式操作电脑，掌上电脑，二维码扫描器，显微镜，基板固定治具，所述工作台左前方放置掌上电脑，所述工作台右前方放置二维码扫描器，所述工作台正面放置显微镜，所述显微镜下方放置基板固定治具，所述二维码扫描器，掌上电脑，显微镜与全触摸式操作电脑相连。2.如权利要求1所述的一种高效基板检查分析台，其特征在于：所述工作台下方固定一个键盘托。3.如权利要求1所述的一种高效基板检查分析台，其特征在于：所述基板固定治具为长方形导轨式。4.如权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：周雷，
申请(专利权)人：海太半导体无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32