一种线性蒸发源蒸镀设备制造技术

本实用新型专利技术涉及蒸镀领域，公开了一种线性蒸发源蒸镀设备，包括蒸镀腔体、两个线性蒸发源及两个相应的线性蒸发源待机区域，所述线性蒸发源待机区域为在不蒸镀或维护时所处区域，两个所述线性蒸发源待机区域与所述蒸镀腔体分别采用真空阀门隔开，所述蒸镀腔体内设有两个蒸镀机构。采用该技术方案大大提高了生产效率。

A linear evaporation source evaporation equipment

The utility model relates to the field of evaporation and evaporation, and discloses a linear evaporation source evaporation device, including a steam plating cavity, two linear steam sources and two corresponding linear evaporation source standby areas. The linear evaporation source standby area is in the area where the evaporation or maintenance is not steamed or maintained, and two linear evaporation source standby areas and the steamed area are said to be steamed. The plating cavity is separated by a vacuum valve, and the evaporating chamber is internally provided with two evaporating and plating mechanisms. The technical scheme has greatly improved the production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种线性蒸发源蒸镀设备
本技术涉及蒸镀领域，特别涉及一种线性蒸发源蒸镀设备。
技术介绍
AMOLED作为新一代显示技术，与传统液晶显示器相比，具有更宽的视角、更高的刷新率和更薄的尺寸，因此在面板行业被广泛采用。而蒸镀工艺作为其核心工艺之一，对其良率和产能有着很大的影响。针对大型玻璃基板，在目前行业内广泛采用的蒸镀腔体结构都是单线性蒸发源腔体结构。这种结构的缺点在于：当该蒸发源出现故障或者材料消耗完时不得不降温处理，期间无法进行生产，极大的制约了产能。
技术实现思路
本技术实施例的目的在于提供一种线性蒸发源蒸镀设备，大大提高了生产效率。本技术实施例提供的一种线性蒸发源蒸镀设备，包括蒸镀腔体、两个线性蒸发源及两个相应的线性蒸发源待机区域，所述线性蒸发源待机区域为在不蒸镀或维护时所处区域，两个所述线性蒸发源待机区域与所述蒸镀腔体分别采用真空阀门隔开，所述蒸镀腔体内设有两个蒸镀机构。可选地，每个所述蒸镀机构包括基板、掩膜版及所述基板和掩膜版的对位机构。可选地，在两个所述线性蒸发源上方均设有挡板。可选地，每个所述线性蒸发源还包括驱动蒸发源来回扫描的机械手。由上可见，应用本实施例技术方案，由于采用两个线本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线性蒸发源蒸镀设备，其特征在于，包括蒸镀腔体、两个线性蒸发源及两个相应的线性蒸发源待机区域，所述线性蒸发源待机区域为在不蒸镀或维护时所处区域，两个所述线性蒸发源待机区域与所述蒸镀腔体分别采用真空阀门隔开，所述蒸镀腔体内设有两个蒸镀机构。

【技术特征摘要】
1.一种线性蒸发源蒸镀设备，其特征在于，包括蒸镀腔体、两个线性蒸发源及两个相应的线性蒸发源待机区域，所述线性蒸发源待机区域为在不蒸镀或维护时所处区域，两个所述线性蒸发源待机区域与所述蒸镀腔体分别采用真空阀门隔开，所述蒸镀腔体内设有两个蒸镀机构。2.如权利要求1所述的一种线性蒸发源蒸镀...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓云升，蔡晓义，周扬川，吴玉景，柯贤军，苏君海，李建华，
申请(专利权)人：信利惠州智能显示有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44