一种靶材部件及平面靶制造技术

本实用新型专利技术公开了一种靶材部件，包括靶材和底座，所述靶材包括多个靶材片，多个靶材片排列形成靶面，各个靶材片均与底座连接，各个靶材片与所述底座经铟焊接，各个靶材片均为条形，且相互平行或基本相互平行，各个靶材片均为长度一致或基本一致的矩形片，以靶面中心线为分割线，自靶面中心线向靶面两侧方向，各个靶材片的宽度逐渐变大，各矩形片形成的靶面为矩形面。本实用新型专利技术通过调整靶材片来保持靶面满足溅射工艺的要求，将较快速度消耗掉的靶材片，通过将其移至其它位置，并由仍然较厚的靶材片取而代之，实现保持靶面满足溅射工艺的要求，大大的提高了靶材的利用率。

A target component and a plane target

The utility model discloses a target material part, including a target material and a base. The target material comprises a plurality of target plates, a plurality of target plates are arranged to form a target surface, each target sheet is connected with a base, each target piece is welded with the base through indium, and each target piece is bar shaped, and each is parallel or basically parallel to each other. The target plate is a rectangular piece with uniform length or basic consistency, with the center line of the target surface as the segmentation line, and the width of each target plate becomes larger gradually from the center line of the target surface to the target surface, and the target surface of each rectangle is a rectangular surface. The utility model can keep the target surface from the target surface to meet the requirements of the sputtering process, and remove the target sheet at a faster speed by moving it to other positions and replacing it with the thicker target sheet, so as to maintain the target surface to meet the sputtering process, and greatly improve the utilization rate of the target.

【技术实现步骤摘要】
一种靶材部件及平面靶
本技术涉及靶材结构
，特别涉及一种靶材部件及平面靶。
技术介绍
目前有一种平面型靶材部件，其特点在于整块靶材设置于底座上，靶面为平面或基本呈平面，这类靶材部件在实际使用中，存在一个问题，即利用率较低，原因在于，在使用该类靶材部件做磁控溅射镀膜时，由于磁场产生的磁力线在靶面分布不均，在磁力线集中的地方，等离子体最强，对应的靶面上由于溅射形成“V”型沟道，一旦此处靶材消耗到无法满足溅射工艺要求时，则整个靶材部件不能再使用，需要更换，从而导致靶材利用率不高的问题，靶材利用率不高将导致生产成本较高。因此改进靶材部件以实现靶材的利用率的提高是很有意义的。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是：提供一种靶材部件，实现靶材利用率的提高，还提供一种平面靶，由前述靶材部件构成，结构紧凑，可提供更大面积的靶面，并可进一步提高靶材利用率。本技术为解决技术问题提出一种技术方案：设计一种靶材部件，包括靶材和底座，所述靶材包括多个靶材片，多个靶材片排列形成靶面，各个靶材片均与底座连接。优选的，各个靶材片与所述底座经铟焊接，这样，当需要调整时，将铟加热至熔融，就能够调整靶材片的位置，即将损本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材部件，包括靶材和底座，其特征在于：所述靶材包括多个靶材片，多个靶材片排列形成靶面，各个靶材片均与底座连接。

【技术特征摘要】
2017.12.01 CN 20171124833891.一种靶材部件，包括靶材和底座，其特征在于：所述靶材包括多个靶材片，多个靶材片排列形成靶面，各个靶材片均与底座连接。2.根据权利要求1所述的靶材部件，其特征在于：各个靶材片与所述底座经铟焊接。3.根据权利要求1所述的靶材部件，其特征在于：各个靶材片均为条形，且相互平行或基本相互平行。4.根据权利要求3所述的靶材部件，其特征在于：各个靶材片均为长度一致或基本一致的矩形片。5.根据权利要求3所述的靶材部件，其特征在于：以靶面中心线为分割线，自靶面中心线向靶面两侧方向，各个靶材片的宽度逐渐变大。6.根据权利要求4所述的靶材部件，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：桂丹，
申请(专利权)人：江西中科泰盛光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江西,36