一种旋干机用带有引导架的治具制造技术

本发明专利技术公开了一种旋干机用带有引导架的治具，其技术方案要点是：该治具的主体为治具结构，该治具结构包括用以置放多个晶圆的晶圆载具，该晶圆载具于顶部及于底部各具有一开口，且每一该晶圆载具可用以置放多个晶圆，该治具结构还包括：一治具基板，其上设有多个连接件，且每一该连接件具有至少一沟槽；以及一治具顶板，其上设有多个开槽，该治具顶板连接所述连接件，并且由相邻四该连接件的该沟槽与其所对应的该开槽，构成多个容置腔体，该容置腔体用以置放该晶圆载具，该治具还包括插接在治具顶板的外侧且用于将晶圆载具安装到容置腔体的引导架。其优点是该治具既能够放置多个晶圆载具，又保证良好的干燥效果。

A fixture with guide frame for rotary dryer

The invention discloses a fixture with a guide frame for a rotary dryer. The main technical scheme of the fixture is that the main body of the fixture is a fixture structure, which comprises a wafer carrier for placing multiple wafers. The wafer carrier has an opening at the top and at the bottom, and each of the wafer carriers can be used for placing multiple wafers. The fixture structure also includes: a fixture substrate is provided with a plurality of connectors, each of which has at least one groove; and a fixture roof plate is provided with a plurality of grooves, the fixture roof plate is connected with the connector, and the grooves corresponding to the adjacent four fixtures constitute a plurality of grooves. The holding cavity is used for placing the wafer carrier. The fixture also includes a guide frame inserted outside the top plate of the fixture and used for installing the wafer carrier into the holding cavity. The utility model has the advantages that the plurality of wafer carriers can be placed and the good drying effect can be ensured.

【技术实现步骤摘要】
一种旋干机用带有引导架的治具
本专利技术涉及晶圆制造
，尤其涉及一种旋干机用带有引导架的治具。
技术介绍
在晶圆制造技术当中，当晶圆进行湿式蚀刻及冲洗之后，晶圆表面仍会残留有化学药剂以及杂质。若以人工使用气枪对晶圆进行喷气干燥，其速度太慢，成本又高，更容易因为应力过大而造成晶圆破片。因此可改利用旋转干燥的方式，将晶圆表面的杂质与化学物质的量降到最低。因此，旋干机是半导体厂房中的常用设备。然而，依据目前旋干机通常是仅能以单一晶圆载具进行旋干，因而产能受到限制，但是若是想改以多个晶圆载具放进治具当中，晶圆载具无法全数设置于治具的轴心，仅能安置于治具外围处，然而晶圆载具位于转子外围在进行旋干的同时，喷气嘴所喷出的气体必定会被晶圆载具的支撑架所阻挡，进而降低旋干机干燥的效果。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种旋干机用带有引导架的治具，其优点是该治具既能够放置多个晶圆载具，又保证良好的干燥效果。本专利技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种旋干机用带有引导架的治具，该治具的主体为治具结构，该治具结构包括用以置放多个晶圆的晶圆载具，该晶圆载具于顶部及于底部各具有一开口，且每一该晶圆载具可用以置放多个晶圆，该治具结构还包括：一治具基板，其上设有多个连接件，且每一该连接件具有至少一沟槽；以及一治具顶板，其上设有多个开槽，该治具顶板连接所述连接件，并且由相邻四该连接件的该沟槽与其所对应的该开槽，构成多个容置腔体，该容置腔体用以置放该晶圆载具，该治具还包括插接在治具顶板的外侧且用于将晶圆载具安装到容置腔体的引导架。通过上述技术方案，本专利技术的主要目的，在于提供一种旋干机的治具结构，其利用连接件、沟槽与其所对应的开槽，构成多个容置腔体能够盛放晶圆载具。这样结构简单便于拆卸。引导架的设置能将晶圆载具快速的放置到治具里，节省晶圆载具安放到治具内所需要的时间，进而提高工作效率。本专利技术进一步设置为：还包括多个对位喷嘴，环设于该旋干机的治具结构周围，以向所述晶圆进行喷气。通过上述技术方案，本专利技术的又一目的，在于提供一种旋干机的治具结构，搭配多个对位喷嘴，且环设于旋干机的治具结构周围，向晶圆进行喷气，进而得以增加晶圆制造的产量。本专利技术进一步设置为：每一连接件具有一沟槽，且由每四个连接件与其所对应的该开槽构成一容置腔体，由此组成四个容置腔体。通过上述技术方案，连接件和开槽组成四个容置腔体，提高了治具夹持晶圆载具的数量，进而提高该治具的工作效率。本专利技术进一步设置为：靠近该治具基板及该治具顶板的中央位置的四该连接件都具有两个沟槽，以构成四个共享连接件，且由每二该连接件搭配二该共享连接件，并与其所对应的开槽构成一容置腔体，由此组成四个容置腔体。通过上述技术方案，本专利技术的再一目的，在于提供一种旋干机的治具结构，于靠近治具基板及治具顶板的中央位置，采用共享连接件，以构成容置腔体，因此依据共享连接件，本专利技术仅需使用12个连接件，即可以组成四个容置腔体，如此一来即可节省连接件的制作成本。本专利技术进一步设置为：还包括多个止挡件，每一该止挡件连接该治具基板的上表面及该治具顶板的下表面，且每一该止挡件对应每一该晶圆载具，以抵扣该晶圆。通过上述技术方案，止挡件能够将晶圆载具挡在治具内，并使插入治具中的晶圆载具距离治具顶板的距离相同。本专利技术进一步设置为：所述引导架包括用于放置待装入容置腔体内的晶圆载具的储放机构以及用于将储放机构内的晶圆载具对应导入容置空腔的驱动机构，所述储放机构包括位于驱动组件下方的储放壳、固定设置在储放壳内且用于将储放壳内的晶圆载具推送到驱动机构的推动弹簧以及固定设置在推动弹簧朝向储放壳的开口一端的推板。通过上述技术方案，储放机构能够储放多个待装入容置腔体内的晶圆载具。驱动机构能够将储放机构内的晶圆载具对应导入容置空腔里。其中推板在推动弹簧的驱动下能够将储放壳内的晶圆载具推到驱动装置内的空腔里。本专利技术进一步设置为：所述储放机构还包括与推动弹簧垂直且贯穿推板和储放壳一侧壁的插杆以及固定设置在插杆伸出储放壳一端的压块，所述储放壳背离压块的内壁开设有与插杆一端适配的插槽。通过上述技术方案，压块的设置能够便于人工按压插杆，使插杆能够带动推板向下移动压缩弹簧。插口与插杆的配合能够使插杆将推板卡在储放壳的底部，防止推动弹簧推动推板向上移动不便于晶圆载具在储放壳内的放置。本专利技术进一步设置为：所述驱动机构包括与储放壳连通的驱动壳、套接在驱动壳内且用于承接储放机构内的晶圆载具的转动架，所述转动架周向开设有环形槽，环形槽内固定设置有套接在转动架外侧且与驱动壳固定连接的发条弹簧，所述转动架的一端面固定设置有用于驱动转动架带动发条弹簧转动的摇柄。通过上述技术方案，驱动壳能与发条的弹簧的设置能够使转动架在驱动壳内转动，进而使储放壳里的晶圆载具能够进入转动架的空腔中。摇柄的设置可以方便操作人员使转动架带动发条弹簧转动，使发条弹簧具有一定的弹性势能，进而使发条弹簧能够自主带动转动架转动。本专利技术进一步设置为：所述转动架的周向固定设置有用于将转动架卡接在驱动壳内的卡接组件，所述卡接组件包括若干个均布在转动架周向且与转动架滑移连接的卡块、固定设置在卡块背离驱动壳一端且与转动架固定连接的卡位弹簧、贯穿驱动壳侧壁的插孔以及与插孔滑移连接的压杆，所述压杆伸出驱动壳的一端套接有与压杆固定连接的支撑弹簧。通过上述技术方案，卡接组件的设置能够使转动架在发条弹簧驱动的过程中，转动架上的每个空腔都能稳定的放置有晶圆载具。具体的，当转动架带动卡块转动，且卡块与插孔重合时，卡位弹簧能够将卡块推入插孔里。压杆能够将卡块推出插孔，使转动架继续带动卡块转动。支撑弹簧能够防止压杆始终处在插孔里，防止卡块插入插孔里。综上所述，本专利技术具有以下有益效果：一、该治具既能够放置多个晶圆载具，又保证良好的干燥效果；二、该治具带有引导架，大大缩短了晶圆载具安装时间，提高了工作效率。附图说明图1为该治具的轴测图；图2为该治具结构的立体图；图3为本专利技术的第二实施例中的治具结构分解图；图4为本专利技术的第二实施例中的治具结构分解图；图5为本专利技术中的治具结构前视图；图6为本专利技术的第三实施例中的治具结构分解图；图7为本专利技术新增减重孔洞的连接件结构图；图8为本专利技术的旋干机立体图；图9a为本专利技术的旋干机的45度角的作动示意图；图9b为本专利技术的旋干机的45度角的另一作动示意图；图10为本专利技术的旋干机的90度角的作动示意图；图11为本专利技术的旋干机的135度角的作动示意图；图12为本专利技术的旋干机的180度角的作动示意图；图13为引导架未与治具结构接触的状态示意图；图14是为了体现引导架内部结构的剖视图；图15储放机构与驱动机构位置关系的结构示意图；图16是为了体现卡接组件工作原理的结构示意图。图中，10、治具结构；12、晶圆载具；12a、晶圆载具；12b、晶圆载具；12c、晶圆载具；12d、晶圆载具；14a、上开口；14b、下开口；16、晶圆；18、治具基板；202、连接件；204、共享连接件；22、沟槽；24、治具顶板；25、环形凸起；251、定向凹槽；26、开槽；28、容置腔体；30、止挡件；32、凹槽；34、穿孔；36、接合件；38、凸块；40、减重孔洞；42、制程腔体；44、对位喷嘴；46、压缩干燥空气装置；5、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种旋干机用带有引导架的治具，其特征是：该治具的主体为治具结构(10)，该治具结构(10)包括用以置放多个晶圆(16)的晶圆(16)载具(12)，该晶圆(16)载具(12)于顶部及于底部各具有一开口，且每一该晶圆(16)载具(12)可用以置放多个晶圆(16)，该治具结构(10)还包括：一治具基板(18)，其上设有多个连接件(202)，且每一该连接件(202)具有至少一沟槽(22)；以及一治具顶板(24)，其上设有多个开槽(26)，该治具顶板(24)连接所述连接件(202)，并且由相邻四该连接件(202)的该沟槽(22)与其所对应的该开槽(26)，构成多个容置腔体(28)，该容置腔体(28)用以置放该晶圆(16)载具(12)，该治具还包括插接在治具顶板(24)的外侧且用于将晶圆(16)载具(12)安装到容置腔体(28)的引导架(5)。

【技术特征摘要】
1.一种旋干机用带有引导架的治具，其特征是：该治具的主体为治具结构(10)，该治具结构(10)包括用以置放多个晶圆(16)的晶圆(16)载具(12)，该晶圆(16)载具(12)于顶部及于底部各具有一开口，且每一该晶圆(16)载具(12)可用以置放多个晶圆(16)，该治具结构(10)还包括：一治具基板(18)，其上设有多个连接件(202)，且每一该连接件(202)具有至少一沟槽(22)；以及一治具顶板(24)，其上设有多个开槽(26)，该治具顶板(24)连接所述连接件(202)，并且由相邻四该连接件(202)的该沟槽(22)与其所对应的该开槽(26)，构成多个容置腔体(28)，该容置腔体(28)用以置放该晶圆(16)载具(12)，该治具还包括插接在治具顶板(24)的外侧且用于将晶圆(16)载具(12)安装到容置腔体(28)的引导架(5)。2.根据权利要求1所述的一种旋干机用带有引导架的治具，其特征是：还包括多个对位喷嘴(44)，环设于该旋干机的治具结构(10)周围，以向所述晶圆(16)进行喷气。3.根据权利要求1所述的一种旋干机用带有引导架的治具，其特征是：每一连接件(202)具有一沟槽(22)，且由每四个连接件(202)与其所对应的该开槽(26)构成一容置腔体(28)，由此组成四个容置腔体(28)。4.根据权利要求1所述的一种旋干机用带有引导架的治具，其特征是：靠近该治具基板(18)及该治具顶板(24)的中央位置的四该连接件(202)都具有两个沟槽(22)，以构成四个共享连接件(204)，且由每二该连接件(202)搭配二该共享连接件(204)，并与其所对应的开槽(26)构成一容置腔体(28)，由此组成四个容置腔体(28)。5.根据权利要求1所述的一种旋干机用带有引导架的治具，其特征是：还包括多个止挡件(30)，每一该止挡件(30)连接该治具基板(18)的上表面及该治具顶板(24)的下表面，且每一该止挡件(30)对应每一该晶圆(16)载具(12)，以抵扣该晶圆(16)。6.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘天石，
申请(专利权)人：爱佩克斯北京科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11