本发明专利技术涉及一种镀膜治具，其包括：至少一转轴，及与所述转轴连接的至少一具有立体结构的基片夹具模组，所述转轴用于带动所述基片夹具模组转动，所述基片夹具模组由围绕所述转轴排布的至少三个所述基片夹具构成。本发明专利技术还涉及一种采用所述镀膜治具的镀膜装置。所述镀膜治具及镀膜装置采用立体结构的基片夹具模组以承载光学元件，其空间利用率高，单位空间中，承载的光学元件数量多，因此，在一定程度上减少镀膜制程中对容器抽真空及破真空的次数，从而提高镀膜治具及镀膜装置的生产效率以及降低生产成本。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及镀膜技术，尤其涉及一种应用于光学元件的镀膜治具及镀膜装置。
技术介绍
随着光学产品的发展，光学元件的应用范围越来越广。相应地，业界采用各种方法来制 造光学元件以适应市场对不同规格光学元件的需求(请参阅"Fabrication of Diffractive Optical Lens for Beam splitting Using LIGA Process" ， Mechatronics and Automation, Proceedings of the 2006 IEEE International Conference on, 卯.1242-1247， 2006.06)。通常来说，制造出的光学元件需经过后续处理以获得适于应用 的良好性能。镀膜工序为后续处理中的重要步骤之一。镀膜是指以物理或化学方法在光学元件表面镀 上单层或多层薄膜，利用入射、反射及透射光线在薄膜界面产生的干涉作用实现聚焦、准直 、滤光、反射及折射等效果。光学元件的镀膜制程为首先，将光学元件安装于镀膜治具上 ，镀膜治具设置于一容器中；其次，密闭容器，对容器抽真空；然后，以蒸镀或溅镀等方法 在光学元件需要镀膜的部位进行镀膜；最后，对容器破真空，将经过镀膜的光学元件从镀膜 治具上拆卸下来。然而，现有技术中，用于承载光学元件的镀膜治具一般为二维平面结构，该结构空间利 用率低，单位空间中，镀膜治具承载的光学元件数量少，因此，难以减少镀膜制程中对容器 抽真空及破真空的次数，从而难以提高镀膜治具及镀膜装置的生产效率以及降低生产成本。
技术实现思路
有鉴于此，提供一种能够提高空间利用率，进而提高生产效率以及降低生产成本的镀膜 治具及镀膜装置实为必要。一种镀膜治具，其包括至少一转轴，及与所述转轴连接的至少一具有立体结构的基片 夹具模组，所述转轴用于带动所述基片夹具模组转动，所述基片夹具模组由围绕所述转轴排 布的至少三个所述基片夹具构成。一种镀膜装置，其包括 一个真空容器；至少一个设置于所述真空容器内的镀膜靶；及 一个与所述镀膜靶相对设置的镀膜治具；其中，所述镀膜治具包括至少一转轴，及与所述转 轴连接的至少一具有立体结构的基片夹具模组，所述转轴用于带动所述基片夹具模组转动，所述基片夹具模组由围绕所述转轴排布的至少三个所述基片夹具构成。相对于现有技术，所述镀膜治具及镀膜装置采用立体结构的基片夹具模组以承载光学元件。所述基片夹具模组为三维立体结构，其空间利用率高，单位空间中，承载的光学元件数量多，因此，在一定程度上减少镀膜制程中对容器抽真空及破真空的次数，从而提高镀膜治具及镀膜装置的生产效率以及降低生产成本。 附图说明图l为本专利技术实施例提供的一种镀膜治具的立体图。图2为图1中沿线II-II所示方向的剖视图。图3为本专利技术实施例提供的一种镀膜装置的剖视图。图4为本专利技术实施例提供的一种镀膜装置的转盘模组的结构示意图。具体实施例方式下面将结合附图对本专利技术作进一步的详细说明。请参阅图1及图2，为本专利技术实施例提供的一种镀膜治具100，其包括至少一个转轴 110及与所述转轴110连接的至少一具有立体结构的基片夹具模组120。所述转轴110穿设于两个相对的轴承142、 144，所述转轴110用于带动所述基片夹具模组 120转动。所述镀膜治具100还包括一与所述转轴110连接的驱动装置130，所述驱动装置130用于驱 动所述转轴110转动。所述驱动装置130包括一电机132， 一固定于所述电机132的输出轴 1322的主动齿轮134， 一固定于所述转轴110的丛动齿轮136，及一连接所述主动齿轮134与丛 动齿轮136的链条138。所述电机132的输出轴1322带动所述主动齿轮134转动，所述主动齿轮 134通过所述链条138带动所述丛动齿轮136及所述转轴110转动，从而带动所述基片夹具模组 120转动。所述基片夹具模组120由围绕所述转轴110排布的三个基片夹具124、 126、 128构成。所 述基片夹具124、 126、 128均为一矩形框架，其用于夹持待镀膜的光学元件。所述基片夹具 124、 126、 128的边缘互相连接，使得所述基片夹具模组120构成正三棱柱结构，其沿垂直于 所述转轴110方向的截面为正三角形。所述转轴110穿设于所述基片夹具模组120的中心轴线 。构成所述基片夹具模组120的三个所述基片夹具124、 126、 128通过连接杆146与所述转轴 IIO连接。使用时，首先，对处于水平位置的所述基片夹具124所夹持的光学元件进行镀膜；然后 ，启动所述电机132，通过所述电机132的输出轴1322的转动，以使得所述转轴lIO转动而带动所述基片夹具模组120转动，当所述基片夹具126转动至水平位置时，停止所述电机132， 以使得所述基片夹具126停止于水平位置，进而对所述基片夹具126所夹持的光学元件进行镀 膜；最后，重复上一步骤，以使得所述基片夹具128转动至水平位置，并停止于水平位置， 以对所述基片夹具128所夹持的光学元件进行镀膜。所述镀膜治具1 OO还包括一与所述电机l32电连接的控制装置l50，所述控制装置l50用于 控制所述电机132的启动与停止，以实现对所述基片夹具模组120转动的精确控制，进而确保 所述基片夹具模组120的基片夹具124、 126、 128所夹持的光学元件的镀膜品质。可以理解，构成所述基片夹具模组120的基片夹具的数量也可以为多于三个，例如四个 或五个，则所述基片夹具模组120的沿垂直于所述转轴110方向的截面为正四边形或正五边形 。可以理解，构成所述基片夹具模组120的基片夹具的尺寸规格也可以不同，构成所述基片 夹具模组120的基片夹具的边缘也可以未互相连接。所述基片夹具模组120的结构并无特殊限 制，只需要由围绕所述转轴110排布的至少三个基片夹具构成一立体结构，以更多的承载光 学元件，并可以通过所述电机132的启动与停止，以实现对所述基片夹具模组120转动的精确 控制即可。本实施例中，所述基片夹具的材料为铜。可以理解，所述基片夹具的材料也可以 为其他金属，例如铝或不锈钢。请参阅图3，为本专利技术实施例提供的一种采用上述镀膜治具IOO的镀膜装置IO，其包括 一个真空容器200;至少一个设置于所述真空容器200内的镀膜靶300;及一个与所述镀膜靶 300相对设置的镀膜治具100。采用所述镀膜装置10对光学元件进行镀膜的制程为首先，将光学元件安装于所述镀膜 治具100的基片夹具上；其次，密闭所述真空容器200，对所述真空容器200抽真空；然后， 激发所述镀膜靶300，对安装于所述镀膜治具100的基片夹具上的光学元件进行镀膜；最后， 对所述真空容器200破真空，将经过镀膜的光学元件从所述镀膜治具100的基片夹具上拆卸下 来。请参阅图3及图4，优选地，所述镀膜装置10进一步包括一设置于所述真空容器200内的 转盘模组400，所述转盘模组400用于承载所述镀膜治具100，从而增加所述镀膜治具100夹持 的光学元件的镀膜厚度的均匀性。所述转盘模组400包括一主轴401， 一个与所述主轴401连 接的第一转盘402，两个第二转盘404，及两个副轴403。所述第二转盘404通过所述副轴403 与所述第一转盘本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种镀膜治具，其特征在于：其包括至少一转轴，及与所述转轴连接的至少一具有立体结构的基片夹具模组，所述转轴用于带动所述基片夹具模组转动，所述基片夹具模组由围绕所述转轴排布的至少三个所述基片夹具构成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：凌维成，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]
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