下载一种线性蒸发源蒸镀设备的技术资料

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本实用新型涉及蒸镀领域,公开了一种线性蒸发源蒸镀设备,包括蒸镀腔体、两个线性蒸发源及两个相应的线性蒸发源待机区域,所述线性蒸发源待机区域为在不蒸镀或维护时所处区域,两个所述线性蒸发源待机区域与所述蒸镀腔体分别采用真空阀门隔开,所述蒸镀腔体内...
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