一种基片架制造技术

本发明专利技术公开了一种基片架，包括框架，框架设有装载玻璃基片的区域，该区域设有至少一个二面固定结构；二面固定结构包括位于下部的支座和位于上部的弹性支撑件；支座设有前后两个并列设置的定位部，该定位部用于限位玻璃基板的一边，弹性支撑件设有前后两个并列设置的弹性件，该弹性件用于弹性限位所述的玻璃基板的一边所相对的另一边。本发明专利技术通过将基片架一面装取改为前后二面装取，装载量为现有技术的两倍，极大地提高生产效率，减少了人力、物力和溅射工艺消耗的能源，大大降低生产成本。

A base plate frame

The invention discloses a substrate holder, which comprises a frame, the frame is provided with a glass substrate loading area, this area is at least a two fixed structure; two side fixing structure includes a support member located in the lower part of the bearing and the elastic at the upper part; the support is provided with two parallel set before and after the positioning, the positioning for the limit of the glass substrate side, the elastic support member is arranged before and after the two elastic pieces arranged in parallel, the other side of the elastic member for the elastic limit of the glass substrate is a side of the opposite. The invention is installed on the two sides of the substrate and changed to two times the load of the existing technology, which greatly improves the production efficiency, reduces the energy consumption of manpower, material resources and sputtering process, and greatly reduces the production cost.

【技术实现步骤摘要】
一种基片架
本专利技术涉及玻璃真空镀膜生产线领域，特别涉及一种基片架。
技术介绍
目前，市场上所生产的镀膜玻璃一般采用真空磁控溅射的方式，基片架的宽度受限于真空镀膜生产线的工作仓室的宽度。基片架的作用为，用于承载玻璃基片进行镀膜。在对玻璃基片进行真空镀膜作业中，需要一个基片架用于固定玻璃基片并传载至真空镀膜生产线中。目前，在镀膜行业内比较常用的是按照玻璃基片的尺寸制作四周包围式的基片架，可以对固定尺寸的玻璃基片进行镀膜，但目前只能进行一面装玻璃基片，且受限于真空镀膜生产线的工作宽度，基片架无法做的较宽，否则基片架无法进入真空镀膜生产线，因此如何在具有宽度要求下，实现两面装玻璃基片，目前还没有可供参考的方案，需要重点加以研究。由于二面装玻璃基片的生产效率几乎是一面装玻璃基片的两倍，所以该项技术研究对于真空镀膜具有重要意义。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是：提供一种玻璃基片，能够进行二面装玻璃基片。本专利技术解决上述问题所采用的技术方案为：一种基片架，包括框架，所述框架设有装载玻璃基片的区域，该区域设有至少一个二面固定结构；二面固定结构包括位于下部的支座和位于上部的弹性支撑件，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基片架，包括框架，所述框架设有装载玻璃基片的区域，其特征在于：该区域设有至少一个二面固定结构；二面固定结构包括位于下部的支座(1)和位于上部的弹性支撑件(2)，或者，二面固定结构包括位于下部的弹性支撑件(2)和位于上部的支座(1)；所述支座(1)设有前后两个并列设置的定位部(3)，所述定位部(3)用于限位玻璃基板(5)的一边，所述弹性支撑件(2)设有前后两个并列设置的弹性件(4)，所述弹性件(4)用于弹性限位所述的玻璃基板(5)的一边所相对的另一边。

【技术特征摘要】
2017.12.01 CN 20171124915821.一种基片架，包括框架，所述框架设有装载玻璃基片的区域，其特征在于：该区域设有至少一个二面固定结构；二面固定结构包括位于下部的支座(1)和位于上部的弹性支撑件(2)，或者，二面固定结构包括位于下部的弹性支撑件(2)和位于上部的支座(1)；所述支座(1)设有前后两个并列设置的定位部(3)，所述定位部(3)用于限位玻璃基板(5)的一边，所述弹性支撑件(2)设有前后两个并列设置的弹性件(4)，所述弹性件(4)用于弹性限位所述的玻璃基板(5)的一边所相对的另一边。2.根据权利要求1所述的基片架，其特征在于：还包括隔板，所述隔板用于分隔由二面固定结构装载的两块所述玻璃基板(5)。3.根据权利要求2所述的基片架，其特征在于：所述隔板由四边构成，分别为上边(6)、下边(7)、左边(8)和右边(9)；当二面固定结构包括位于下部的所述支座(1)和位于上部的所述弹性支撑件(2)时，所述上边(6)用于分隔前后两个并列设置的所述定位部(3)，所述下边(7)用于分隔前后两个并列设置的所述弹性件(4)；当二面固定结构包括位于下部的所述弹性支撑件(2)和位于上部的所述支座(1)时，所述上边(6)用于分隔前后两个并列设置的所述弹性件(4)，所述下边(7)用于分隔前后两个并列设置的所述定位部(3)。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：桂丹，旷玉林，
申请(专利权)人：江西中科泰盛光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江西,36