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本实用新型公开了一种靶材部件，包括靶材和底座，所述靶材包括多个靶材片，多个靶材片排列形成靶面，各个靶材片均与底座连接，各个靶材片与所述底座经铟焊接，各个靶材片均为条形，且相互平行或基本相互平行，各个靶材片均为长度一致或基本一致的矩形片，以靶...
该专利属于江西中科泰盛光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西中科泰盛光电有限公司授权不得商用。

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