蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出了蒸镀装置，该蒸镀装置包括：至少两个蒸镀坩埚；气流混和部件，设置在至少两个蒸镀坩埚的上方，且气流混和部件包括：气流阻隔部，设置在至少两个蒸镀坩埚的上方；分散板，设置在气流阻隔部的上方；以及第一喷嘴，设置在分散板的上方。本实用新型专利技术所提出的蒸镀装置，其两个及以上的蒸镀坩埚上方新增了由气流阻隔部、分散板和第一喷嘴组成的气流混和部件，当不同材料从蒸发坩埚中蒸发后，可先在气流混和部件中混合均匀后再沉积到基板表面，如此，在基板表面蒸镀形成的混合材料的比例相同，从而可保证制作的OLED器件的效率和良品率。

Evaporation device

The utility model provides a steam plating device, which consists of at least two steaming crucibles; a air mixing unit is set above the top of at least two steaming crucibles, and the air flow mixing part comprises the air flow barrier part, which is set above at least two steam plating crucibles; the dispersing plate is arranged above the air barrier section; And the first nozzle is arranged above the dispersion board. A steam plating device proposed by the utility model is added above two or more steam plating crucibles, which are added by air flow barrier, dispersing plate and first nozzle. When different materials are evaporated from the evaporation crucible, they can be mixed evenly in the air mixture and then deposited on the substrate surface, so that the base is in the base. The proportion of the mixed material formed on the surface of the plate is the same, thus ensuring the efficiency and good yield of the OLED device.

【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置
本技术涉及显示技术制造领域，具体的，本技术涉及蒸镀装置。
技术介绍
目前，有机发光二极管(OLED)器件主要通过蒸镀设备制作，特别是大世代线有源矩阵有机发光二极体(AMOLED)面板厂，多采用线性蒸发源蒸发镀膜形成OLED器件结构。其中，常见的线性蒸发源的横剖面结构示意图和蒸发效果示意图可参考图1。具体的，如图1所示，不同的待蒸发材料分别存在不同的坩埚中，具体例如主材1(Host1)、掺杂物(Dopant)和主材2(Host2)，在坩埚受热时各种待蒸发材料在不同的温度下变为气态(由固态直接升华为气态，或者由固态先转变成液态再汽化成气态)，然后再由坩埚顶部的喷嘴(Nozzle)喷出，并用角度限制板对蒸发气流的喷射角度进行限制，从而使3种材料混合在一起，并最终在蒸发区域沉积到基板表面形成材料膜层。但是，由于3种不同材料各自的蒸发角度不同，容易导致蒸发区域不同位置的3种材料的混合比不均匀，而3种材料在蒸发区域的具体浓度分布可参考图2。而这种现象会降低制作的OLED器件的效率，影响良品率。因此，现阶段的蒸镀设备仍有待改进。
技术实现思路
本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。本技术是基于专利技术人的下列发现而完成的：本专利技术人在研究过程中发现，可在蒸发坩埚的顶部增加一个由气流阻隔部、分散板和第一喷嘴组成的气流混和部件，当两个及以上的蒸发坩埚中的不同材料蒸发后，可先在气流混和部件中混合均匀后再沉积到基板表面，如此，在基板表面蒸镀形成的混合材料的比例相同，从而可保证制作的OLED器件的效率和良品率。有鉴于此，本技术的一个目的在于提出一种提高多种材料蒸镀的混合均匀性或者保证制作的OLED器件效率的蒸镀装置。在本技术的第一方面，本技术提出了一种蒸镀装置。根据本技术的实施例，所述蒸镀装置包括：至少两个蒸镀坩埚；气流混和部件，所述气流混和部件设置在所述至少两个蒸镀坩埚的上方，且所述气流混和部件包括：气流阻隔部，所述气流阻隔部设置在所述至少两个蒸镀坩埚的上方；分散板，所述分散板设置在所述气流阻隔部的上方；以及第一喷嘴，所述第一喷嘴设置在所述分散板的上方。专利技术人意外地发现，采用本技术实施例的蒸镀装置，其两个及以上的蒸镀坩埚上方新增了由气流阻隔部、分散板和第一喷嘴组成的气流混和部件，当不同材料从蒸发坩埚中蒸发后，可先在气流混和部件中混合均匀后再沉积到基板表面，如此，在基板表面蒸镀形成的混合材料的比例相同，从而可保证制作的OLED器件的效率和良品率。另外，根据本技术上述实施例的蒸镀装置，还可以具有如下附加的技术特征：根据本技术的实施例，所述蒸镀坩埚的上表面设置有第二喷嘴，且所述气流阻隔部的至少一部分设置在至少两个所述第二喷嘴之间。根据本技术的实施例，所述分散板包括：第一子分散板，所述第一子分散板设置在所述气流阻隔部的上方，且设置有多个第一通孔；第二子分散板，所述第二子分散板设置在所述第一子分散板的上方，且设置有多个第二通孔。根据本技术的实施例，所述多个第一通孔在所述第一子分散板上的分布位置与所述多个第二通孔在所述第二子分散板上的分布位置不同。根据本技术的实施例，所述气流混和部件进一步包括：角度限制板，所述角度限制板设置在所述第一喷嘴的上方。根据本技术的实施例，所述气流混和部件进一步包括：加热器，所述加热器设置在所述气流阻隔部或所述分散板的外侧。根据本技术的实施例，所述气流混和部件进一步包括：结晶探测器，所述结晶探测器设置在所述第二喷嘴和所述分散板之间。根据本技术的实施例，所述至少两个蒸镀坩埚的个数为3个，且用于蒸镀不同材料的所述三个蒸镀坩埚并排设置。根据本技术的实施例，所述蒸镀坩埚为线性蒸发源，且包括多个第二喷嘴。根据本技术的实施例，所述气流混和部件包括多个第一喷嘴。本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。附图说明本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是现有技术的线性蒸发源的横剖面结构示意图和蒸发效果示意图；图2是现有技术的三个并排设置的线性蒸发源的蒸发混合曲线；图3是本技术一个实施例的蒸镀装置的横剖面结构示意图；图4是本技术另一个实施例的蒸镀装置的横剖面结构示意图和蒸发效果示意图；图5是本技术另一个实施例的蒸镀装置的纵剖面结构示意图和气流混合示意图。附图标记100蒸镀坩埚110第二喷嘴200气流混和部件210气流阻隔部220分散板221第一子分散板2211第一通孔222第二子分散板2221第二通孔230第一喷嘴240角度限制板250结晶探测器具体实施方式下面详细描述本技术的实施例，本
人员会理解，下面实施例旨在用于解释本技术，而不应视为对本技术的限制。除非特别说明，在下面实施例中没有明确描述具体技术或条件的，本领域技术人员可以按照本领域内的常用的技术或条件或按照产品说明书进行。在本技术的一个方面，本技术提出了一种蒸镀装置。参照图3～5，对本技术的蒸镀装置进行详细的描述。根据本技术的实施例，参照图3，该蒸镀装置包括：至少两个蒸镀坩埚100和气流混和部件200；其中，气流混和部件200设置在至少两个蒸镀坩埚100的上方，且气流混和部件200可包括气流阻隔部210、分散板220以及第一喷嘴230；气流阻隔部210设置在至少两个蒸镀坩埚100的上方，分散板220设置在气流阻隔部210的上方，而第一喷嘴230设置在分散板220的上方。需要说明的是，本文中所有的“上”具体是指沿着蒸镀的蒸发方向，“下”具体是指背离蒸镀蒸发方向的方向，而“上方”具体是指蒸镀过程中靠近阵列基板的一侧。专利技术人经过研究发现，新增气流混和部件200后，从至少两个蒸镀坩埚100中蒸发出的不同材料，先沿着气流阻隔部210向上继续蒸发，在分散板220中充分地进行混合后，再从第一喷嘴230蒸发到阵列基板的蒸发区域。如此，不同材料在气流混和部件200中混合均匀后再沉积到基板表面，从而可使在基板表面蒸镀形成的混合材料的比例相同，进而可保证制作的OLED器件的效率和良品率。根据本技术的实施例，蒸镀坩埚100的具体类型不受特别的限制，本领域常用的蒸发源类型均可，只要该类型的蒸镀坩埚100能将待蒸发材料转变成气态即可，本领域技术人员可根据待蒸发材料的具体种类和蒸发区域的具体面积进行相应地选择。在本技术的一些实施例中，蒸镀坩埚100可以为线性蒸发源，如此，可使该蒸镀设备更适合于蒸镀制作大尺寸OLED器件。根据本技术的实施例，蒸镀坩埚100的具体结构也不受特别的限制，本领域常用的蒸发源结构均可，只要该结构的蒸镀坩埚100能提供具有一定蒸发方向的蒸发材料即可，本领域技术人员可根据蒸发区域的具体面积进行相应地设计。本技术的一些实施例中，参照图4，蒸镀坩埚100的上表面设置有第二喷嘴110，且气流阻隔部210的至少一部分设置在至少两个第二喷嘴110之间。如此，当蒸发材料从不同方向的第二喷嘴110中喷出后，仍可保持相同的向上的蒸发方向，且气流阻隔部210可防止不同蒸镀坩埚的蒸发速率的相互干扰。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：至少两个蒸镀坩埚；气流混和部件，所述气流混和部件设置在所述至少两个蒸镀坩埚的上方，且所述气流混和部件包括：气流阻隔部，所述气流阻隔部设置在所述至少两个蒸镀坩埚的上方；分散板，所述分散板设置在所述气流阻隔部的上方；以及第一喷嘴，所述第一喷嘴设置在所述分散板的上方。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：至少两个蒸镀坩埚；气流混和部件，所述气流混和部件设置在所述至少两个蒸镀坩埚的上方，且所述气流混和部件包括：气流阻隔部，所述气流阻隔部设置在所述至少两个蒸镀坩埚的上方；分散板，所述分散板设置在所述气流阻隔部的上方；以及第一喷嘴，所述第一喷嘴设置在所述分散板的上方。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀坩埚的上表面设置有第二喷嘴，且所述气流阻隔部的至少一部分设置在至少两个所述第二喷嘴之间。3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述分散板包括：第一子分散板，所述第一子分散板设置在所述气流阻隔部的上方，且设置有多个第一通孔；第二子分散板，所述第二子分散板设置在所述第一子分散板的上方，且设置有多个第二通孔。4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述多个第一通孔在所述第一子分散板上的分布...

【专利技术属性】
技术研发人员：张家奇，
申请(专利权)人：深圳市柔宇科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44